《電性材料》PPT課件
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1、第三章 電性材料,導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體材料 超導(dǎo)材料 鐵電、壓電、熱釋電和介電材料,3.1 導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體材料,導(dǎo)體的電阻率 10-5 10-4cm 半導(dǎo)體的電阻率 10-4 1010cm 絕緣體的電阻率 1010 1014cm,3.1.1導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體的區(qū)別能帶理論,能級(jí):在孤立原子中,原子核外的電子按照一定的殼層排列,每一殼層容納一定數(shù)量的電子。每個(gè)殼層上的電子具有分立的能量值,也就是電子按能級(jí)分布。,原子結(jié)構(gòu)示意圖,能帶:晶體中大量的原子集合在一起,而且原子之間距離很近,從而導(dǎo)致離原子核較遠(yuǎn)的殼層發(fā)生交疊,殼層交疊使電子不再局限于某個(gè)原子上,有可能轉(zhuǎn)移到相鄰原子的相似殼層上去
2、,也可能從相鄰原子運(yùn)動(dòng)到更遠(yuǎn)的原子殼層上去,這種現(xiàn)象稱為電子的共有化。電子的共有化使本來(lái)處于同一能量狀態(tài)的電子產(chǎn)生微小的能量差異,與此相對(duì)應(yīng)的能級(jí)擴(kuò)展為能帶。,,,,,H + H H2,,金屬中電子的共有化,允許帶:允許被電子占據(jù)的能帶稱為允許帶,原子殼層中的內(nèi)層允許帶總是被電子先占滿,然后再占據(jù)能量更高的外面一層的允許帶。 價(jià)帶:原子中最外層的電子稱為價(jià)電子,與價(jià)電子能級(jí)相對(duì)應(yīng)的能帶稱為價(jià)帶。 導(dǎo)帶:價(jià)帶以上能量的最低的允許帶稱為導(dǎo)帶。 滿帶:被電子占滿的允許帶稱為滿帶; 空帶:每一個(gè)能級(jí)上都沒(méi)有電子的能帶稱為空帶。 禁帶:允許帶之間的范圍是不允許電子占據(jù)的,此范圍稱為禁帶。導(dǎo)
3、帶的底能級(jí)為Ec,價(jià)帶的頂能級(jí)為Ev, Ec和Ev之間的能量間隔稱為禁帶Eg。,體塊硅的能帶示意圖,,,GaN能帶圖,3.1.2 導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體區(qū)別的能帶論解釋,導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu):,,價(jià)帶部分填入,價(jià)帶被填滿,,絕緣體的能帶結(jié)構(gòu): 價(jià)帶為滿帶, 禁帶較寬 Eg36 eV,,半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu): 價(jià)帶為滿帶, 禁帶寬度 Eg02 eV,載流子:導(dǎo)體和半導(dǎo)體的導(dǎo)電作用是通過(guò)帶電粒子的運(yùn)動(dòng)(形成電流)來(lái)實(shí)現(xiàn)的,這種電流的載體稱為載流子。 導(dǎo)體的載流子是自由電子; 半導(dǎo)體的載流子是帶負(fù)電的電子和帶正電的空穴。,Electron conduction in n-type semicondu
4、ctors (and metals),Hole conduction in p-type semiconductor,本征半導(dǎo)體:是指不含雜質(zhì)的半導(dǎo)體;通常由于載流子數(shù)目有限,導(dǎo)電性能不好。 N型半導(dǎo)體:在本征半導(dǎo)體中摻入5價(jià)元素,載流子多數(shù)為電子。雜質(zhì)能級(jí)施主能級(jí) P型半導(dǎo)體:在本征半導(dǎo)體中摻入3價(jià)元素,載流子多數(shù)為空穴。雜質(zhì)能級(jí)受主能級(jí),不同的材料,由于禁帶寬度不同,導(dǎo)帶中的電子數(shù)目不同,從而有不同的導(dǎo)電性。 本征半導(dǎo)體, n 型半導(dǎo)體, p型半導(dǎo)體,PN結(jié)(PN-junction),3.1.3 導(dǎo)體材料 金屬:如銀、銅、鋁等; 可用作電纜材料,電池材料,電機(jī)材料,開(kāi)關(guān)材料,輻射屏蔽材料
5、,傳感器材料等; 合金:如黃銅、鎳鉻合金等; 可用作電阻材料和熱電偶材料; 非金屬:如石墨、C3K、 C24S6等; 可用作耐腐蝕導(dǎo)體和導(dǎo)電填料等。,3.1.4 半導(dǎo)體材料,,非晶,單晶,多晶,硅和鍺第一代半導(dǎo)體材料,相同點(diǎn):具有灰色、金屬光澤的固體,硬而脆,金剛石結(jié)構(gòu),間接帶隙半導(dǎo)體材料. 不同點(diǎn): 硅 鍺 室溫本征電阻率 2.3105cm 50cm 禁帶寬度 1.12 eV 0.66 eV 鍺比硅的金屬性更為顯著 硅、鍺都溶解于HF-HNO3混合酸。,通過(guò)一定的工藝過(guò)程,可以將半導(dǎo)體制成晶體。,一、本征半導(dǎo)體化學(xué)成分純凈的半導(dǎo)體。 制造半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體
6、材料的純度要達(dá)到99.9999999%,常稱為“九個(gè)9”。,硅和鍺的共價(jià)鍵結(jié)構(gòu),共價(jià)鍵共 用電子對(duì),+4表示除去價(jià)電子后的原子,共價(jià)鍵中的兩個(gè)電子被緊緊束縛在共價(jià)鍵中,稱為束縛電子,常溫下束縛電子很難脫離共價(jià)鍵成為自由電子,因此本征半導(dǎo)體中的自由電子很少,所以本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力很弱。,形成共價(jià)鍵后,每個(gè)原子的最外層電子是八個(gè),構(gòu)成穩(wěn)定結(jié)構(gòu)。,共價(jià)鍵有很強(qiáng)的結(jié)合力,使原子規(guī)則排列,形成晶體。,在絕對(duì)0度(T=0K)和沒(méi)有外界激發(fā)時(shí),價(jià)電子完全被共價(jià)鍵束縛著,本征半導(dǎo)體中沒(méi)有可以運(yùn)動(dòng)的帶電粒子(即載流子),它的導(dǎo)電能力為 0,相當(dāng)于絕緣體。,在常溫下,使一些價(jià)電子獲得足夠的能量而脫離共價(jià)鍵的束縛
7、,成為自由電子,同時(shí)共價(jià)鍵上留下一個(gè)空位,稱為空穴。,這一現(xiàn)象稱為本征激發(fā),也稱熱激發(fā)。,可見(jiàn)因熱激發(fā)而出現(xiàn)的自由電子和空穴是同時(shí)成對(duì)出現(xiàn)的,稱為電子空穴對(duì)。游離的部分自由電子也可能回到空穴中去,稱為復(fù)合。 本征激發(fā)和復(fù)合在一定溫度下會(huì)達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡。,本征激發(fā)和復(fù)合的過(guò)程,溫度越高,載流子的濃度越高。因此本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力越強(qiáng),溫度是影響半導(dǎo)體性能的一個(gè)重要的外部因素,這是半導(dǎo)體的一大特點(diǎn)。,本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力取決于載流子的濃度。,二、雜質(zhì)半導(dǎo)體,在本征半導(dǎo)體中摻入某些微量的雜質(zhì),就會(huì)使半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能發(fā)生顯著變化。其原因是摻雜半導(dǎo)體的某種載流子濃度大大增加。,P 型半導(dǎo)體:空穴濃度大大增
8、加的雜質(zhì)半導(dǎo)體,也稱為(空穴半導(dǎo)體)。,N 型半導(dǎo)體:自由電子濃度大大增加的雜質(zhì)半導(dǎo)體,也稱為(電子半導(dǎo)體)。,N 型半導(dǎo)體,在硅或鍺晶體中摻入少量的五價(jià)元素磷(或銻),晶體點(diǎn)陣中的某些半導(dǎo)體原子被雜質(zhì)取代,磷原子的最外層有五個(gè)價(jià)電子,其中四個(gè)與相鄰的半導(dǎo)體原子形成共價(jià)鍵,必定多出一個(gè)電子,這個(gè)電子幾乎不受束縛,很容易被激發(fā)而成為自由電子,這樣磷原子就成了不能移動(dòng)的帶正電的離子。每個(gè)磷原子給出一個(gè)電子,稱為施主原子。,P 型半導(dǎo)體,空穴,硼原子,雜質(zhì)半導(dǎo)體的示意表示,,,,單晶硅棒 (直拉法),,,硅(111)晶面圖,硅在太陽(yáng)能電池上的應(yīng)用 單晶硅 多晶硅 非晶硅,砷化鎵第二代半導(dǎo)體材料,特點(diǎn)
9、: 化合物半導(dǎo)體,晶體結(jié)構(gòu)是閃鋅礦型, 禁帶寬度為1.43 eV 容易制成半絕緣材料(電阻率107 109cm) 本征載流子濃度低 光電特性好 耐熱、抗輻射性能好和對(duì)磁場(chǎng)敏感 用途: 光電材料,適合于制造高頻、高速的器件和電路,發(fā)光二極管、場(chǎng)效應(yīng)晶體管等。,砷化鎵,,氮化鎵第三代半導(dǎo)體材料,氮化鎵及其相關(guān)氮化物材料: 是指元素周期表中A族元素鋁、鎵、銦和族元素氮形成的化合物(AlN、GaN、InN,)以及由它們組成的多元合金材料(InxGa1-xN,AlxGa1-xN)等。,特點(diǎn): 三種晶體結(jié)構(gòu):纖鋅礦、閃鋅礦和巖鹽礦 寬禁帶半導(dǎo)體材料: InN---1.9 eV
10、,GaN---3.4 eV,AlN---6.2eV,用途: 晶體管、 發(fā)光管、激光二極管和光電探測(cè)器等器件,,,,氮化鎵,Wide Band Gap: 3.4 eV High Break down field Large electron saturation velocity: 1.3 x 10-7 cm/s Chemically stable at high T Operate at 400 C high temperature Short wavelength light emission and high power electronic applications,有機(jī)半導(dǎo)體材
11、料及其應(yīng)用,特點(diǎn): 是分子型晶體材料,其特征由材料的分子性質(zhì)決定。有機(jī)半導(dǎo)體沒(méi)有三維晶體點(diǎn)陣,而且它們的分子內(nèi)和分子間的相互作用、局域結(jié)構(gòu)無(wú)序、非晶和結(jié)晶區(qū)域以及化學(xué)雜質(zhì)也不同,復(fù)雜。 用途: 太陽(yáng)能電池 (酞菁、二酞菁以及某些聚合物如聚乙炔的衍生物等) 光電二極管 (有機(jī)無(wú)機(jī)材料異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)) 有機(jī)半導(dǎo)體電容,精英865PE主板PHOTONPF1,DVD、功放的音響系統(tǒng) 音響信號(hào)電流會(huì)引起普通鋁電解電容的誘電體、電極箔、接觸點(diǎn)的振動(dòng),而有機(jī)半導(dǎo)體電容的卷曲材料是用聚脂樹(shù)脂固定起來(lái)的,不會(huì)產(chǎn)生音響信號(hào)電流引起的振動(dòng)。另外,有機(jī)半導(dǎo)體電容的鋁殼采用聚脂樹(shù)脂灌裝封口也是重要的因素之一(普通鋁電
12、解電容是用膠墊封口的),在重低音范圍內(nèi)這一點(diǎn)是非常重要的,3.3 鐵電、壓電、熱釋電和介電材料,極化 : 在電場(chǎng)作用下,電介質(zhì)中束縛著的電荷發(fā)生位移或者極性按電場(chǎng)方向轉(zhuǎn)動(dòng)的現(xiàn)象,稱為電介質(zhì)的極化。 自發(fā)極化:在沒(méi)有外電場(chǎng)作用時(shí),鐵電晶體或鐵電陶瓷中存在著由于電偶極子的有序排列而產(chǎn)生的極化,稱為自發(fā)極化。,熱電體: 因?yàn)樵拥臉?gòu)型是溫度的函數(shù),所以極化狀態(tài)將隨溫度發(fā)生變化。這種性質(zhì)稱為熱電性。熱電性是所有呈現(xiàn)自發(fā)極化的晶體的共性。具有熱電性的晶體稱為熱電體。 鐵電體: 存在自發(fā)極化,且自發(fā)極化有兩個(gè)或多個(gè)可能的取向,在電場(chǎng)作用下,其取向可以改變。 壓電體: 壓電效應(yīng)是指材料在外力作用下發(fā)生
13、極化而在材料兩端的表面上出現(xiàn)電位差的效應(yīng)。具有壓電性質(zhì)的材料稱為壓電 材料,3.3.1 鐵電材料,鐵電材料: 是指在某些溫度范圍內(nèi)具有自發(fā)極化,且其自發(fā)極化強(qiáng)度能因外電場(chǎng)的作用而重新取向的材料,通常鐵電體同時(shí)具有熱釋電和壓電性。鐵電體的標(biāo)識(shí)性特征是其電極化與外電場(chǎng)的關(guān)系表現(xiàn)為電滯回線。,,鐵電材料的電滯回線,常見(jiàn)的鐵電材料: (1)BT:鈦酸鋇BaTiO3,鈣鐵礦結(jié)構(gòu),居里溫度120 oC;(2)PT:鈦酸鉛PbTiO3,鈣鐵礦結(jié)構(gòu),居里溫度492 oC;(3)PZT:鋯鈦酸鉛Pb(ZrxTi1-x)O3,鈣鐵礦結(jié)構(gòu),居里溫度386 oC; (4)BST:鈦酸鋇鍶(BaxSr1-x)TiO3
14、, 鈣鐵礦結(jié)構(gòu),常溫下沒(méi)有鐵電性,介電常數(shù)高,現(xiàn)多用于DRAM的柵介質(zhì); (5)SBT:鉭酸鍶鉍SrBi2Ta2O9,層狀鈣鈦礦結(jié)構(gòu),具有優(yōu)異的抗疲勞特性; (6)BTO:鈦酸鉍Bi4Ti3O12,層狀鈣鈦礦結(jié)構(gòu),有較好的抗疲勞特性。,,極化的本質(zhì): 對(duì)稱性的減小,3.3.2 壓電材料,壓電效應(yīng): 1880年Cuire Pierr和Curie jacques兄弟在實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn),當(dāng)在某些特定方向上對(duì)-石英晶體施加壓力時(shí),在與力方向垂直的兩個(gè)平面內(nèi)分別出現(xiàn)正負(fù)束縛電荷。這種現(xiàn)象稱為壓電性。這種由機(jī)械能轉(zhuǎn)換成電能的過(guò)程稱為正壓電效應(yīng)。反之,如果把電場(chǎng)加到壓電晶體上,晶體在電場(chǎng)作用下產(chǎn)生應(yīng)變或應(yīng)力,
15、這種由電能轉(zhuǎn)換成機(jī)械能的過(guò)程稱為逆壓電效應(yīng)。,,,正壓電效應(yīng),逆壓電效應(yīng),壓電材料的用途:水聲換能器 傳感器 濾波器 變壓器 點(diǎn)火器 陀螺儀 液流泵,1942年,發(fā)現(xiàn)鈦酸鋇具有壓電性。此后,又研制成功一種性能大大優(yōu)于鈦酸鋇的壓電陶瓷材料--鋯鈦酸鉛。利用多種元素改進(jìn)的鋯鈦酸鉛二元系壓電陶瓷,以鋯鈦酸鉛為基礎(chǔ)的三元系、四元系壓電陶瓷也都應(yīng)運(yùn)而生。,3.3.3 熱釋電材料,熱釋電效應(yīng): 某些晶體受溫度變化影響時(shí),由于自發(fā)極化的相應(yīng)變化而在晶體的一定方向上產(chǎn)生表面電荷,這一現(xiàn)象稱為熱釋電效應(yīng)。具有熱釋電效應(yīng)的材料稱為熱釋電材料。,用途: 紅外光譜儀、紅外遙感器、熱輻射探測(cè)器,非接觸測(cè)溫、無(wú)
16、損探傷等,3.3.4 介電材料,介電體的極化: 在外電場(chǎng)作用下,電介質(zhì)材料中在緊靠帶電體的一端會(huì)出現(xiàn)同號(hào)的過(guò)剩電荷,另一端則出現(xiàn)負(fù)號(hào)的過(guò)剩電荷,這就是所謂的介電體的極化現(xiàn)象。 介電性: 如果將某一均勻的電介質(zhì)作為電容器的介質(zhì)而置于其兩極之間,由于電介質(zhì)的極化,可造成電容器的電容量比以真空為介質(zhì)時(shí)的電容量增加若干倍,電介質(zhì)的這一性質(zhì)稱為介電性。電容量增加的倍數(shù)稱為電介質(zhì)的介電常數(shù),或稱介電滲透率,用來(lái)表示材料介電性的大小。,3.3.5 鐵電、壓電和介電材料的應(yīng)用,評(píng)價(jià)存儲(chǔ)器的標(biāo)準(zhǔn): 容量、速度、非易失性、功耗和價(jià)格 現(xiàn)有存儲(chǔ)器的性能比較: DRAM: 優(yōu)點(diǎn)是容量、速度和成本,弱點(diǎn)是不具備
17、非易失性 快閃存儲(chǔ)器: 優(yōu)點(diǎn)是容量和非易失性,短處是寫入速度慢 SRAM: 優(yōu)點(diǎn)是速度和功耗,缺點(diǎn)是難以實(shí)現(xiàn)大容量比 鐵電隨機(jī)存取存儲(chǔ)器:容量、速度、非易失性、功耗和價(jià)格,64K FeRAM,存儲(chǔ)原理是基于鐵電薄膜的剩余極化 當(dāng)外加電場(chǎng)或電壓撤去后,鐵電薄膜仍存在著剩余極化電荷。當(dāng)外加電場(chǎng)時(shí),鐵電體在宏觀上表現(xiàn)為極化強(qiáng)度與外電場(chǎng)之間產(chǎn)生非線性響應(yīng),得到電滯回線;反向電場(chǎng)超過(guò)矯頑場(chǎng)時(shí)發(fā)生極化反轉(zhuǎn);E0時(shí)表現(xiàn)出正、負(fù)剩余極化(Pr),分別對(duì)應(yīng)于存儲(chǔ)的“1”和“0”數(shù)字信息。因此,鐵電存儲(chǔ)單元不需外電場(chǎng)和電壓的維持,仍能保持原有的極化信息。,鐵電存儲(chǔ)器的應(yīng)用領(lǐng)域: 強(qiáng)耐輻射能力 空間和航天技術(shù)應(yīng)
18、用 優(yōu)異的讀寫耐久性 電視頻道存儲(chǔ)器、游戲機(jī)數(shù)字存儲(chǔ)器、汽車?yán)锍瘫砗蛷?fù)印機(jī)計(jì)數(shù)器等應(yīng)用 低電壓工作和低功耗移動(dòng)電話及射頻識(shí)別系統(tǒng)中的存儲(chǔ)器 高速寫入和編程能力,低功耗、長(zhǎng)耐久性等IC卡最理想的存儲(chǔ)器。,壓電傳感器,是利用壓電效應(yīng)制造而成的。壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測(cè)量中。 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、重量輕。,壓電傳感器,壓電式單向測(cè)力傳感器的結(jié)構(gòu)圖 石英晶片、 絕緣套、電極、上蓋及基座等組成,壓電式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)圖 它主要由壓電元件、質(zhì)量塊、預(yù)壓彈簧、基座及外殼等組成。整個(gè)部件裝在外殼內(nèi),并由螺栓加以固定。,壓電式刀具切削力測(cè)量示意圖,壓電傳感器位于車刀前部的下方,當(dāng)進(jìn)行切削加工時(shí)
19、, 切削力通過(guò)刀具傳給壓電傳感器,壓電傳感器將切削力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,記錄下電信號(hào)的變化便可測(cè)得切削力的變化。,壓電式玻璃破碎傳感器 (a) 外形; (b) 內(nèi)部電路,它利用壓電元件對(duì)振動(dòng)敏感的特性來(lái)感知玻璃受撞擊和破碎時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)波。傳感器把振動(dòng)波轉(zhuǎn)換成電壓輸出,輸出電壓經(jīng)放大、濾波、比較等處理后提供給報(bào)警系統(tǒng)。 傳感器的最小輸出電壓為100 mV,最大輸出電壓為100V, 內(nèi)阻抗為1520 k。 子彈穿膛 生物醫(yī)學(xué)--心室,壓電式玻璃破碎報(bào)警器電路框圖,,,,PIX-30/4三維掃描儀,采用 動(dòng)態(tài)壓電傳感器技術(shù)對(duì)實(shí)體物件進(jìn)行超高精度 掃描,最小間距達(dá)50微米。能夠掃描的實(shí)物包括:各種工業(yè)
20、材質(zhì)、粘土模型、玻璃、水晶、色彩豐富的物件,甚至還包括鮮果和鮮魚,壓電陶瓷微位移器 (納米級(jí)) 光纖的光學(xué)定位、光纖熔焊機(jī)、生物細(xì)胞穿刺、攝像,形狀記憶疊層裝置的機(jī)械夾持器,壓電陶瓷點(diǎn)火器,,清華大學(xué)研制的直徑1毫米世界最小超聲馬達(dá),,利用壓電晶體的逆壓電效應(yīng)讓馬達(dá)定子處于超聲頻率的振動(dòng),然后靠定子和轉(zhuǎn)子之間的摩擦力來(lái)傳遞能量,帶動(dòng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)。,高介電材料,2002年6月25日,摩托羅拉半導(dǎo)體與她的中國(guó)合作伙伴南京大學(xué)固態(tài)微結(jié)構(gòu)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、中國(guó)科學(xué)院物理研究所聯(lián)合宣布,經(jīng)過(guò)兩年的合作,他們?cè)诎雽?dǎo)體工藝用高介電材料研究上取得突破性進(jìn)展:他們推出的鋁酸鑭(LaAlO)和鑭鋁氧氮(LaAlON)高介電材料將有望在65納米以下工藝中作為柵介質(zhì)層的主要材料,取代目前被普遍采用的二氧化硅,進(jìn)而推動(dòng)半導(dǎo)體工藝技術(shù)向更小尺寸發(fā)展,
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