新型共振隧穿薄膜微加速度計的研究

《新型共振隧穿薄膜微加速度計的研究》由會員分享，可在線閱讀，更多相關《新型共振隧穿薄膜微加速度計的研究（2頁珍藏版）》請在裝配圖網上搜索。

1、 新型共振隧穿薄膜微加速度計的研究 全部作者： 張文棟 胡杰 薛晨陽 熊繼軍 張斌珍 第1作者單位： 中北大學電子與計算機科學技術學院，太原（030051） 論文摘要： 本文研究了1種新型的GaAs基壓阻

2、式共振隧穿微加速度計結構,該微加速度計的壓敏元件采用AlAs/In0.1Ga0.9As雙勢壘共振隧穿納米薄膜結構. 加速度計的壓敏元件和懸臂梁的加工分別利用空氣橋工藝和控制孔工藝。對加工出來的加速度計結構進行振動臺實驗,初步測得傳感器的靈敏度為7.6mV/g，線性度為0.16％. 關鍵詞： 加速度計;共振隧穿薄膜;雙空氣橋工藝;控制孔工藝 (瀏覽全文) 發(fā)表日期： 2007年12月25日

3、 同行評議： （暫時沒有） 綜合評價： （暫時沒有） 修改稿：