《測試技術基礎課件北京工業(yè)大學機電學院第04章 應變式傳感器》由會員分享，可在線閱讀，更多相關《測試技術基礎課件北京工業(yè)大學機電學院第04章 應變式傳感器（89頁珍藏版）》請在裝配圖網上搜索。
1、北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制測量技術基礎測量技術基礎第四章第四章 電阻式傳感器電阻式傳感器本章內容：本章內容：l 概述概述l 變阻器式（電位器式）變阻器式（電位器式）l 應變式傳感器應變式傳感器l 壓阻式傳感器壓阻式傳感器北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制分類分類 變阻器式變阻器式 電阻應變式電阻應變式 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 熱電阻式傳感器（溫度傳感器處介紹）熱電阻式傳感器（溫度傳感器處介紹）AlR 應變式傳感器是把被測量轉換為電阻變化的應變式傳感器是把被測量轉換為電阻變化的一種傳感器一種傳感
2、器4.1 概述概述 工作原理工作原理北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制4.1 概述概述 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制工作原理工作原理分類分類直線位移型、角位移型和非線性型直線位移型、角位移型和非線性型4.2 變阻器式（電位器式）變阻器式（電位器式）北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制 特點特點 (1)結構簡單、尺寸小、重量輕、價格低廉且性能穩(wěn)定；結構簡單、尺寸小、重量輕、價格低廉且性能穩(wěn)定；(2)受環(huán)境因素受環(huán)境因素(如溫度、濕度、電磁場干擾等如溫度、濕
3、度、電磁場干擾等)影響??；影響??；(3)可以實現(xiàn)輸出可以實現(xiàn)輸出輸入間任意函數(shù)關系；輸入間任意函數(shù)關系；(4)輸出信號大，一般不需放大；輸出信號大，一般不需放大；(5)電刷與線圈或電阻膜之間摩擦，需要較大的輸入能量；電刷與線圈或電阻膜之間摩擦，需要較大的輸入能量；(6)分辨力較低；分辨力較低；(7)動態(tài)響應較差，適合于緩慢量的測量。動態(tài)響應較差，適合于緩慢量的測量。4.2 變阻器式（電位器式）變阻器式（電位器式）北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制應用應用 測量測量“位移位移”、“壓力壓力”、“加速度加速度”等參量。等參量。4.2 變阻器式（電位器式
4、）變阻器式（電位器式）北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制變阻器式傳感器產品變阻器式傳感器產品4.2 變阻器式（電位器式）變阻器式（電位器式）北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制案例：重量的自動檢測案例：重量的自動檢測-配料設備配料設備 比較重量設定重量設定原材料原材料原理：彈簧原理：彈簧-力力-位移位移 -電位器電位器-電阻電阻4.2 變阻器式（電位器式）變阻器式（電位器式）北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制案例：煤氣包儲量檢測案例：煤氣包儲量檢測煤氣包煤氣包
5、鋼絲鋼絲原理：鋼絲原理：鋼絲-收線圈數(shù)收線圈數(shù) -電位器電位器-電阻電阻4.2 變阻器式（電位器式）變阻器式（電位器式）北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制案例：玩具機器人案例：玩具機器人原理：電機原理：電機-轉角轉角 -電位器電位器 -電阻電阻4.2 變阻器式（電位器式）變阻器式（電位器式）北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制4.2 變阻器式（電位器式）變阻器式（電位器式）北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制M 精度高，測量范圍廣；精度高，測量范圍廣；M 頻率響
6、應特性好；頻率響應特性好；M 結構簡單，尺寸小，重量輕；結構簡單，尺寸小，重量輕；M 可在高低溫、高速、高壓等惡劣環(huán)境下工作；可在高低溫、高速、高壓等惡劣環(huán)境下工作；M 易于實現(xiàn)小型化，固態(tài)化；易于實現(xiàn)小型化，固態(tài)化；M 價格低廉，品種多樣，便于選擇；價格低廉，品種多樣，便于選擇；M 但在大應變狀態(tài)具有明顯非線性；但在大應變狀態(tài)具有明顯非線性；M 由于輸出信號微弱，抗干擾能力差；由于輸出信號微弱，抗干擾能力差；M 只能測出為應變片區(qū)域的平均應變。只能測出為應變片區(qū)域的平均應變。一、特點一、特點4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永
7、剛剛胥永剛制胥永剛制二、工作原理二、工作原理電阻應變效應：當金屬絲在外力作用下發(fā)生機械變電阻應變效應：當金屬絲在外力作用下發(fā)生機械變形時其電阻值將發(fā)生變化形時其電阻值將發(fā)生變化dAldAAldlAdR2F l、A、RAlR4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制電阻的相對變化：電阻的相對變化：AAllRR對于半徑為對于半徑為r的圓導體，的圓導體，A=r2，A/A=2r/r又由材料力學可知，在彈性范圍內：又由材料力學可知，在彈性范圍內：Errll/,/,/)21(ERR導體的縱向應變，其數(shù)值一般很小，常以微應變度量
8、導體的縱向應變，其數(shù)值一般很小，常以微應變度量電阻絲材料的泊松比，一般金屬電阻絲材料的泊松比，一般金屬=0.30.5；壓阻系數(shù)，與材質有關；壓阻系數(shù)，與材質有關；應力值；應力值；E材料的彈性模量材料的彈性模量4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制/210RRk金屬材料：金屬材料：k0以前者為主，則以前者為主，則k01+2=1.73.6半半 導導 體：體：k0值主要是由電阻率相對變化所決定值主要是由電阻率相對變化所決定0kRR電阻的靈敏系數(shù)電阻的靈敏系數(shù)21/0k材料電阻率材料電阻率隨應變引起（壓阻效應）隨應變引
9、起（壓阻效應）材料的幾何尺寸變化引起的材料的幾何尺寸變化引起的4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制金屬應變片的類型和材料金屬應變片的類型和材料 金屬絲式金屬絲式 金屬箔式金屬箔式 金屬薄膜式金屬薄膜式回線式回線式短接式短接式 金金 屬屬 半導體半導體材料材料 位移、力、力矩位移、力、力矩加速度、壓力加速度、壓力彈性敏彈性敏感元件感元件 應變應變 4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制應變片應變片外力作用外力作用被測對象表面產生
10、微小機械變形被測對象表面產生微小機械變形電阻值發(fā)生相應變化電阻值發(fā)生相應變化應變片敏感柵隨同變形應變片敏感柵隨同變形4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制 敏感柵敏感柵 電阻絲電阻絲金屬應變式金屬應變式 基基 底底 絕緣絕緣 覆蓋層覆蓋層 保護保護三、金屬應變片的基本結構與種類三、金屬應變片的基本結構與種類 絲式絲式敏感柵敏感柵 箔式箔式 薄膜式薄膜式4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制金屬絲式應變片金屬絲式應變片應變片電阻的
11、相對變化與應變片縱向應變成正比，應變片電阻的相對變化與應變片縱向應變成正比，對同一電阻材料，對同一電阻材料，k0=1+2是常數(shù)。是常數(shù)。靈敏度系數(shù)多在靈敏度系數(shù)多在1.73.6之間。之間。4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制金屬箔式應變片金屬箔式應變片 在絕緣基底上，將厚度為在絕緣基底上，將厚度為0.0030.01mm電阻箔電阻箔材，利用照相制板或光刻腐蝕的方法，制成適用于材，利用照相制板或光刻腐蝕的方法，制成適用于各種需要的形狀。各種需要的形狀。4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院
12、北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制（1 1）尺寸準確，線條均勻，適應不同的測量要求尺寸準確，線條均勻，適應不同的測量要求（2）可制成多種復雜形狀尺寸準確的敏感柵）可制成多種復雜形狀尺寸準確的敏感柵 （3）與被測試件接觸面積大，粘結性能好。）與被測試件接觸面積大，粘結性能好。散熱條件好，允許電流大，靈敏度提高。散熱條件好，允許電流大，靈敏度提高。（4）橫向效應可以忽略。）橫向效應可以忽略。（5）蠕變、機械滯后小，疲勞壽命長。）蠕變、機械滯后小，疲勞壽命長。電阻值的分散性大電阻值的分散性大優(yōu)點：優(yōu)點：缺點：缺點：4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學
13、院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制 采用真空蒸發(fā)或真空沉積等方法在薄的絕緣基片采用真空蒸發(fā)或真空沉積等方法在薄的絕緣基片上形成厚度在上形成厚度在1m以下的金屬電阻材料薄膜敏感柵，再以下的金屬電阻材料薄膜敏感柵，再加上保護層，易實現(xiàn)工業(yè)化批量生產。加上保護層，易實現(xiàn)工業(yè)化批量生產。優(yōu)點：優(yōu)點：應變靈敏系數(shù)大，允許電流密度大，工作范圍廣，應變靈敏系數(shù)大，允許電流密度大，工作范圍廣，易實現(xiàn)工業(yè)化生產。易實現(xiàn)工業(yè)化生產。問題：問題：難控制電阻與溫度、時間的變化關系。難控制電阻與溫度、時間的變化關系。金屬薄膜應變片金屬薄膜應變片 4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京
14、工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制1、應變片的電阻值、應變片的電阻值 應變片在未經安裝也不受外力情況下，于室溫下應變片在未經安裝也不受外力情況下，于室溫下測得的電阻值測得的電阻值 電阻系列：電阻系列：60、120、200、350、600、1000 四、金屬應變片的主要特性參數(shù)四、金屬應變片的主要特性參數(shù)可以加大應變片承受電壓可以加大應變片承受電壓 輸出信號大輸出信號大敏感柵尺寸也增大敏感柵尺寸也增大電阻值大電阻值大R4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制2、應變片的、應
15、變片的幾何參數(shù)幾何參數(shù)四、金屬應變片的主要特性參數(shù)四、金屬應變片的主要特性參數(shù)幾何參數(shù)：標距幾何參數(shù)：標距 和絲柵寬度和絲柵寬度 ，制造廠常用，制造廠常用 表示表示LbbL4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制3、靈敏系數(shù)、靈敏系數(shù)RRK/“標稱靈敏系數(shù)標稱靈敏系數(shù)”：在泊松系數(shù)：在泊松系數(shù)=0.285的鋼試件受軸向單向力的鋼試件受軸向單向力（拉或壓）時，在一批產品中抽樣（拉或壓）時，在一批產品中抽樣5的產品來測定，取平均值的產品來測定，取平均值及允許公差值。及允許公差值。電阻應變片的靈敏系數(shù)電阻應變片的靈敏系
16、數(shù)k 電阻絲的靈敏系數(shù)電阻絲的靈敏系數(shù)k0 粘結層傳遞變形失真粘結層傳遞變形失真存在橫向效應存在橫向效應原因原因靈敏系數(shù)為應變計變換性能的重要參數(shù)靈敏系數(shù)為應變計變換性能的重要參數(shù)四、金屬應變片的主要特性參數(shù)四、金屬應變片的主要特性參數(shù)4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制敏感柵是由多條直線和圓弧部分組成敏感柵是由多條直線和圓弧部分組成直線段：沿軸向拉應變直線段：沿軸向拉應變 ，電阻，電阻圓弧段：沿軸向壓應度圓弧段：沿軸向壓應度 ，電阻電阻 xK (箔式應變片箔式應變片)y四、金屬應變片的主要特性參數(shù)四、金屬應
17、變片的主要特性參數(shù)yxy4、橫向效應、橫向效應4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制5、溫度誤差及其補償、溫度誤差及其補償 1、敏感柵電阻隨溫度的變化引起的誤差。當環(huán)境溫度、敏感柵電阻隨溫度的變化引起的誤差。當環(huán)境溫度變化變化t 時，敏感柵材料電阻溫度系數(shù)為時，敏感柵材料電阻溫度系數(shù)為 ，則引起的，則引起的電阻相對變化為電阻相對變化為2、試件材料的線膨脹引起的誤差。當溫度變化、試件材料的線膨脹引起的誤差。當溫度變化t 時，時，因試件材料和敏感柵材料的線膨脹系數(shù)不同，應變片將因試件材料和敏感柵材料的線膨脹系數(shù)不同
18、，應變片將產生附加拉長（或壓縮），引起的電阻相對變化產生附加拉長（或壓縮），引起的電阻相對變化 溫度溫度誤差誤差 tKRKRRsgtt)(0000tRRRRtt00s應變絲的線膨脹系數(shù)；應變絲的線膨脹系數(shù)；g試件的線膨脹系數(shù)試件的線膨脹系數(shù)4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制相應的虛假應變輸出相應的虛假應變輸出tKtKRRsgtt)(/000由溫度變化引起的總電阻變化為由溫度變化引起的總電阻變化為tKRtRRRRsgttt)(000 單絲自補償法單絲自補償法 自補償法自補償法 組合式自補償法組合式自補償法 線
19、路補償法電橋補償法、熱敏電阻線路補償法電橋補償法、熱敏電阻溫度補償溫度補償 5、溫度誤差及其補償、溫度誤差及其補償 4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制 U0R1R4R3URbFFR1RbR1+RRb-RU0R1RR4R3URbR常用的最好的補償方法。常用的最好的補償方法。4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制 優(yōu)點：優(yōu)點：簡單、方便，在常溫下補償效果較好簡單、方便，在常溫下補償效果較好 缺點：缺點：在溫度變化梯度較大的條件下
20、，很難做到工作片在溫度變化梯度較大的條件下，很難做到工作片與補償片處于溫度完全一致的情況，因而影響補與補償片處于溫度完全一致的情況，因而影響補償效果。償效果。4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制 粘貼在被測部位上是一種特殊應變片，當粘貼在被測部位上是一種特殊應變片，當溫度變化時，產生的附加應變?yōu)榱慊蛳嗷サ窒?，溫度變化時，產生的附加應變?yōu)榱慊蛳嗷サ窒@種應變片稱為溫度自補償應變片。利用這種這種應變片稱為溫度自補償應變片。利用這種應變片來實現(xiàn)溫度補償?shù)姆椒ǚQ為應變片自補應變片來實現(xiàn)溫度補償?shù)姆椒ǚQ為應變片自補償
21、法。償法。a.選擇式自補償應變片選擇式自補償應變片 b.雙金屬敏感柵自補償應變片雙金屬敏感柵自補償應變片4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制優(yōu)點：容易加工，成本低，優(yōu)點：容易加工，成本低，缺點：只適用特定試件材料，溫度補償范圍也較窄缺點：只適用特定試件材料，溫度補償范圍也較窄 即可達到溫度自補償?shù)哪康?。即可達到溫度自補償?shù)哪康摹?0tKtsgtsgK0實現(xiàn)溫度補償?shù)臈l件為實現(xiàn)溫度補償?shù)臈l件為當被測試件的線膨脹系數(shù)當被測試件的線膨脹系數(shù)gg已知時，選擇敏感柵材已知時，選擇敏感柵材料，使料，使4.3 電阻應變式傳
22、感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制組合自補償法組合自補償法敏感柵絲由兩種不同溫度系數(shù)的金屬絲串接組成敏感柵絲由兩種不同溫度系數(shù)的金屬絲串接組成 選用兩者具有不同符號的電阻溫度系數(shù)選用兩者具有不同符號的電阻溫度系數(shù)調整調整R1和和R2的比例，使溫度變化時產生的比例，使溫度變化時產生的電阻變化滿足的電阻變化滿足 t2t1)()(RR通過調節(jié)兩種敏感柵的長度來控制應變通過調節(jié)兩種敏感柵的長度來控制應變片的溫度自補償，可達片的溫度自補償，可達0.45/的高的高精度精度)()(/111222112221ggttKKRRRRRRR1R24
23、.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制應變片主要性能指標舉例應變片主要性能指標舉例4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制五、電阻應變片的選擇、粘貼技術五、電阻應變片的選擇、粘貼技術 1.檢測電阻應變片有無折痕、斷絲等缺陷，有缺陷的檢測電阻應變片有無折痕、斷絲等缺陷，有缺陷的應變片不能粘貼。應變片不能粘貼。2.用精密電阻箱測量應變片電阻值大小。同一電橋中用精密電阻箱測量應變片電阻值大小。同一電橋中各應變片阻值相差不得大于各應變片阻值
24、相差不得大于0.5歐姆。歐姆。3.試件表面處理：貼片處置用細砂紙打磨干凈，用酒試件表面處理：貼片處置用細砂紙打磨干凈，用酒精棉球反復擦洗貼處，直到棉球無黑跡為止。精棉球反復擦洗貼處，直到棉球無黑跡為止。4.應變片粘貼：在應變片基底上擠一小滴應變片粘貼：在應變片基底上擠一小滴502膠水，膠水，輕輕涂抹均勻，立即放在應變貼片位置。輕輕涂抹均勻，立即放在應變貼片位置。4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制5.焊線：用電烙鐵將應變片的引線焊接到導引焊線：用電烙鐵將應變片的引線焊接到導引線上。線上。6.用兆歐表檢查應變片
25、與試件之間的絕緣組織，用兆歐表檢查應變片與試件之間的絕緣組織，應大于應大于500M歐。歐。7.應變片保護：用應變片保護：用704硅橡膠覆于應變片上，硅橡膠覆于應變片上，防止受潮。防止受潮。五、電阻應變片的選擇、粘貼技術五、電阻應變片的選擇、粘貼技術 4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制六、電阻應變片的測量電路六、電阻應變片的測量電路 1、電橋分類、電橋分類直流電橋直流電橋交流電橋交流電橋平衡電橋平衡電橋不平衡電橋不平衡電橋單臂電橋單臂電橋半橋半橋全橋全橋4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機
26、電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制2.直流電橋直流電橋平衡條件平衡條件當當R1=R2=R3=R4=R，電橋，電橋輸出：輸出：RRRRRRRRUU4321i044321i04KUU3241RRRRR1R2R4R3UiILRLU0六、電阻應變片的測量電路六、電阻應變片的測量電路 4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制 時，電橋的輸出電壓與應變成線性關系。時，電橋的輸出電壓與應變成線性關系。若相鄰兩橋臂的應變極性一致，即同為拉應變或壓若相鄰兩橋臂的應變極性一致，即同為拉應變或壓應變時，
27、輸出電壓為兩者之差；若相鄰兩橋臂的應應變時，輸出電壓為兩者之差；若相鄰兩橋臂的應變極性不同，則輸出電壓為兩者之和。變極性不同，則輸出電壓為兩者之和。若相對兩橋臂應變的極性一致，輸出電壓為兩者之若相對兩橋臂應變的極性一致，輸出電壓為兩者之和；反之則為兩者之差。和；反之則為兩者之差。2.直流電橋直流電橋六、電阻應變片的測量電路六、電阻應變片的測量電路 RRi4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制2.直流電橋直流電橋六、電阻應變片的測量電路六、電阻應變片的測量電路 電橋供電電壓電橋供電電壓 越高，輸出電壓越高，輸出電
28、壓 越大。但是，越大。但是，當當 大時，電阻應變片通過的電流也大，若超過電大時，電阻應變片通過的電流也大，若超過電阻應變片所允許通過的最大工作電流，傳感器就會出阻應變片所允許通過的最大工作電流，傳感器就會出現(xiàn)蠕變和零漂?，F(xiàn)蠕變和零漂。增大電阻應變片的靈敏系數(shù)增大電阻應變片的靈敏系數(shù) ，可提高電橋的輸，可提高電橋的輸出電壓。出電壓。iUoUiUK4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制R1橋臂變化橋臂變化R，理想的線性關系理想的線性關系 RRUU4i03.單臂電橋非線性誤差及其補償單臂電橋非線性誤差及其補償六、電阻
29、應變片的測量電路六、電阻應變片的測量電路 4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制六、電阻應變片的測量電路六、電阻應變片的測量電路 實際輸出電壓實際輸出電壓 RRRRURRRUU211424ii0電橋的相對非線性誤差為電橋的相對非線性誤差為 KRRRRRRUU21211211121111003.單臂電橋非線性誤差及其補償單臂電橋非線性誤差及其補償4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制補償方法之一：半橋差動電橋補償方法之一：半橋差動
30、電橋 R1R2FRRUU20R1R2，R3R4，R1R2=R嚴格的線性關系嚴格的線性關系電橋靈敏度比單臂時提高一倍電橋靈敏度比單臂時提高一倍溫度補償作用溫度補償作用U0R1R1R4R3UR2R23.單臂電橋非線性誤差及其補償單臂電橋非線性誤差及其補償4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制輸出電壓為：輸出電壓為：110RRUU如果四個橋臂電阻都由應變片替代，且使兩個應變片受拉，如果四個橋臂電阻都由應變片替代，且使兩個應變片受拉，另兩個受壓，并將應變符號相同的應變片接到相對的橋臂另兩個受壓，并將應變符號相同的應變片
31、接到相對的橋臂上，這種接法稱為全橋差動工作電路。上，這種接法稱為全橋差動工作電路。條件：條件：R1R2R3R4且且R1R2=R3R4優(yōu)點：沒有非線性誤差；電壓優(yōu)點：沒有非線性誤差；電壓靈敏度是使用單只應變靈敏度是使用單只應變片的片的4倍，能溫度補償倍，能溫度補償U0R1R1UR2R2R4R4R3R3補償方法之二：全橋差動電路補償方法之二：全橋差動電路 3.單臂電橋非線性誤差及其補償單臂電橋非線性誤差及其補償4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制4 交流電橋交流電橋傳感器傳感器傳感器傳感器平衡條件平衡條件4231
32、ZZZZLLLL0URR0e1C2C4R1R2R3R0U1U4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制 應變效應的應用十分廣泛。它可以測量應變應力、應變效應的應用十分廣泛。它可以測量應變應力、彎矩、扭矩、加速度、位移等物理量。電阻應變片的應彎矩、扭矩、加速度、位移等物理量。電阻應變片的應用可分為兩大類：用可分為兩大類：第一類是將應變片粘貼于某些彈性體上，并將其接第一類是將應變片粘貼于某些彈性體上，并將其接到測量轉換電路，這樣就構成測量各種物理量的專用應到測量轉換電路，這樣就構成測量各種物理量的專用應變式傳感器。應變
33、式傳感器中，敏感元件一般為各種彈變式傳感器。應變式傳感器中，敏感元件一般為各種彈性體，傳感元件就是應變片，測量轉換電路一般為橋路；性體，傳感元件就是應變片，測量轉換電路一般為橋路；第二類是將應變片貼于被測試件上，然后將其接到第二類是將應變片貼于被測試件上，然后將其接到應變儀上就可直接從應變儀上讀取被測試件的應變量。應變儀上就可直接從應變儀上讀取被測試件的應變量。七、應變效應的應用七、應變效應的應用4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制應變式力傳感器應變式力傳感器 FFFF4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器
34、 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制各種懸臂梁各種懸臂梁4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制FF固定點固定點固定點固定點電纜電纜各種懸臂梁各種懸臂梁4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制 應變片在懸臂梁上的粘貼及變形應變片在懸臂梁上的粘貼及變形4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制應變式荷重傳感器的
35、外形及應變片的粘貼位置應變式荷重傳感器的外形及應變片的粘貼位置FR1R2 R44.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制應變式荷重傳感器外形及受力位置應變式荷重傳感器外形及受力位置FF4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制應變式荷重傳感器外形及受力位置應變式荷重傳感器外形及受力位置FF4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制荷重傳感器原理演示荷重傳感器
36、原理演示 荷重傳感器上的應變片在重力作用下產生變形。軸荷重傳感器上的應變片在重力作用下產生變形。軸向變短，徑向變長。向變短，徑向變長。4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制汽車衡汽車衡4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制汽車衡汽車衡4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制汽車衡稱重系統(tǒng)汽車衡稱重系統(tǒng)4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工
37、業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制電子秤電子秤 磅秤磅秤超市打印秤超市打印秤遠距離遠距離顯示顯示4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制電子天平電子天平 電子天平的精度可達電子天平的精度可達十萬分之一十萬分之一4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制人體秤人體秤 4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制吊鉤秤吊鉤
38、秤 便攜式便攜式4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制應變式數(shù)顯扭矩扳手應變式數(shù)顯扭矩扳手 可用于汽車、摩托車、飛機、內燃機、機械制造可用于汽車、摩托車、飛機、內燃機、機械制造和家用電器等領域，準確控制緊固螺紋的裝配扭矩。和家用電器等領域，準確控制緊固螺紋的裝配扭矩。量程量程2500N.m，耗電量，耗電量10mA，有公制，有公制/英制單位轉英制單位轉換、峰值保持、自動斷電等功能。換、峰值保持
39、、自動斷電等功能。4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制電阻應變儀電阻應變儀靜態(tài)應變儀測量范圍：靜態(tài)應變儀測量范圍：19999；分辨率：分辨率：1；電橋電壓：直流；電橋電壓：直流2.5V；應變片：應變片：120或其他阻值；或其他阻值；測量點數(shù)：測量點數(shù)：8/16點。點。4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制電阻應變儀電阻應變儀靜動態(tài)應變儀技術指標：靜動態(tài)應變儀技術指標：量程：量程：110000頻率范圍：頻率范圍：0-150kHz
40、 平衡方式：手動平衡方式：手動 精度：精度：0.3%零點漂移：零點漂移：-/：0.1-/24小時：小時：0.5靈敏度變化：靈敏度變化：-/：0.05%-/24小時：小時：0.3%信噪比：信噪比：52dB(參考東方振動和噪聲技術研究所資料參考東方振動和噪聲技術研究所資料)4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制材料應變的測量材料應變的測量斜拉橋上的斜拉繩應變測試斜拉橋上的斜拉繩應變測試 4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制電阻應變
41、式傳感器的應用：測力電阻應變式傳感器的應用：測力4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制標準產品標準產品4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制案例：沖床生產記數(shù)案例：沖床生產記數(shù) 和生產過程監(jiān)測和生產過程監(jiān)測4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制案例：機器人握力測量案例：機器人握力測量4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北
42、京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制案例：振動式地音入侵探測器案例：振動式地音入侵探測器適合于金庫、倉庫、古建筑的防范，挖墻、打適合于金庫、倉庫、古建筑的防范，挖墻、打洞、爆破等破壞行為均可及時發(fā)現(xiàn)。洞、爆破等破壞行為均可及時發(fā)現(xiàn)。4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制容器內液體重量（液位）傳感器容器內液體重量（液位）傳感器 該傳感器有一根傳壓桿，該傳感器有一根傳壓桿，上端安裝腰形筒微壓傳感器，上端安裝腰形筒微壓傳感器，下端安裝感壓膜，在三者空腔下端安裝感壓膜，在三者空腔內充滿傳壓介質并密
43、封。內充滿傳壓介質并密封。由于空腔內傳壓介質的高由于空腔內傳壓介質的高度比被測溶液的高度高，因而度比被測溶液的高度高，因而腰形筒微壓傳感器處于負壓狀腰形筒微壓傳感器處于負壓狀態(tài)。態(tài)。為了提高測量的靈敏度，安裝了兩只性能完全相同的為了提高測量的靈敏度，安裝了兩只性能完全相同的微壓傳感器。微壓傳感器。4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制應變式加速度傳感器應變式加速度傳感器 在低頻（在低頻（1060Hz）振動測量中得到廣泛的應用，）振動測量中得到廣泛的應用，但不適用于頻率較高的振動和沖擊。但不適用于頻率較高的振動和
44、沖擊。應變式加速度傳感器結構示意圖1等強度梁 2質量塊 3殼體 4電阻應變片4.3 電阻應變式傳感器電阻應變式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制ERR 利用半導體材料的壓阻效應和微電子技術制成的，利用半導體材料的壓阻效應和微電子技術制成的，是一種新的物性型傳感器。是一種新的物性型傳感器。壓阻效應：指當半導體材料在某一軸向受外力作壓阻效應：指當半導體材料在某一軸向受外力作用時，其電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。用時，其電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。為半導體材料的壓阻系數(shù)為半導體材料的壓阻系數(shù)4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電
45、學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制優(yōu)點：靈敏度高，比金屬絲式高優(yōu)點：靈敏度高，比金屬絲式高5080倍、尺寸倍、尺寸小，橫向效應小，動態(tài)響應好、精度高、小，橫向效應小，動態(tài)響應好、精度高、易于微型化和集成化等。易于微型化和集成化等。缺點：溫度系數(shù)大，應變時非線性比較嚴重，穩(wěn)缺點：溫度系數(shù)大，應變時非線性比較嚴重，穩(wěn)定性和可重復性不如金屬應變片。定性和可重復性不如金屬應變片。4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制半導體應變片的類型半導體應變片的類型 體型半導體應變片體型半導體應變片 這是一種將半導體材料硅或鍺晶體
46、按一定方向切這是一種將半導體材料硅或鍺晶體按一定方向切割成的片狀小條，經腐蝕壓焊粘貼在基片上而成的割成的片狀小條，經腐蝕壓焊粘貼在基片上而成的應變片。應變片。薄膜型半導體應變片薄膜型半導體應變片 這種應變片是利用真空沉積技術將半導體材料沉這種應變片是利用真空沉積技術將半導體材料沉積在帶有絕緣層的試件上而制成。積在帶有絕緣層的試件上而制成。4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制擴散型半導體應變片擴散型半導體應變片 將將P型雜質擴散到型雜質擴散到N型硅單晶基底上，形成一層型硅單晶基底上，形成一層極薄的極薄的P型導電層，再通
47、過超聲波和熱壓焊法接上型導電層，再通過超聲波和熱壓焊法接上引出線就形成了擴散型半導體應變片。這是一種應引出線就形成了擴散型半導體應變片。這是一種應用很廣的半導體應變片。用很廣的半導體應變片。半導體應變片的類型半導體應變片的類型 4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制 將半導體電阻做成粘貼式應將半導體電阻做成粘貼式應變片在半導體基片上選擇一定的變片在半導體基片上選擇一定的晶向位置，利用集成電路工藝制成擴散電阻，作晶向位置，利用集成電路工藝制成擴散電阻，作為測量傳感元件，基片直接作為測量敏感元件為測量傳感元件，基片直接作為
48、測量敏感元件（擴散型壓阻傳感器或固態(tài)壓阻式傳感器）（擴散型壓阻傳感器或固態(tài)壓阻式傳感器）應用：主要用來測量和加速度。應用：主要用來測量和加速度。4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制核心部件：一圓形核心部件：一圓形N型硅膜片，在膜片上擴散四個阻值相型硅膜片，在膜片上擴散四個阻值相等的等的P型電阻，構成平衡電橋。型電阻，構成平衡電橋。四個電阻的配置位置按膜片上徑向應力和切向應力的分布四個電阻的配置位置按膜片上徑向應力和切向應力的分布情況來確定。情況來確定。在被測壓力在被測壓力P作用下，膜片產生應力和應變，擴散電阻由作用下
49、，膜片產生應力和應變，擴散電阻由于壓阻效應其電阻值發(fā)生相對變化。于壓阻效應其電阻值發(fā)生相對變化。壓阻式壓力傳感器結構簡圖1低壓腔 2高壓腔 3硅杯 4引線 5硅膜片 6擴散電阻6P4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制壓阻式加速度傳感器壓阻式加速度傳感器 懸臂梁直接用單晶硅制成，四個擴散電阻擴散在其根懸臂梁直接用單晶硅制成，四個擴散電阻擴散在其根部兩面。部兩面。當梁的自由端的質量塊受到加速度作用時，在梁上受當梁的自由端的質量塊受到加速度作用時，在梁上受到彎矩和應力，使電阻值發(fā)生變化。電阻相對變化與加速到彎矩和應力，使電
50、阻值發(fā)生變化。電阻相對變化與加速度成正比。由四個電阻組成的電橋將產生與加速度成正比度成正比。由四個電阻組成的電橋將產生與加速度成正比例電壓輸出。例電壓輸出。4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制壓阻式固態(tài)壓力傳感器隔離、承壓膜片可以將腐隔離、承壓膜片可以將腐蝕性的氣體、液體與硅膜蝕性的氣體、液體與硅膜片隔離開來。片隔離開來。4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制壓阻式固態(tài)壓阻式固態(tài) 壓力傳感器壓力傳感器 內部結構內部結構信號處理電路信號處理電路
51、4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制小型壓阻式固態(tài)壓力傳感器小型壓阻式固態(tài)壓力傳感器高壓進氣口高壓進氣口低壓進氣口低壓進氣口絕對壓力傳感器絕對壓力傳感器4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制小型壓阻式固態(tài)壓力傳感器（續(xù)）小型壓阻式固態(tài)壓力傳感器（續(xù)）呼吸、透析和注射泵設備中用的壓力傳感器呼吸、透析和注射泵設備中用的壓力傳感器p1進氣管進氣管p2進氣管進氣管固態(tài)壓力固態(tài)壓力傳感器傳感器4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工
52、業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制小型壓阻式固態(tài)壓力傳感器（續(xù)）小型壓阻式固態(tài)壓力傳感器（續(xù)）表壓壓力傳感器表壓壓力傳感器p1進氣管進氣管4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制投入式液位計投入式液位計 壓阻式固態(tài)壓力傳感器用于投入式液位計：壓阻式固態(tài)壓力傳感器用于投入式液位計：p1的的進氣孔用柔性不銹鋼隔離膜片隔離，并用硅油傳導壓進氣孔用柔性不銹鋼隔離膜片隔離，并用硅油傳導壓力而與液體相通。力而與液體相通。4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永
53、剛剛胥永剛制胥永剛制投入式液位計外形（投入式液位計外形（續(xù)續(xù)）壓阻式固態(tài)壓阻式固態(tài)壓力傳感器壓力傳感器光柱顯示器光柱顯示器 橡膠橡膠背壓管背壓管 4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制 投入式液位傳感器安投入式液位傳感器安裝方便，適應于深度為幾裝方便，適應于深度為幾米至幾十米，且混有大量米至幾十米，且混有大量污物、雜質的水或其他液污物、雜質的水或其他液體的液位測量。體的液位測量。投入式液位傳感器投入式液位傳感器4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 北京工業(yè)大學機電學院北京工業(yè)大學機電學院胥胥永永剛剛胥胥永永剛剛胥永剛制胥永剛制壓阻式加速度傳感器壓阻式加速度傳感器優(yōu)點：優(yōu)點：具有高靈敏度，卓越的低頻感應性能，使其加速度傳感具有高靈敏度，卓越的低頻感應性能，使其加速度傳感器適用于長期中低振動頻率的測試。器適用于長期中低振動頻率的測試。應用范圍：應用范圍：汽車、工民建、鐵路、橋梁等振動測試與檢測。汽車、工民建、鐵路、橋梁等振動測試與檢測。曾經被用于江陰大橋的健康檢測中。曾經被用于江陰大橋的健康檢測中。法國FGP公司產品4.4 壓阻式傳感器壓阻式傳感器
測試技術基礎課件北京工業(yè)大學機電學院第04章 應變式傳感器
