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1、第三章 應變式傳感器應變式傳感器概述屬于電參數(shù)型傳感器（電參數(shù)型傳感器將感受的輸入被測參量轉換為電參數(shù)R、L、C的變化。）電阻應變式傳感器（也稱應變片）是利用電阻應變片將應變轉換為電阻變化的傳感器。由電阻應變敏感元件粘貼在彈性元件上構成。廣泛應用于測量力、力矩、壓力、加速度、重量等參數(shù)。彈性元件彈性元件被測量被測量應變式變換器應變式變換器圖圖 1 電阻應變式傳感器組成框圖電阻應變式傳感器組成框圖3.1 工作原理一、應變效應的理論基礎一、應變效應的理論基礎 1 1金屬導體的金屬導體的 電阻定律電阻定律(線材線材)2 2r A A =r 2 2L L其全微分：其全微分：給出了總電阻的相對變化量與其
2、它三個量的相對變化的關系。在給出了總電阻的相對變化量與其它三個量的相對變化的關系。在力的作用下，力的作用下，L L、A A、均可發(fā)生變化，均可發(fā)生變化，R R 亦可發(fā)生變化。亦可發(fā)生變化。應變效應：導體或半導體材料在外界力作用下產(chǎn)生機械變形時，應變效應：導體或半導體材料在外界力作用下產(chǎn)生機械變形時，其電阻值相應發(fā)生變化的現(xiàn)象。其電阻值相應發(fā)生變化的現(xiàn)象。應變（軸向應變）(徑向應變):材料的泊松比材料的泊松比電阻絲的靈敏系數(shù)K0影響K的因素 (1)應變片受力后材料幾何尺寸的變化（1+2）；(2)材料電阻率發(fā)生的變化（）。金屬材料：1+2 ，在電阻絲拉伸極限內泊松比=0.5，故K0 2。半導體材料
3、：1+2 與半導體敏感元件在軸向所受的應變力有關：半導體應變片的K比金屬絲式高5080倍，但半導體材料溫度系數(shù)大，應變時非線性比較嚴重，使其應用范圍受到一定的限制。3.2 電阻應變片的特性應變片的種類1.應變片的基本結構2.金屬電阻應變片的種類 絲式、箔式電阻應變片 箔式電阻應變片金屬箔式應變片的敏感柵，則是用柵狀金屬箔片代替柵狀金屬絲。金屬箔柵采用光刻技術制造，是用于大批量生產(chǎn)。由于金屬箔式應變片具有線條均勻、尺寸準確、阻值一致性好、傳遞試件應變性能好等優(yōu)點，因此，目前使用的多為金屬箔式應變片，3.3 應變片的溫度誤差及補償1.應變片的溫度誤差1）電阻溫度系數(shù)的影響2）試件材料和電阻絲材料的
4、線膨脹系數(shù)的影響溫度變化引起的總附加應變量t2.電阻應變片的溫度補償方法1）線路補償法實現(xiàn)完全補償?shù)乃膫€條件：(1)(2)(3)補償塊材料和被測試件材料必須一樣，；(4)兩個應變片要處于同一溫度場。2）應變片的自補償法溫度自補償應變片當已知被測試件的線膨脹系數(shù)g，合理選擇敏感柵材料（0、K0、s滿足式（3-33），t0時Rt/R0=0。3.4 電阻應變片的測量電路3.4.1 直流電橋1.直流電橋平衡條件 電橋平衡條件：Uo=0，則有2.電壓靈敏度將一個應變片接入電橋中構成單臂電橋。橋臂比：利用平衡條件電橋電壓靈敏度影響因素：E(電橋供電電壓)、nn=1(R1=R2=R3=R4)，Kumax：n
5、：3.非線性誤差及其補償方法非線性誤差n=1時（四等臂電橋）3.非線性誤差及其補償方法補償方法差動電橋半橋差動電路：兩個應變片（1拉、1壓）消除溫度影響：結結論論：分分母母中中 Rr1可可忽忽略略，分分子子中中無無 Rr1項項，故故減減小小了了溫溫度度變變化化的的影影響響，具具有有溫溫度度補補償償作用作用。1-8全橋差動電路：四個應變片（2拉、2壓）3.3.2 交流電橋交流電壓源供電，引線分布電容，應變片呈現(xiàn)復阻抗特性Z1、Z2。平衡條件：電阻平衡條件、電容平衡條件輸出電壓：電壓靈敏度：1.1.柱式力傳感器（柱的截面積為柱式力傳感器（柱的截面積為A A）L LF FF F電阻應變片電阻應變片軸
6、向應變。軸向應變。楊氏模量楊氏模量面積面積3.5 應變式傳感器的應用稱重、測力。主要用途：作為各種電子稱與材料試驗機的測力元件、發(fā)動機的推力測試、水壩壩體承載狀況監(jiān)測等。要求較高的靈敏度和穩(wěn)定性：當傳感器受側向作用力、或力的作用點產(chǎn)生輕微變化時，不應對輸出有明顯的影響。軸向貼片測力（軸向力），橫向貼片進行溫度補償。2 2 .梁式荷重傳感器梁式荷重傳感器等截面梁式荷重傳感器等截面梁式荷重傳感器L LL L0 0F Fb bh hR1R2R3R4一端固定，一端自由，厚度為一端固定，一端自由，厚度為h h,長度長度L L0 0，自由端力自由端力F F 的作用點到應的作用點到應變片的距離為變片的距離為
7、L L ，該點的協(xié)強：該點的協(xié)強：4 4只應變片只應變片 此位置上下兩側分別粘有此位置上下兩側分別粘有4 4只應變片，只應變片，R R1 1、R R4 4同側；同側；R R3 3、R R2 2同側，同側，這兩側的應變方向剛好相反，且大小相等，可構成全差動電橋。這兩側的應變方向剛好相反，且大小相等，可構成全差動電橋。由于全差動電橋由于全差動電橋，所以，所以供橋電壓供橋電壓輸出電壓輸出電壓三、應變式壓力（壓強）傳感器三、應變式壓力（壓強）傳感器 薄板式薄板式(膜片式膜片式)壓力傳感器壓力傳感器 當流體的壓強作用在薄板上，薄當流體的壓強作用在薄板上，薄板就會產(chǎn)生形變板就會產(chǎn)生形變(應變應變)，貼在另
8、一側，貼在另一側的應變片隨之形變的應變片隨之形變(應變應變)，通過橋式，通過橋式等測量電路，可以測出與應變相對應等測量電路，可以測出與應變相對應的輸出電壓，從而得到壓力的大小。的輸出電壓，從而得到壓力的大小。薄圓板受均勻壓力后的應變分布薄圓板受均勻壓力后的應變分布薄圓板受均勻壓力后的應變方向薄圓板受均勻壓力后的應變方向 應變分析應變分析 對于半徑為對于半徑為r0沿圓周固定的模片，片內任意半沿圓周固定的模片，片內任意半徑徑 r 處在壓強處在壓強 P 的作用下的應變的作用下的應變(膜厚為膜厚為h)為為:切向應變切向應變(與半徑垂直與半徑垂直)只有拉伸只有拉伸徑向應變徑向應變(指向圓心指向圓心)可拉
9、可壓可拉可壓(可正可負可正可負)薄圓板受均勻壓力后的應變分布薄圓板受均勻壓力后的應變分布 特點特點正應變最大正應變最大徑向負應變最大徑向負應變最大徑向應變片貼片必須避開徑向應變片貼片必須避開 貼片位置貼片位置 在在t=r的的兩個半徑處分別粘兩個半徑處分別粘貼個于檢測徑向貼個于檢測徑向應變和切向應變的應變和切向應變的應變片，構成全差應變片，構成全差動電橋。動電橋。R1R2R3R4等半徑貼片等半徑貼片R1R2R3R4不等半不等半徑貼片徑貼片同等條同等條件應變件應變較大。較大。亦可選擇亦可選擇r 1=r 2四、固態(tài)壓力傳感器四、固態(tài)壓力傳感器 結構結構 利用半導體擴散技術，在利用半導體擴散技術，在n
10、型硅基底型硅基底(硅杯的圓形膜片硅杯的圓形膜片)上上擴散出擴散出4 4個個p型電阻，利用其型電阻，利用其壓壓阻效應阻效應，構成敏感電橋，當壓，構成敏感電橋，當壓力作用在薄片上，通過橋式等力作用在薄片上，通過橋式等測量電路，可以測出與應變相測量電路，可以測出與應變相對應的輸出電壓，從而得到壓對應的輸出電壓，從而得到壓力的大小。力的大小。擴散電阻硅杯式固體壓力傳感器結構示意圖擴散電阻Si_n擴散電阻Si_n薄圓板受均勻壓力后的應力分布薄圓板受均勻壓力后的應力分布 受壓圓膜的應力分布受壓圓膜的應力分布徑向徑向 切向切向根據(jù)根據(jù)可知可知（較大半徑處為負應變）（較大半徑處為負應變）擴散電阻位置擴散電阻位置薄圓板受均勻壓力后的應力分布薄圓板受均勻壓力后的應力分布R1R2R3R4在滿足：在滿足：rt rr r1 r2的兩個半徑處（應力大小的兩個半徑處（應力大小相等方向相反）擴散相等方向相反）擴散 4 4 個個電阻構成全橋差動電路。電阻構成全橋差動電路。習題習題3-5 E=4V,Ri=120 i=1,2,3,4（1）R1=1.2（2）（3）習題習題3-6 K=2.05R1=120F=800m/m(1)(2)單臂測量電橋，E=3Vn=1時（四等臂電橋）
第三章應變式傳感器
