理學(xué)半導(dǎo)體物理學(xué)PPT課件

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1、 物質(zhì)存在的形式多種多樣，固體、液體、氣體、等離子體等等。物質(zhì)存在的形式多種多樣，固體、液體、氣體、等離子體等等。 通常把導(dǎo)電性和導(dǎo)電導(dǎo)熱性差或不好的材料，如金剛石、人工晶體、琥珀、陶瓷等等，通常把導(dǎo)電性和導(dǎo)電導(dǎo)熱性差或不好的材料，如金剛石、人工晶體、琥珀、陶瓷等等，稱(chēng)為絕緣體。稱(chēng)為絕緣體。 而把導(dǎo)電、導(dǎo)熱都比較好的金屬如金、銀、銅、鐵、錫、鋁等稱(chēng)為導(dǎo)體。而把導(dǎo)電、導(dǎo)熱都比較好的金屬如金、銀、銅、鐵、錫、鋁等稱(chēng)為導(dǎo)體。 可以簡(jiǎn)單的把介于導(dǎo)體和絕緣體之間的材料稱(chēng)為半導(dǎo)體?？梢院?jiǎn)單的把介于導(dǎo)體和絕緣體之間的材料稱(chēng)為半導(dǎo)體。第1頁(yè)/共76頁(yè)第2頁(yè)/共76頁(yè)半導(dǎo)體物理發(fā)展進(jìn)程半導(dǎo)體物理發(fā)展進(jìn)程半導(dǎo)體物

2、理的發(fā)展序幕半導(dǎo)體物理的發(fā)展序幕 晶態(tài)半導(dǎo)體物理晶態(tài)半導(dǎo)體物理原子排列從有序向無(wú)序的轉(zhuǎn)變?cè)优帕袕挠行蛳驘o(wú)序的轉(zhuǎn)變 非晶態(tài)半導(dǎo)體物理非晶態(tài)半導(dǎo)體物理材料性質(zhì)從體內(nèi)向表面的轉(zhuǎn)變材料性質(zhì)從體內(nèi)向表面的轉(zhuǎn)變 半導(dǎo)體表面物理半導(dǎo)體表面物理能帶特征從自然向人工的轉(zhuǎn)變能帶特征從自然向人工的轉(zhuǎn)變 半導(dǎo)體超晶格物理半導(dǎo)體超晶格物理體系結(jié)構(gòu)從三維向零維的轉(zhuǎn)變體系結(jié)構(gòu)從三維向零維的轉(zhuǎn)變 納米半導(dǎo)體物理納米半導(dǎo)體物理元素組成從原子向分子的轉(zhuǎn)變?cè)亟M成從原子向分子的轉(zhuǎn)變 有機(jī)半導(dǎo)體物理有機(jī)半導(dǎo)體物理第3頁(yè)/共76頁(yè)半導(dǎo)體物理學(xué)研究對(duì)象半導(dǎo)體物理學(xué)研究對(duì)象l 研究半導(dǎo)體的各種物理性質(zhì)及其內(nèi)在規(guī)律。l 研究在外界作用下(

3、 (摻雜、電場(chǎng)、溫度場(chǎng)、磁場(chǎng)) )半導(dǎo)體性質(zhì)的變化及其原因。l 半導(dǎo)體種類(lèi)繁多，本課程主要針對(duì)硅基晶態(tài)半導(dǎo)體作為研究對(duì)象。第4頁(yè)/共76頁(yè)學(xué)習(xí)本課程的基礎(chǔ)課程學(xué)習(xí)本課程的基礎(chǔ)課程量子力學(xué)半導(dǎo)體半導(dǎo)體物理物理固體物理熱力學(xué)統(tǒng)計(jì)物理第5頁(yè)/共76頁(yè)主要參考書(shū)：主要參考書(shū)：半導(dǎo)體物理學(xué)，第半導(dǎo)體物理學(xué)，第7 7版，劉恩科，朱秉升，版，劉恩科，朱秉升，羅晉生等編，電子工業(yè)出版社，羅晉生等編，電子工業(yè)出版社，20082008年年其他參考書(shū)：其他參考書(shū)：半導(dǎo)體物理與器件，裴素華，機(jī)械工業(yè)出版半導(dǎo)體物理與器件，裴素華，機(jī)械工業(yè)出版社社, 2008, 2008年年9 9月月固體物理，方俊鑫，上?？萍汲霭嫔?，固

4、體物理，方俊鑫，上?？萍汲霭嫔?，19951995第6頁(yè)/共76頁(yè) 1.11.1半導(dǎo)體的晶格結(jié)構(gòu)和結(jié)合性質(zhì)半導(dǎo)體的晶格結(jié)構(gòu)和結(jié)合性質(zhì) 1.21.2半導(dǎo)體的電子狀態(tài)和能帶半導(dǎo)體的電子狀態(tài)和能帶 1.31.3半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng) 有效質(zhì)量有效質(zhì)量 1.41.4本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu)本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu) 空穴空穴 1.51.5回旋共振回旋共振 1.61.6硅和鍺的能帶結(jié)構(gòu)硅和鍺的能帶結(jié)構(gòu)第一章第一章 半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)第7頁(yè)/共76頁(yè)1.11.1半導(dǎo)體的晶格結(jié)構(gòu)和結(jié)合性質(zhì)半導(dǎo)體的晶格結(jié)構(gòu)和結(jié)合性質(zhì) 半導(dǎo)體的單晶材料和其他固態(tài)晶體材料一樣，是由大量原子周期性重復(fù)排列而成。

5、半導(dǎo)體的單晶材料和其他固態(tài)晶體材料一樣，是由大量原子周期性重復(fù)排列而成。每個(gè)原子又包含原子核和核外電子。每個(gè)原子又包含原子核和核外電子。單電子近似方法，即假設(shè)每個(gè)電子是在單電子近似方法，即假設(shè)每個(gè)電子是在周期性排列且固定不動(dòng)的原子核勢(shì)場(chǎng)及周期性排列且固定不動(dòng)的原子核勢(shì)場(chǎng)及其他電子的平均勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)。該勢(shì)場(chǎng)具其他電子的平均勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)。該勢(shì)場(chǎng)具有與晶格同周期的周期性勢(shì)場(chǎng)。有與晶格同周期的周期性勢(shì)場(chǎng)。第8頁(yè)/共76頁(yè)三種簡(jiǎn)單格子三種簡(jiǎn)單格子簡(jiǎn)立方簡(jiǎn)立方體心立方體心立方面心立方面心立方第9頁(yè)/共76頁(yè)第10頁(yè)/共76頁(yè)第11頁(yè)/共76頁(yè)第12頁(yè)/共76頁(yè)第13頁(yè)/共76頁(yè)第14頁(yè)/共76頁(yè)結(jié)晶學(xué)結(jié)晶學(xué)晶

6、體學(xué)中的布喇菲原胞，按對(duì)稱(chēng)特點(diǎn)來(lái)選取?；冈诰лS方向，固體物理學(xué)中選取的原晶體學(xué)中的布喇菲原胞，按對(duì)稱(chēng)特點(diǎn)來(lái)選取?；冈诰лS方向，固體物理學(xué)中選取的原胞，不是任意重復(fù)單元，基矢方向和晶軸方向還是有一定的相對(duì)取向。胞，不是任意重復(fù)單元，基矢方向和晶軸方向還是有一定的相對(duì)取向。結(jié)晶學(xué)中的立方晶系結(jié)晶學(xué)中的立方晶系, ,布喇菲原胞布喇菲原胞簡(jiǎn)立方() 體心立方() 面心立方()第15頁(yè)/共76頁(yè)第16頁(yè)/共76頁(yè)第17頁(yè)/共76頁(yè)第18頁(yè)/共76頁(yè)1.1.金剛石型結(jié)構(gòu)和共價(jià)鍵金剛石型結(jié)構(gòu)和共價(jià)鍵SiSi，GeGe都是第四周期的都是第四周期的元素，即外層有四個(gè)價(jià)元素，即外層有四個(gè)價(jià)電子。硅、鍺的結(jié)合依

7、電子。硅、鍺的結(jié)合依靠共價(jià)鍵結(jié)合，組成金靠共價(jià)鍵結(jié)合，組成金剛石型結(jié)構(gòu)。結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：剛石型結(jié)構(gòu)。結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：每一個(gè)原子周?chē)兴膫€(gè)每一個(gè)原子周?chē)兴膫€(gè)最鄰近的原子，這四個(gè)最鄰近的原子，這四個(gè)原子分別處在四個(gè)頂角原子分別處在四個(gè)頂角上，任一頂角的原子和上，任一頂角的原子和中心原子各貢獻(xiàn)一個(gè)價(jià)中心原子各貢獻(xiàn)一個(gè)價(jià)電子為兩個(gè)原子所共有。電子為兩個(gè)原子所共有。第19頁(yè)/共76頁(yè)四面體的結(jié)合四面體的結(jié)合第20頁(yè)/共76頁(yè)結(jié)晶學(xué)原胞結(jié)晶學(xué)原胞兩個(gè)面心立方沿立方兩個(gè)面心立方沿立方體的空間對(duì)角線互相體的空間對(duì)角線互相位移了空間對(duì)角線四位移了空間對(duì)角線四分之一的長(zhǎng)度套構(gòu)而分之一的長(zhǎng)度套構(gòu)而成。成。8 8個(gè)原子在角頂，

8、個(gè)原子在角頂，6 6個(gè)個(gè)在面中心，晶胞內(nèi)部在面中心，晶胞內(nèi)部有有4 4個(gè)原子，頂角和個(gè)原子，頂角和面心與這面心與這4 4個(gè)原子周個(gè)原子周?chē)煌窍嗤訃煌?，是相同原子?gòu)成的復(fù)式格子。構(gòu)成的復(fù)式格子。第21頁(yè)/共76頁(yè)晶向晶向, ,面的介紹面的介紹(001)(010)(100)(110)(111)(001)(010)(100)(110)(111)面面向向100110111100110111第22頁(yè)/共76頁(yè)2.2.閃鋅礦型結(jié)構(gòu)和離子鍵閃鋅礦型結(jié)構(gòu)和離子鍵 由三族元素由三族元素AlAl、GaGa，銦和五族元素，銦和五族元素P P、AsAs組成的三五族化合物，它們大都是閃鋅礦組成的三五族化合物

9、，它們大都是閃鋅礦型結(jié)構(gòu)。型結(jié)構(gòu)。閃鋅礦結(jié)構(gòu)：與金剛石型結(jié)構(gòu)類(lèi)似，由兩閃鋅礦結(jié)構(gòu)：與金剛石型結(jié)構(gòu)類(lèi)似，由兩類(lèi)原子組成，雙原子復(fù)式格子。類(lèi)原子組成，雙原子復(fù)式格子。以共價(jià)鍵為主，但有一定的離子鍵成分。以共價(jià)鍵為主，但有一定的離子鍵成分。第23頁(yè)/共76頁(yè)第24頁(yè)/共76頁(yè)3.3.纖鋅礦型結(jié)構(gòu)纖鋅礦型結(jié)構(gòu)二六族化合物，如鋅、鉻、汞和硫、二六族化合物，如鋅、鉻、汞和硫、硒、碲等組成的化合物大部分具有閃硒、碲等組成的化合物大部分具有閃鋅礦型結(jié)構(gòu)，但其中有些也可具有纖鋅礦型結(jié)構(gòu)，但其中有些也可具有纖鋅礦型結(jié)構(gòu)。鋅礦型結(jié)構(gòu)。離子鍵第25頁(yè)/共76頁(yè)第26頁(yè)/共76頁(yè)1.21.2半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶半導(dǎo)

10、體中的電子狀態(tài)和能帶半導(dǎo)體材料大都是單晶體。單晶體是半導(dǎo)體材料大都是單晶體。單晶體是由靠得很緊密的原子周期性重復(fù)排列由靠得很緊密的原子周期性重復(fù)排列而成，相鄰原子之間間距在而成，相鄰原子之間間距在nmnm量級(jí)，量級(jí)，因此半導(dǎo)體中電子狀態(tài)肯定和單原子因此半導(dǎo)體中電子狀態(tài)肯定和單原子的電子狀態(tài)有所不同。的電子狀態(tài)有所不同。第27頁(yè)/共76頁(yè)電子的共有化運(yùn)動(dòng)電子的共有化運(yùn)動(dòng)第28頁(yè)/共76頁(yè)共有化運(yùn)動(dòng)的能量共有化運(yùn)動(dòng)的能量第29頁(yè)/共76頁(yè)原子能級(jí)分裂為能帶的示意圖原子能級(jí)分裂為能帶的示意圖第30頁(yè)/共76頁(yè)金剛石型結(jié)構(gòu)價(jià)電子能帶示意圖金剛石型結(jié)構(gòu)價(jià)電子能帶示意圖導(dǎo)帶導(dǎo)帶價(jià)帶價(jià)帶禁帶禁帶第31頁(yè)/共

11、76頁(yè) 晶體中的原子與孤立原子的電子不同，也和自由運(yùn)動(dòng)的電子不同。晶體中的原子與孤立原子的電子不同，也和自由運(yùn)動(dòng)的電子不同。半導(dǎo)體中電子的狀態(tài)和能帶半導(dǎo)體中電子的狀態(tài)和能帶單電子近似認(rèn)為，晶體中某一個(gè)電子是在單電子近似認(rèn)為，晶體中某一個(gè)電子是在周期性排列且固定不動(dòng)的原子核勢(shì)場(chǎng)和其周期性排列且固定不動(dòng)的原子核勢(shì)場(chǎng)和其他大量電子的勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)。他大量電子的勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)。研究發(fā)現(xiàn)，電子在周期性勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)的基本特點(diǎn)和自由電子運(yùn)動(dòng)十分相似。第32頁(yè)/共76頁(yè)第33頁(yè)/共76頁(yè)第34頁(yè)/共76頁(yè)布里淵區(qū)與能帶第35頁(yè)/共76頁(yè)簡(jiǎn)約布里淵區(qū)與能帶第36頁(yè)/共76頁(yè)金剛石型結(jié)構(gòu)的第一布里淵區(qū)金剛石型結(jié)構(gòu)的第一布里

12、淵區(qū)第37頁(yè)/共76頁(yè)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體的能帶導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體的能帶 (a)(a)絕緣體絕緣體 (b)(b)半導(dǎo)體半導(dǎo)體 (c)(c)導(dǎo)體導(dǎo)體第38頁(yè)/共76頁(yè)第39頁(yè)/共76頁(yè)1.3 1.3 半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng) 有效質(zhì)有效質(zhì)量量 E(k)E(k)和和k k之間的關(guān)系之間的關(guān)系 之前只給出了一個(gè)定性的關(guān)系，對(duì)之前只給出了一個(gè)定性的關(guān)系，對(duì)E(k)E(k)和和k k的關(guān)系式并不清楚。的關(guān)系式并不清楚。通常半導(dǎo)體中，起作用的是導(dǎo)帶底或價(jià)帶通常半導(dǎo)體中，起作用的是導(dǎo)帶底或價(jià)帶頂?shù)碾娮?，需考慮能帶極值附近頂?shù)碾娮?，需考慮能帶極值附近E(k)E(k)和和k k的的關(guān)系。關(guān)系。第4

13、0頁(yè)/共76頁(yè)第41頁(yè)/共76頁(yè)第42頁(yè)/共76頁(yè)第43頁(yè)/共76頁(yè)第44頁(yè)/共76頁(yè)第45頁(yè)/共76頁(yè)1.4 1.4 本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電結(jié)構(gòu) 空穴空穴第46頁(yè)/共76頁(yè)第47頁(yè)/共76頁(yè)1.51.5回旋共振回旋共振 不同的半導(dǎo)體材料，其能帶結(jié)構(gòu)不同，從理論上難以確定不同的半導(dǎo)體材料，其能帶結(jié)構(gòu)不同，從理論上難以確定E E與波矢與波矢k k的關(guān)系，需的關(guān)系，需借助實(shí)驗(yàn)的幫助。借助實(shí)驗(yàn)的幫助。n回旋共振實(shí)驗(yàn)用于測(cè)量半導(dǎo)體中載流子有 效質(zhì)量及能帶結(jié)構(gòu)。第48頁(yè)/共76頁(yè)第49頁(yè)/共76頁(yè)第50頁(yè)/共76頁(yè)第51頁(yè)/共76頁(yè)第52頁(yè)/共76頁(yè)第53頁(yè)/共76頁(yè)1.61.6硅和鍺的能

14、帶結(jié)構(gòu)硅和鍺的能帶結(jié)構(gòu)1.1.導(dǎo)帶結(jié)構(gòu)導(dǎo)帶結(jié)構(gòu) 對(duì)硅來(lái)說(shuō)，對(duì)硅來(lái)說(shuō)，（1 1）當(dāng)）當(dāng)B B沿沿111111晶軸方向，只能觀察到一個(gè)吸收峰；晶軸方向，只能觀察到一個(gè)吸收峰；（2 2）當(dāng)）當(dāng)B B沿沿110110晶軸方向，可以觀察到兩個(gè)吸收峰；晶軸方向，可以觀察到兩個(gè)吸收峰；（3 3）當(dāng)）當(dāng)B B沿沿100100晶軸方向，也能觀察到兩個(gè)吸收峰；晶軸方向，也能觀察到兩個(gè)吸收峰；（4 4）當(dāng)）當(dāng)B B沿任意晶軸方向，可以觀察到三個(gè)吸收峰。沿任意晶軸方向，可以觀察到三個(gè)吸收峰。若等能面是球面，那么只能觀察到一個(gè)吸收峰。第54頁(yè)/共76頁(yè)解釋?zhuān)航忉專(zhuān)?如果硅導(dǎo)帶底附近等能面是沿如果硅導(dǎo)帶底附近等能面是沿1

15、00100方方向的旋轉(zhuǎn)橢球面，橢球長(zhǎng)軸與該方向重合，那向的旋轉(zhuǎn)橢球面，橢球長(zhǎng)軸與該方向重合，那么理論與實(shí)驗(yàn)結(jié)果一致。同時(shí)，導(dǎo)帶最小值不么理論與實(shí)驗(yàn)結(jié)果一致。同時(shí)，導(dǎo)帶最小值不在在k k空間原點(diǎn)，在空間原點(diǎn)，在100100方向上。方向上。硅導(dǎo)帶等能面示意圖第55頁(yè)/共76頁(yè)第56頁(yè)/共76頁(yè)第57頁(yè)/共76頁(yè)第58頁(yè)/共76頁(yè)第59頁(yè)/共76頁(yè)鍺的導(dǎo)帶等能面，8個(gè)半旋轉(zhuǎn)橢球面硅的導(dǎo)帶等能面,6個(gè)旋轉(zhuǎn)橢球面第60頁(yè)/共76頁(yè) 回旋共振的實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，硅、鍺電子有效質(zhì)量各向異性，說(shuō)明其等能面各向異性?；匦舱竦膶?shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，硅、鍺電子有效質(zhì)量各向異性，說(shuō)明其等能面各向異性。 硅有六個(gè)橢球等能面，分別分布在硅

16、有六個(gè)橢球等能面，分別分布在晶向的六個(gè)等效晶軸上，電子主要分布在晶向的六個(gè)等效晶軸上，電子主要分布在這六個(gè)橢球的中心（極值）附近。這六個(gè)橢球的中心（極值）附近。 僅從回旋共振的實(shí)驗(yàn)還不能決定導(dǎo)帶極值（橢球中心）的確定位置。通過(guò)施主電僅從回旋共振的實(shí)驗(yàn)還不能決定導(dǎo)帶極值（橢球中心）的確定位置。通過(guò)施主電子自旋共振實(shí)驗(yàn)得出，硅的導(dǎo)帶極值位于子自旋共振實(shí)驗(yàn)得出，硅的導(dǎo)帶極值位于方向的布里淵區(qū)邊界的方向的布里淵區(qū)邊界的0.850.85倍處倍處 第61頁(yè)/共76頁(yè) n n型鍺的實(shí)驗(yàn)指出，鍺的導(dǎo)電極小值位于型鍺的實(shí)驗(yàn)指出，鍺的導(dǎo)電極小值位于方向的布里淵區(qū)邊界上共有八個(gè)。方向的布里淵區(qū)邊界上共有八個(gè)。 極值

17、附近等能面為沿極值附近等能面為沿方向旋轉(zhuǎn)的八個(gè)橢球面，每個(gè)橢球面有半個(gè)在布里淵方向旋轉(zhuǎn)的八個(gè)橢球面，每個(gè)橢球面有半個(gè)在布里淵區(qū)，因此，在簡(jiǎn)約布里淵區(qū)共有四個(gè)橢球區(qū)，因此，在簡(jiǎn)約布里淵區(qū)共有四個(gè)橢球 第62頁(yè)/共76頁(yè)第63頁(yè)/共76頁(yè)第64頁(yè)/共76頁(yè)第65頁(yè)/共76頁(yè)第66頁(yè)/共76頁(yè) 硅和鍺的價(jià)帶結(jié)構(gòu)：有三條價(jià)帶，其中有兩條價(jià)帶的極值在硅和鍺的價(jià)帶結(jié)構(gòu)：有三條價(jià)帶，其中有兩條價(jià)帶的極值在k k0 0處重合，有兩處重合，有兩種空穴有效質(zhì)量與之對(duì)應(yīng)，分別為重空穴和輕空穴種空穴有效質(zhì)量與之對(duì)應(yīng)，分別為重空穴和輕空穴 還有第三個(gè)價(jià)帶，其帶頂比前兩個(gè)價(jià)帶低，對(duì)于硅低還有第三個(gè)價(jià)帶，其帶頂比前兩個(gè)價(jià)帶

18、低，對(duì)于硅低0.04ev0.04ev，對(duì)于鍺，對(duì)于鍺 低低0.29ev0.29ev 給出了第三種空穴。空穴豬要分布在前兩個(gè)價(jià)帶。在價(jià)帶頂附近，等能面接近給出了第三種空穴。空穴豬要分布在前兩個(gè)價(jià)帶。在價(jià)帶頂附近，等能面接近平面。平面。 第67頁(yè)/共76頁(yè)第68頁(yè)/共76頁(yè)砷化鎵的能帶結(jié)構(gòu)：導(dǎo)帶極小值位于砷化鎵的能帶結(jié)構(gòu)：導(dǎo)帶極小值位于布里淵區(qū)中心布里淵區(qū)中心k k0 0處，等能面為球面，處，等能面為球面，導(dǎo)帶底電子有效質(zhì)量為導(dǎo)帶底電子有效質(zhì)量為0.067m0 0.067m0 。在在方向布里淵區(qū)邊界還有一個(gè)方向布里淵區(qū)邊界還有一個(gè)導(dǎo)帶極小值，極值附近的曲線的曲率導(dǎo)帶極小值，極值附近的曲線的曲率比較小，電子有效質(zhì)量比較大，約為比較小，電子有效質(zhì)量比較大，約為0.55m0 0.55m0 ，能量比布里淵區(qū)中心極小，能量比布里淵區(qū)中心極小值的能量高值的能量高0.29ev0.29ev。價(jià)帶結(jié)構(gòu)與硅、鍺類(lèi)似。價(jià)帶結(jié)構(gòu)與硅、鍺類(lèi)似。室溫下禁帶寬度為室溫下禁帶寬度為1.424ev1.424ev。 第69頁(yè)/共76頁(yè)第70頁(yè)/共76頁(yè)第71頁(yè)/共76頁(yè)第72頁(yè)/共76頁(yè)第73頁(yè)/共76頁(yè)第74頁(yè)/共76頁(yè)第75頁(yè)/共76頁(yè)感謝您的觀看！第76頁(yè)/共76頁(yè)