《半導(dǎo)體物理學(xué)》PPT課件.ppt

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1、上海交通大學(xué)夜大學(xué) 電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè),半導(dǎo)體物理學(xué)Semiconductor Physics,So pleasure to meet you in classroom today!,I hope we will be happy to co-operate on our new subject of Semiconductor Physics in this semester.,電話： 36033332 （ H ) 13482657996 （M）,上海交通大學(xué) 微納科學(xué)技術(shù)研究院,陸 鳴,E-mail： ,教學(xué)目標,通過半導(dǎo)體中電子運動規(guī)律及其性質(zhì)的學(xué)習(xí)，引導(dǎo)學(xué)生了解半導(dǎo)體物理的基本分析方

2、法；從半導(dǎo)體中載流子的運動規(guī)律出發(fā)，掌握半導(dǎo)體的基本導(dǎo)電理論，為學(xué)習(xí)半導(dǎo)體器件基礎(chǔ)和從事電子科學(xué)技術(shù)相關(guān)的專業(yè)工作打好基礎(chǔ)。,教學(xué)內(nèi)容及基本要求,課程包含半導(dǎo)體晶體，平衡狀態(tài)下半導(dǎo)體體材特性，非平衡狀態(tài)下半導(dǎo)體體材特性，平衡和偏置狀態(tài)下 PN 結(jié)特性，PN 結(jié)伏 安特性，半導(dǎo)體表面和 MIS 結(jié)構(gòu)及金屬 - 半導(dǎo)體接觸和異質(zhì)結(jié)七章,通過學(xué)習(xí)要求學(xué)生對半導(dǎo)體物理的基本分析方法有較深刻了解，能從半導(dǎo)體中載流子運動的規(guī)律出發(fā)，分析處理半導(dǎo)體的基本導(dǎo)電理論，特別是 PN 結(jié)理論，同時對半導(dǎo)體表面，金屬 - 半導(dǎo)體接觸等相關(guān)問題有較好理解。,陸 鳴 半導(dǎo)體物理學(xué) ,教材與參考書,劉恩科等半導(dǎo)體物理學(xué)（第

3、6版）國防工業(yè)出版社,第一章 半導(dǎo)體晶體,Chapter 1 Semiconductor Crystal,半導(dǎo)體器件，或微電子器件，本質(zhì)上是材料取向的（ Materials oriented ），即器件的特性基本上由半導(dǎo)體材料的性質(zhì)決定。,半導(dǎo)體材料，正如半導(dǎo)體 的詞義所示，是一種電導(dǎo)率（electrical conductivity ）介于導(dǎo)體（conductor ）與絕緣體（ insulator ）之間的材料,晶體的基本概念,處于凝固狀態(tài)下的物體，我們稱之為固體。,固體按結(jié)構(gòu)可分為兩類： 一類是晶體（ crystal ） ， 另一類是非晶體（non-crystal ） 。,晶體又分單晶體（

4、 monocrystal ） 和多晶體（ polycrystal ）。 一般所說的晶體， 主要是指單晶體。,半導(dǎo)體器件和集成電路采用的半導(dǎo)體材料都是接近完美的單晶材料。,完美單晶半導(dǎo)體的研究，當然是材料學(xué)家或者結(jié)晶學(xué)家的職責(zé)，不過一些基本概念我們也應(yīng)該知道。,人們在生產(chǎn)和生活實踐中早就發(fā)現(xiàn)自然界中有許多晶瑩透明表面光潔、線條筆直、對稱排布、美麗完整、具有多面體外形的固體，并把這類外形規(guī)則的固體稱為晶體。,經(jīng)對晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)的研究發(fā)現(xiàn)與其他物質(zhì)不同，其內(nèi)部原子非常有規(guī)則地按一定的周期方式排列，周而復(fù)始，貫徹始終，形成整齊而固定的陣列。,晶體是由原子或分子按照一定的周期性規(guī)律，在空間重復(fù)排列而成的固

5、體物質(zhì)。,晶體的分布非常廣，自然界中的固體物質(zhì)絕大多致是晶體。氣體、液體和非晶物質(zhì)在一定條件下，也可轉(zhuǎn)變成晶體。,晶體和人類的關(guān)系十分密切。地球表面的巖石和泥砂全由各種各樣晶體堆積形成。這些物質(zhì)中，晶體顆粒大小十分懸殊，有些只有幾毫克，有些可達幾十噸。,日常生活中接觸和使用的金屬器材都由金屬晶體聚集而成。 現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)提供的許多家用電器，核心部件均由晶體加工生產(chǎn)而成，如石英鐘、熒光粉、晶體管、磁芯等。,晶體所以具有這樣廣泛的功能，在于它內(nèi)部原子排列的周期性，以及在該基礎(chǔ)上進行改造的可能性。,晶體的周期性結(jié)構(gòu)，使晶體具有下列共同性質(zhì)：,( 1 ) 均勻性 ( uniformity ) 晶體的宏觀

6、性質(zhì)相同，即有相同的化學(xué)組成、密度等,( 2 ) 對稱性 ( symmetry ) 外形和內(nèi)部結(jié)構(gòu)具備特有的對稱性，晶體的對稱性和晶體的性質(zhì)關(guān)系非常密切。,( 3 ) 各向異性 ( anisotropy ) 晶體中，不同方向上的物理性質(zhì)，如電導(dǎo)率熱脹系數(shù)、折光率和機械強度等有顯著差異，此乃晶體內(nèi)部不同方向上原子或分子的周期性排列不同所決定。,( 4 ) 多面體晶體 ( polygonal crystal ) 晶體在生長過程中，相交晶面自發(fā)地形成晶棱。晶棱會聚成為頂點，從而呈現(xiàn)多面體外形。晶體的這種性質(zhì)也決定于晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)的周期性。,理想環(huán)境中生長的晶體可長成凸多面體。凸多面體的晶面數(shù)( F )

7、，晶棱數(shù)( E )，和頂點數(shù)( V ) 符合如下公式：,四面體有 4 個面、6 條棱、 4 個頂點； 立方體有 6 個面、12 條棱、 8 個頂點； 八面體有 8 個面、12 條棱、 6 個頂點等。,( 5 ) 存在熔點 ( melting poin ) 晶體內(nèi)部原子的周期性結(jié)構(gòu)與周期性結(jié)合能相同。當溫度升高，熱振動加劇各個周期都處于吸熱熔化過程中，到達恒定不變溫度時才熔解，稱為熔點。,( 6 ) x 射線衍射 ( x diffraction ) 晶體結(jié)構(gòu)的周期大小和 x 射線的波長相當，能使 x射線產(chǎn)生衍射現(xiàn)象。晶體的 x 射線衍射數(shù)據(jù)，成為了解晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)的重要依據(jù)。,歸納起來，晶體的主耍

8、特征是內(nèi)部原子 ( 離子或分子 ) 的排列具有 規(guī)則性（ regularity ） 和 周期性（periodicity）。,晶體又分單晶體（ monocrystal ） 和多晶體（ polycrystal ）。 一般所說的晶體， 主要是指單晶體。,半導(dǎo)體器件和集成電路采用的半導(dǎo)體材料都是接近完美的單晶材料。,整塊材料中內(nèi)部原子都是有規(guī)則、周期地重復(fù)排列起來的晶體稱為單晶體。,多晶體則由大量微小晶粒 ( 線度在0.01毫米以下 ) 組成。,多晶體內(nèi)，每個小晶粒中的原子排列是規(guī)則和周期的，但各晶粒之間，原子排列的取向并不相同。,金屬大都屬于多晶體。,固體除晶體外，還有非晶體。非晶體中的原子排列都是

9、無規(guī)則的，非晶體有時也稱過冷液體( subcooled liquids ) 。玻璃、塑料等都是非晶體。,固體物理學(xué)是研究晶體中原子和電子運動規(guī)律及其性質(zhì)的學(xué)科。,半導(dǎo)體物理學(xué)是固體物理學(xué)的分支，研究半導(dǎo)體晶體中原子和電子的運動規(guī)律及其性質(zhì)。,晶體性質(zhì)主要決定于它們的化學(xué)組成和內(nèi)部結(jié)構(gòu)。,晶體組成的化學(xué)成分不同其性質(zhì)當然不同；晶體化學(xué)成分相同，但內(nèi)部結(jié)構(gòu)不同，性質(zhì)也不相同。,晶體內(nèi)部，原子在三維空間按照周期性規(guī)律重復(fù)排列。,每個重復(fù)單元滿足： 化學(xué)組成相同、空間結(jié)構(gòu)相同、排列取向相同、周圍環(huán)境相同。,這種組成晶體重復(fù)排列的基本單位稱為 結(jié)構(gòu)基元 ( Strucural motif )。,圖示分別

10、給出按一維、二維和三維周期排列的結(jié)構(gòu)基元實例。,,,,,,,,,,,,,,,,,,許多單質(zhì)晶體在某一方向上的原子常按這種方式排列。這種結(jié)構(gòu)中，一個原于組成一個結(jié)構(gòu)基元。,,,,,,此為層型石墨分子中某些方向上碳原子的排列情況。 結(jié)構(gòu)基元由兩個原子組成。,,,,,,此為硒晶體中鏈型硒分子按螺旋型周期排列的情況，三個原子組成一個結(jié)構(gòu)基元。,此為仲展的聚乙烯鏈的結(jié)構(gòu)恃況，結(jié)構(gòu)基元為 CH2 CH2 ,,,,,,,,,,,,,,,,,此為等徑原子最密堆積層的二維圖像。虛線所示平行四邊形為結(jié)構(gòu)基元，它包括一個原子。,,,,,,,,,,,,,,,,此為硼酸晶體內(nèi)的二維層型結(jié)構(gòu)，兩個硼酸分子組成一個結(jié)構(gòu)基

11、元。,,,,,,,,,,,,,,,此為金剛石結(jié)構(gòu)的三維圖像，相鄰兩個碳原子組成一個結(jié)構(gòu)基元。取頂角上和面心上原子作點陣點，內(nèi)部的 4 個原子不是點陣點。,金剛石結(jié)構(gòu)中，每個碳原子都按正四面體型式和周圍原子構(gòu)成共價鍵，但仔細觀察可以發(fā)現(xiàn)相鄰碳原子周圍的 4 個鍵空間取向不同、周圍環(huán)境不同，故不能以每個碳原子作為一個結(jié)構(gòu)基元。,NaCl 晶體由氯和鈉兩種元素的原子組成。形成 NaCl 晶體時，每個 Na + 離子的近鄰是 C1 - 離子， C1 - 離子的近鄰是 Na + 離子。,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,Na+,Cl -,0,a,b,c,NaCl 晶體的空間晶格,

12、依靠帶正電離子和帶負電離子間的靜電吸引形成的結(jié)構(gòu)稱為離子鍵 ( ionic bond )。 由離子鍵構(gòu)成的晶體稱為離子晶體 ( ion crystal ) 。 NaCl 是典型的離子晶體。,整個 NaCl 晶體可以看成是由一個基本的結(jié)構(gòu)單元沿三個不同方向，各自按一定間距，周期地重復(fù)堆積的結(jié)果。,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,x,,y,,z,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,顯然，不同晶體的基本結(jié)構(gòu)單元是不同的。,上述四個相同條件則是判斷結(jié)構(gòu)基元由哪些原子組成的標準，而且必須四個條件同時都能滿足。,基本結(jié)構(gòu)單元可以是一個原子，也可是若干個

13、原子組成的集團。,NaCl 晶體的基本結(jié)構(gòu)單元，由一個 Na + 離子和一個 C1 - 離子組成。,為簡單描述晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)周期性，可用一個點來表示每個最小的重復(fù)單元。,每個基本結(jié)構(gòu)單元的代表點，必須選在各單元中的同類原子上，如 NaCI 中的 Na 或 Cl ）。,也可以選在在基本結(jié)構(gòu)單元的 “重心 ”（ centre of gravity ）上。,這些代表點空間分布的周期性與晶體中原子排列的周期性完全一致。,注意到代表點不考慮結(jié)構(gòu)基元包含的具體內(nèi)容和具體結(jié)構(gòu)，集中反映的僅僅是晶體的周期重復(fù)方式，故是晶體中結(jié)構(gòu)基元的一種幾何抽象。,這些從晶體中無數(shù)個結(jié)構(gòu)基元抽象出來的代表點在三維空間按一定周期

14、重復(fù)形成一個點陣，稱為 空間格點 ( Space Lattice ) 或 布拉伐格子（ Bravias Lattice ）。,布拉伐格點是晶體基本結(jié)構(gòu)單元的代表點，格點是原子集團的代表。,格點代表的原子集團，彼此之間有相同的結(jié)構(gòu)，即同時滿足四個相同條件。,需要特別注意的是，應(yīng)把布拉伐格子同晶體結(jié)構(gòu)區(qū)分開來。 晶體結(jié)構(gòu)是指晶體中的原子排列，而布拉伐格子則是指晶體基本結(jié)構(gòu)單元代表點在空間的分布。,根據(jù)晶體結(jié)構(gòu)、結(jié)構(gòu)基元和格點點陣間的關(guān)系，可以簡單地將晶體結(jié)構(gòu)用下式表示：,晶體結(jié)構(gòu)點陣 + 結(jié)構(gòu)基元,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,任何晶體，只要知道它的布拉伐格子，那么，該晶體原子

15、排列的周期性也就充分地反映出來了。,因布拉伐格點的排列情況與實際原子的排列相同，兩者的周期性完全一致。,那么一定晶體的基本結(jié)構(gòu)單元包括多少個原子呢？,如果把化學(xué)成分不同或者所處環(huán)境不同的原子看成類型不同的原子，顯然存在下面的關(guān)系：,NaCl 晶體是由兩種化學(xué)成分不同的原子組成的，每個基元應(yīng)包含一個 Na + 離子和一個 C1 - 離子。表明上面的等式是成立的。,一般由一或數(shù)個分子組成的分子晶體，其結(jié)構(gòu)基元分子中的原子種類越多，結(jié)構(gòu)基元包含的原子數(shù)目也多。 蛋白質(zhì)晶體結(jié)構(gòu)基元常由上千個原子組成。,描述晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)周期性的另一種方法是把晶體劃分成一些周期性的重復(fù)區(qū)域 單胞 ( Unit Cell

16、) 或 原胞 ( Primitive Cell )。,單胞與原胞,單胞是以格點為頂點，以三個獨立方向上的周期為邊長構(gòu)成的平行六面體，它是晶體中的一個小體積，一個周期性重復(fù)的區(qū)域。,單胞是晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)的縮影。單胞的重復(fù)堆積，可以得到整個晶體。,原胞也是單胞，只不過是體積最小的單胞。,每個原胞只能包含一個基元，即一個布拉伐格點，且該布拉伐格點只能在原胞的頂角上，體心 ( body center ) 和面心 ( face center ) 不能有布拉伐格點。,由于原胞是體積最小的周期性重復(fù)區(qū)域，所以用它們來描述晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)的周期性，一定最充分、最細致。,但很多情況下，原胞的形狀不便反映晶體中原子排列

17、的對稱性。為既能描述原子排列的周期性，又可反映它們的對稱性，習(xí)慣上都采用體積較大的單胞。,NaCl 晶體的單胞通常選擇圖示立方體,現(xiàn)在計算單胞中含多少個布拉伐格點。,立方體共有六個面。每個面心格點被兩個立方體平分，因而平均來說，它面心格點對一個立方體的貢獻是 1 2。,立方體八個頂角上有八個格點，每個頂角格點被八個立方體平分，所以頂角格點對每個立方體的貢獻是1 8 。,由此可知，一個單胞中布拉伐格點的平均數(shù)為：,就是說，面心立方體單胞，包含四個布拉伐格點。,相應(yīng)地，該單胞中包含有四個基元，即四個 Na + 離子，四個 C1 - 離子。這樣的單胞顯然不是體積最小的單胞。,體積最小的單胞，即原胞，

18、應(yīng)該只包含一個布拉伐格點，即只有一個 Na+ 離子和一個 C1 - 離子。,,,,,,,,,,,,,原胞中，因為格點都在頂角上，所以每個原胞中平均只包含個格點。容易計算，面心立方格子的原胞體積為立方單胞體積的 14 ，,基矢（ Basic Sector ）,為便于數(shù)學(xué)上進行分析，晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)的周期性也可用一組基本平移矢量(簡稱基矢量或基矢)來描述。,基矢量是沿單胞三個邊長方向，長度等于單胞邊長的獨立矢量?；蛘哒f是支撐起單胞的三個獨立矢量常用 a，b，c 表示。,a,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,b,c,原基矢量是支揮起原胞的三個獨立矢量，通常表為 a1，a2， a3 。,,,,,,,

19、,,,,,,,,,,,,,,a1,a2,a3,選沿立方體三條邊方向上的單位矢量 i、j、k ，以晶格常數(shù) a 表示邊長，則面心立方晶格的基矢量 a、b、c 可表示為,,,a,c,,b,,i,,j,,k,面心立方格子的原基矢量 a1、a2 、a3 , 則為,a = a i,b = a j,c = a k,,,,a3,,,a1,a2,,利用原基矢量表示布拉伐格點的位置非常簡便： 任選一格點作坐標原點，以一組原基矢量為坐標軸構(gòu)成參考坐標系。,由于每個布拉伐格點都處在原胞的頂角上，因此，所有布拉伐格點的徑向矢量，即晶格矢量 R 都可表為,,,a 1,a 2,R,,,,描述晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)周期性的上述方法，

20、彼此是相關(guān)的，知道一種方法，便可以導(dǎo)出其它方法。,應(yīng)指出的是，一定的晶體，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)的周期性是一定的，即布拉伐格子是一定的，不過單胞、原胞、基矢量和原基矢量的選擇卻不是唯一的。,引入上述這些概念后，晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)的周期性，可以這樣來描述：,各個原胞中的點，原子排列情況是相同的。,任意兩個原胞中相應(yīng)點的徑向矢量，僅差一個晶格矢量 R 。所以，晶體中任意一點 r 和另一點 r1 若,,式中 m1、m2、m3 為任意整數(shù)。,則這兩點上晶體原子的分布情況完全相同，晶體的微觀物理性質(zhì)也完全一樣。,再強調(diào)一次，布拉伐格子不是晶體。 布拉伐格子只是用一個點表示的晶體中的周期性重復(fù)單元。,三維空間中布拉伐格子的

21、分布方式只有 14 種類型。也就是說，三維晶體的布拉伐格子類型只有 14 種。,14 種不同類型的布拉伐格子 (1) 簡單三斜 (2) 簡單單斜 (3) 底心單斜 (4) 簡單正交 (5) 底心正交 (6) 體心正交 (7) 面心正交 (8) 簡單正方 (9) 體心正方 （10）簡單立方 (11) 體心立方 (12) 面心立方 （13）三角 （14）六角,表中，按單胞形式將 14 種布拉伐格子分成七大晶系,所謂單胞形式指的是晶系的劃分均以支撐起單胞的三個基矢量 a， b， c 的相對長度和它們的夾角作標志。,因習(xí)慣選取的單胞形式直接反映了布拉伐格子點群的對稱性，故晶系劃分的依據(jù) ，實際上是布拉

22、伐格子的點群對稱性。對稱性相同，屬于同一晶系；不相同則屬于不同晶系。,三斜晶系,布拉伐格子：簡單三斜,單胞基矢量的特征 abc；,單斜晶系,單胞基矢量的特征 abc；==90,簡單單斜,底心單斜,正交晶系,單胞基矢量的特征 abc；===90,正方晶系 四角,單胞基矢量的特征 a = b c；===90,立方晶系,單胞基矢量的特征 a = b = c；===90,三角晶系,單胞基矢量的特征 a = b = c；==<120 90,六角晶系,單胞基矢量的特征 a = b c；== 90 = 120,金剛石結(jié)構(gòu),金剛石結(jié)構(gòu)是碳原子組成的一種晶體結(jié)構(gòu),把金剛石晶體劃分成正立方體形式的單胞，則除了在立

23、方體頂角和面心上有碳原子外，在 4 個體對角線約 1/4 處也有碳原子存在。,立方體底面上原子排列的投影圖,凡原子排列情況和金剛石相同的晶體均屬于金剛石結(jié)構(gòu)。 元素半導(dǎo)體硅和鍺都是金剛石結(jié)構(gòu)。,結(jié)構(gòu)上，金剛石結(jié)構(gòu)由兩套面心立方格子組成，一套格子的原子是另一套格子上原子的近鄰，兩套格子上原子與近鄰原子形成共價鍵，只是方位不相同。,金剛石結(jié)構(gòu)中，每個原子有四個分布在以該原子為中心的正四面體四個頂角上的近鄰原子。,碳、硅和鍺都是第 IV 族元素，每個原子有四個價電子，近鄰原子的價電子形成共價鍵，每個共價鍵包含兩個自旋相反的電子結(jié)成一對。這些共價鍵把原子聯(lián)系起來構(gòu)成整個晶體,幾種金剛石結(jié)構(gòu)晶體的晶格常

24、數(shù),晶體中，規(guī)則、周期地在空間重復(fù)排列起來的原子將組成一系列直線以及平面。,晶列與晶面,晶體中原子排列成的平面稱晶面。,晶體中，原子排列成的直線稱晶列,,,,立方體晶格的三個常見晶面,密勒指數(shù)（ Miller Indices ）,通過液相還是汽相生長晶體時，生成的原子相對于可選的有效位置，呈現(xiàn)在某種優(yōu)先位置上定位的趨向，便形成了宏觀上的晶面。,英國的礦物學(xué)家 William H. Miller 開發(fā)了一套今天仍被普遍使用的識別晶面的體系。,選面心立方體單胞三個相互正交的棱邊作坐標軸，構(gòu)成一個參照系統(tǒng)。,在這個參照系統(tǒng)中，任何平面都可以按其與坐標軸的截距來標識。某平面的密勒指數(shù)就是被規(guī)定為與

25、三個截距倒數(shù)之比相同的三個最小整數(shù)：,,平面與三個坐標軸的截距分別是 1、3和 2，于是該平面的密勒指數(shù)便是 6、2 和 3，這個面便標作（623）面 。,（623）面,,,,,（623）面,（100）面,（110）面,（111）面,密勒指數(shù)除了可以標志晶面外，習(xí)慣上，還可以用來標志某個晶面的晶向。,晶面采用圓括號內(nèi)插入密勒指數(shù)表示，對應(yīng)晶面的晶向則用方括號內(nèi)插入密勒指數(shù)來表示。,圖中立方體晶格三個晶面對應(yīng)的晶向是： 100 ; 110 ; 111,111,100,110,晶體缺陷 Crystalline Defects,晶體完整周期性的破壞都可歸納為缺陷。,晶體中總存在雜質(zhì)和各種類型的缺陷使

26、內(nèi)部結(jié)構(gòu)的完整性遭受不同程度的破壞。,晶體中的不完整性可分為以下幾類：,點的不完整性空位、間隙原子和雜質(zhì)；,線的不完整性位錯；,面的不完整性層錯。,晶體中存在的不完整性，將嚴重影響晶體的物理性質(zhì)。,微量雜質(zhì)可以控制半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型和電導(dǎo)率的大小。,許多晶體的顏色都由缺陷引起。,晶體發(fā)光也幾乎都與內(nèi)部存在雜質(zhì)有關(guān)。,空位和間隙原子是典型的點的不完整性，它們成對出現(xiàn)，這種點缺陷稱費侖克爾缺陷。,,空位,填隙原子,,,空位和間隙原子能從一個間隙越過勢壘跳進另一個間隙形成運動。所謂空位運動，實際上是空位周圍的原子跳進空位，空出它們原來的格點位置，造成在晶體中運動的結(jié)果。,位錯是晶體中的一種線的不完整性。,單晶中，由于應(yīng)力作用，面間距較大的晶面之間可以發(fā)生滑移，引起晶體范件形變。,晶面之間的滑移若開始于局部區(qū)域，逐漸擴大至整個晶面，那么局部區(qū)域的滑移便形成位錯。,層錯是晶體中面的不完整性。,在外延生長中，難免發(fā)生原子堆錯層次，產(chǎn)生面缺陷的情況， 通常稱為層錯。,,,End,