硅片生產(chǎn)工藝.doc

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. 硅片生產(chǎn)制造工藝流程 1.切方磨圓 　　將矽單晶圓棒按尺寸要求，切割成矽單晶準(zhǔn)方棒，并將切割 　　后的準(zhǔn)方棒四角，用滾磨機(jī)磨圓。 2.酸洗 　　將檢測(cè)合格的矽單晶準(zhǔn)方棒放入配好的酸液中，除去表面雜 　　質(zhì)，使其清潔便于下道工序。 3.粘膠 　　將清潔干凈的矽單晶準(zhǔn)方棒與工件板進(jìn)行粘接。 4.切片 　　將粘好的矽單晶準(zhǔn)方棒安裝在切片機(jī)的切割工位上，通過(guò)設(shè) 定好的工藝參數(shù)，將其切割成片。 5.清洗脫膠 　　將切割后的矽片進(jìn)行預(yù)清洗，除去表面附著的切削液等雜質(zhì) 　　，并將預(yù)清洗后的矽片進(jìn)行脫膠。 6.超聲波清洗 　　將脫過(guò)膠的矽片插在矽片盒里并放入超聲波清洗機(jī)中進(jìn)行清 　　洗。 7.甩干 　　將超聲波清洗后的矽片連盒插在甩干機(jī)的甩干工位上，通過(guò) 　　離心和加熱將其表面甩干。 8.檢片包裝 　　對(duì)矽片進(jìn)行檢測(cè)，主要包括外觀、厚度、電阻率、TTV與翹 　　曲度等，并將檢測(cè)后的矽片按等級(jí)和發(fā)貨類(lèi)型進(jìn)行分類(lèi)并包 　　裝。 精選word范本！