玻璃搬運(yùn)機(jī)器人

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1、大 型 玻 璃 基 板 搬 運(yùn) 用 機(jī) 器 人 系 列 Series / Model FeatureSJ系 列 上 下 屈 伸 型玻 璃 搬 運(yùn)機(jī) 器 人 SJ25C第 5代對 應(yīng) 機(jī) 型 uClass 10u上 下 活 動 空 間 1.6/2.2mu前 后 活 動 空 間 2.4mSJ80C第 6,7代對 應(yīng) 機(jī) 型 uClass 10 u上 下 活 動 空 間1.8 / 2.4mu前 后 活 動 空 間3.7mSJ120C第 8,9代對 應(yīng) 機(jī) 型 uClass 10u上 下 活 動 空 間2.8mu前 后 活 動 空 間4.5mSHC系 列垂 直多 關(guān) 節(jié) 型 SH133CSH200C

2、uClass 1000u可 搬 重 量 133kg/150kgu6 自 由 度 (可 對 應(yīng) 垂 直 放 置 的 布 局 ) CLEAN ROBOT 一 覽 CLEAN ROOM的 對 應(yīng)垂 直 多 關(guān) 節(jié) 型 機(jī) 器 人 - 系 列 機(jī) 器 人 外 觀 SH133C Spec. 1 rad = 180 / , 1 Nm = 1 / 9.8 kgfmNote 1) During development, specifications may change without notice. 機(jī) 器 人 外 觀 等 級 最 大 的 可 搬 重 量 、 允 許 扭 矩 可 搬 運(yùn) 玻 璃 基 板 等

3、工 件 至 空 間 狹 小 的 箱 體 內(nèi) 可 搭 載 高 剛 性 的 抓 手 最 大 限 度 的 控 制 工 件 的 彎 曲 變 形 震 動 較 大 的 動 作 范 圍 可 對 應(yīng) 次 世 代 的 大 型 玻 璃 基 板 的 垂 直 放 置 布 局 較 大 的 手 臂 動 作 范 圍 可 實 現(xiàn) 工 件 各 種 各 樣 的 姿 勢 可 實 現(xiàn) 玻 璃 基 板 的 垂 直 型 搬 運(yùn) 等 級 最 大 的 手 臂 彎 曲 軸 (B軸 )可 實 現(xiàn) 的 動 作 范 圍 高 性 能 高 性 能 控 制 裝 置 (以 電 腦 為 基 礎(chǔ) 的 AX控 制 裝 置 ) 比 起 監(jiān) 視 控 制 ,震 動 控

4、 制 等 實 現(xiàn) 了 大 型 機(jī) 器 人 廠 家 機(jī) 器 人 的 動 作 特 性 Operational area including wrist bending axis(B-axis) Vertical operation area comparison(+/- 135deg. and +/-125deg.) Horizontal direction approx. 700mm wider(23%up)Vertical direction approx. 300mm wider(23%up)+300mm UP +700mm UPH orizontal operation area comp

5、arison(+/- 135deg. and +/-125deg.) (SH 133C) 基 本 規(guī) 格 (與 他 社 對 比 )機(jī) 器 人 型 號 他 社ARTIS SH200C CR165-200構(gòu) 造 多 關(guān) 節(jié) 型 多 關(guān) 節(jié) 型自 由 度 6 6最 大 臂 長 mm 2,674 2,446手 首 允 許 扭 矩 軸 N m 1,274 1,058 軸 N m 1,274 1,058 軸 N m 686 490手 首 允 許瞬 間 慣 性 軸 kg m2 117.3 51.25 軸 kg m2 117.3 51.25 軸 kg m2 65.9 15CLEAN度 CLASS 1,000

6、CLASS 1,000 , 強(qiáng) 力 型 手 首 扭 矩第 代 液 晶 用 玻 璃 基 板【 . ( ) 】Offset OFFSET 100mm 300mm 500mmJ5軸負(fù) 荷扭 矩 1,031Nm 1,103Nm 1,177Nm NACHISH200C J5軸允 許 扭 矩1,274Nm他 社CR165-200 J5軸允 許 扭 矩1,058Nm 測 試 條 件 : JIS B8432 基 準(zhǔn) 位 置 重 返 精 度 測 試 結(jié) 果方 向 重 復(fù) 位 置 動 作 的變 動 ( ) 軸 方 向 0.041 mm 軸 方 向 0.023 mm 軸 方 向 0.032 mm綜 合 0.057

7、mm測 試 機(jī) 型 : 粒 子 測 試 結(jié) 果( ) ” 區(qū) 間 ” 0.0 1.0 2.03.0 4.0 5.0 6.0 7.08.0 9.0 10.0 10:04 10:19 10:33 10:48 11:02 11:16 11:31 11:45 時 刻 個數(shù) (0.3 粒 子數(shù) /CF ) 測 試 環(huán) 境 CLASS 1000 CLEANROOM + CLEANCHAMBER測 試 位 置 ” 複 合 動 作 ” 0.01 0.1 1 10 100 1000 0.1 1 10粒 徑 ( ) 粒子 個數(shù) (個 ) FS209D class100 FS209D class10 SH200C

8、定 期 維 護(hù) 項 目 系 列 的 定 期 維 護(hù) 項 目維 護(hù) 內(nèi) 容 場 所 周 期加 潤 滑 油 軸 減 速 機(jī) 以 外( 3個 部 位 ) 個 月 /次潤 滑 油 更 換 減 速 機(jī) ( 個 部 位 ) 20,000小 時 (稼 動時 間 )/次或 4年 /次電 池 更 換 機(jī) 器 人 本 體 底 座 部 年 /次電 池 基 板電 容 器 更 換 機(jī) 器 人 本 體 底 座 部 年 /次 大 保 養(yǎng) 、 請 在 , 小 時 稼 動 時 間 或 年 內(nèi) 、 短 期 實 施 。 世 界 最 大 可 搬 重 量 的 長 手 臂 機(jī) 器 人更 大 的 可 搬 重 量 手 首 扭 矩 長 手 臂

9、 構(gòu) 造 有 更 大 的 動 作 范 圍 最 適 用 于 超 大 型 玻 璃 等 離 子 用 玻 璃 搬 運(yùn) 項 目 規(guī) 格最 大 臂 長 3,623 mm上 下 最 大 活 動 空 間 4,998 mm可 搬 重 量 400 kg允 許 扭 矩 J5軸 1,960 N mJ6軸 980 N m允 許 慣 性瞬 間 J5軸 200 kg m2J6軸 147 kg m2位 置 重 復(fù) 精 度 0.5 mmCLEAN 度 Class 1000本 體 重 量 3,800 kg 可 搬 軸 多 關(guān) 節(jié) 機(jī) 器 人 上 下 水 平 方 向 較 大 的 動 作 空 間 可 實 現(xiàn) 工 件 的 傾 斜 反

10、轉(zhuǎn) 動 作 , 強(qiáng) 力 型 手 首 扭 矩大 型 等 離 子 用 玻 璃 基 板【 ( ) 】Offset OFFSET 300mm 500mm 700mmJ5軸負(fù) 荷扭 矩 1,611Nm 1,730Nm 1,850Nm NACHISC400LC J5軸允 許 扭 矩1,960Nm他 社CR165-200 J5軸允 許 扭 矩1,058Nm 大 型 玻 璃 基 板 搬 運(yùn) 機(jī) 器 人 SJ系 列 uClass 10u上 下 活 動 空 間 2.8mu前 后 活 動 空 間 4.5mSJ120C第 代對 應(yīng) 機(jī) 型SJ80C第 代對 應(yīng) 機(jī) 型 SJ25C第 代對 應(yīng) 機(jī) 型 uClass 1

11、0u上 下 活 動 空 間 1.6/2.2mu前 后 活 動 空 間 2.4mSJ系 列 上 下 屈 伸 型玻 璃 搬 運(yùn)機(jī) 器 人 FeatureSeries / Model uClass 10u上 下 活 動 空 間 1.8 / 2.4m u前 后 活 動 空 間 3.7m CLEAN ROBOT 一 覽 機(jī) 器 人 外 觀 SJ25C-16D(上 下 Stroke 1.6mDouble Arm) 基 本 規(guī) 格 SJ25C-XXX-01 SJ80C-XXX-01 SJ120C-XXX-01 16D / 16SL 18D / 18SL 24D / 24SL 28D / 28S Single

12、 Arm 3 / (4) 3 / (4) 3 / (4) Double Arm 4 / (5) 4 / (5) 4 / (5) Z-axis 1600mm 1800mm 2400mm 2800mm Rotation-axis 340deg 340deg 340deg Horizontal-axis 2400mm 3670mm 4480mm Z-axis 1300mm/s 1100mm/s 1450mm/s 1050mm/s Rotation-axis 210deg/s 180deg/s 180deg/s Horizontal-axis 2700mm/s 3000mm/s 3600mm/s Si

13、ngle Arm 25 kg 80 kg 120 kg Double Arm 25 kg + 25 kg 80 kg + 55 kg 120 kg + 120 kg Applicable Glass Size 1300 1250 X 0.7 (LCD) 2000 2200 X 1.1 (LCD) 2200 2500 X 1.1 (LCD) Clean Class 10 (Federal Standard 209D) *1: In case of standard hand for double arm. Without traverse unit. Payload Freedom(No. of

14、 motor) MaxVelocity WorkRange 抓 手 布 局 圖 規(guī) 格 概 略 A社 社 RH-100G HWDC自 由 度 (控 制 軸 數(shù) ) 4/(5) 4 4動 作 范 圍 上 下 1600 mm 850 mm 1600 mm 900 mm 1400 mm回 轉(zhuǎn) 340 deg 340 deg 320 deg前 后 2400 mm 2300 mm 1600 mm 動 作 速 度 上 下 1300 mm/s 930 mm/s 1300 mm/s 500 mm/s 800 mm/s回 轉(zhuǎn) 210 deg/s 210 deg/s 135 deg/s前 后 2700 mm/s

15、2700 mm/s 1800 mm/s導(dǎo) 軌 2000 mm/s ? 1600 mm/s可 搬 重 量 25 kg/手 臂 20 kg/手 臂 25 kg + 15 kg適 用 Glass Size 1300 1250 (LCD) 1200 1000 (LCD) 1100 1100 (LCD)Clean class (Federal Standard 209D) 10 10 10 Link構(gòu) 造 固 定 長 手 臂 方 式 ( 高 剛 性 ) 固 定 方 式 ( 高 剛 性 ) ( 低 剛 性 )上 下 軸 驅(qū) 動 構(gòu) 造 2個 馬 達(dá) 獨(dú) 立 驅(qū) 動 控 制 實 現(xiàn) 同 步 1個 1個 馬

16、達(dá) /皮 帶 傳 送 實 現(xiàn) 2個 關(guān)節(jié) 實 現(xiàn) 同 步 驅(qū) 動 1個 馬 達(dá) /驅(qū) 動 軸 連 接 實 現(xiàn) 個 關(guān) 節(jié)同 步 驅(qū) 動 前 后 軸 最 終 端 減 速 最 終 端 減 速 最 終 端 減 速 ROBOT 主 要 尺 寸 SJ25C-16D 新 一 代 機(jī) 器 人 控 制 裝 置AX Controller 采 用 業(yè) 界 領(lǐng) 先 的 電 腦 平 臺短 距 離 移 動 性 能 提 高 了 軟 件 ,不 需 要 外 部 編 程 機(jī) 器 人 動 作 性 能 的 答 復(fù) 提 升WindowsNT embedded + RTOS 安 全 第 一 的 設(shè) 計 簡 單 易 懂 的 操 作 指

17、南 重 化 的 非 常 停 止 回 路 (國 際 安 全 規(guī) 格 基 準(zhǔn) )、處 死 角 限 制 開 關(guān)圖 形 文 字 、 電 子 手 冊 、 直 觀 的 異 常 顯 示 內(nèi) 容對 應(yīng) 國 際 標(biāo) 準(zhǔn) 語 言 IEC1131-3、 可 用 編 輯 梯 形 圖協(xié) 調(diào) 控 制 、 多 種 控 制 、 各 種 網(wǎng) 絡(luò) 對 應(yīng) 擁 有 多 種 功 能 ,可 對 應(yīng) 各 式 各 樣 的 應(yīng) 用WindowsNT embedded Microsoft社 登 録 商 標(biāo) 控 制 裝 置 的 特 長 軟 件 ISaGRAF Altersys社 登 録 商 標(biāo) 通 過 軟 件 控 制周 邊 裝 置 通 過 T/

18、P編 輯 LD(梯 形 圖 ) EthernetOFFLINE編 程 支 持 國 際 標(biāo) 準(zhǔn) 5種語 言LD,SFC,FBD,ST,IL 必 要 周 辺 裝 置 ISaGRAF 周 邊 裝 置 的 控 制 回 路 由 機(jī) 器 人 控 制 裝 置 來 控 制 觸 摸 屏 設(shè) 計 案 例 觸 摸 式 顯 示 屏 裝 備 手 柄 上 實 現(xiàn) 操 作 面 板成 本 下 降 鍵 畫 面 = 鍵 (可 配 置 )周 邊 裝 置 的 操 作 監(jiān) 視 器 功 能 周 辺 裝 置 一 鍵 式 的示 教 畫 面 切 換 過 去 的 控 制 裝 置 控 制 裝 置堆 積 如 山 的 手 冊 操 作 簡 單直 觀 的

19、 電 子 說 明 手冊 便 于 操 作 ?為 難 ! ?過 去 的 控 制 裝 置 維 護(hù) 簡 單 控 制 裝 置調(diào) 查 、 更 換 說 明 書有 照 片 說 明 短 時 間 復(fù) 原 Windows 2000 Windows XP 控 制 裝 置 的 大 腦 安裝 在 辦 公 室 的 電 腦 上 虛 擬 示 教 手 柄 虛 擬 機(jī) 器 人虛 擬 入 出 力 裝 置與 控 制 裝 置 完 全一 樣 的 畫 面 、 制 御 裝 置 別 売 按 鈕 和 虛 擬 與 操 作 完 全 一 樣最 適 合 作 為 機(jī) 器 人 導(dǎo) 入 前 的操 作 教 育 工 具可 模 擬 準(zhǔn) 確 的 生 產(chǎn) 節(jié) 拍 搭 配 與 相 同 的 運(yùn) 轉(zhuǎn) 引 擎 可 模 擬 信 號 AX ON DESK AX 控 制 裝 置可 直 接 從 AX控 制 裝 置 上 下 載動 作 程 序 梯 形 圖 編 集 可 能 ( 実 行 ) CAD 工 件 圖 形 式 文 件 互 換搭 載 周 邊 設(shè) 備 的 干 涉 檢 知 功 能 、 位 置 標(biāo) 簽 功 能 、 舒 適 的 OFFLINE 示 教

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