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I 平行光管測(cè)量平臺(tái)總體方案及擺動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì) 摘要 平行光管主要是用來產(chǎn)生平行光束的光學(xué)儀器 平行光管測(cè)量?jī)x是一種光 學(xué)精密測(cè)量?jī)x器 本設(shè)計(jì)要為給定的平行光管測(cè)量?jī)x設(shè)計(jì)建造一個(gè)測(cè)量平臺(tái) 手動(dòng)實(shí) 現(xiàn)要求的測(cè)量動(dòng)作 本設(shè)計(jì)首先將運(yùn)用所學(xué)理論基礎(chǔ)知識(shí)對(duì)平行光管測(cè)量平臺(tái)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)分析 包括測(cè) 量平臺(tái)的前后平動(dòng)上下平動(dòng) 水平擺動(dòng)和俯仰擺動(dòng)四個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng) 確定測(cè)量平臺(tái) 的總體的設(shè)計(jì)方案及其主要結(jié)構(gòu) 然后運(yùn)用 UG 三維 CAD 軟件對(duì)測(cè)量平臺(tái)進(jìn)行三維建 模 得到平行光管測(cè)量平臺(tái)的三維模型 最后通過給定的原始數(shù)據(jù)和要求對(duì)該平臺(tái)的 擺動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的設(shè)計(jì)計(jì)算 關(guān)鍵字 平行光管 測(cè)量平臺(tái) UG 軟件 擺動(dòng)機(jī)構(gòu) II The Design of collimator Measuring platform Overall Plan and Design of Tilting Mechanism Abstract Collimator is mainly used to produce a parallel beam optical instrument Collimator is a kind of optical precision measuring instrument The design will built a measuring platform for a given collimator which will measure implementation requirements manually First this design will use the basic knowledge of theory which we have learned design collimator measurement platform and make motion analysis including before and after from top to bottom horizontal swing and pitch oscillation four degrees of freedom of movement of the measurement platform And make sure the overall design scheme of measuring platform and its main structure And then using UG three dimensional CAD software make 3D modeling for measuring platform and get 3D model of the collimator measuring platform Finally by using the original data and the demand make a a detailed design and calculation for tilting mechanism of the platform Keywords collimator measuring instrument UG software tilting mechanism III 目 錄 摘要 I Abstract II 目錄 III 1 緒論 1 1 1 選題背景與研究意義 1 1 1 1 選題背景 1 1 1 2 研究意義 1 1 2 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀 1 1 2 1 國(guó)外研究現(xiàn)狀 1 1 2 2 國(guó)內(nèi)研究現(xiàn)狀 1 1 3 本課題研究的內(nèi)容 1 2 平行光管及其測(cè)量平臺(tái)的介紹 3 2 1 平行光管的結(jié)構(gòu) 3 2 2 平行光管測(cè)量平臺(tái)的介紹 4 3 UG 軟件功能簡(jiǎn)介及測(cè)量平臺(tái)結(jié)構(gòu)建模 9 3 1 測(cè)量平臺(tái)總體運(yùn)動(dòng)分析與結(jié)構(gòu)建模 9 4 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的介紹和運(yùn)動(dòng)分析 14 4 1 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 14 4 2 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)特點(diǎn) 14 4 3 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)類型 14 4 4 蝸輪蝸桿轉(zhuǎn)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)分析 15 5 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的參數(shù)和尺寸計(jì)算 15 5 1 蝸輪蝸桿傳動(dòng)的主要參數(shù)及選擇 15 5 2 蝸輪蝸桿傳動(dòng)中失效形式和設(shè)計(jì)準(zhǔn)則 20 5 3 蝸輪蝸桿傳動(dòng)的材料和結(jié)構(gòu) 21 IV 5 4 蝸輪蝸桿傳動(dòng)的強(qiáng)度計(jì)算 24 5 5 蝸桿傳動(dòng)的效率 潤(rùn)滑和熱平衡計(jì)算 28 總結(jié)與展望 30 參考文獻(xiàn) 32 致謝 34 V 1 緒論 1 1 選題背景與研究意義 1 1 1 選題背景 某研究所需要為其購買的平行光管測(cè)量?jī)x設(shè)計(jì)建造一個(gè)平臺(tái) 手動(dòng)實(shí)現(xiàn)要求的測(cè) 量動(dòng)作 平行光管測(cè)量平臺(tái)主要用于平行光管的上下平動(dòng)前后平動(dòng) 俯仰擺動(dòng)和水平擺動(dòng) 四個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng) 1 1 2 研究意義 平行光管測(cè)量平臺(tái)作為平行光管測(cè)量?jī)x器的一個(gè)載體 它的結(jié)構(gòu)特性和運(yùn)動(dòng)功能 將很大程度上影響平行光管測(cè)量的結(jié)果和效率 所以對(duì)平行光管測(cè)量平臺(tái)進(jìn)行結(jié)構(gòu)分 析和設(shè)計(jì)有很大的現(xiàn)實(shí)意義 傳統(tǒng)的定位平臺(tái)在性能方面滿足不了平行光管的測(cè)量要求 特別是該平臺(tái)必須能 夠?qū)崿F(xiàn)四個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng) 這對(duì)定位平臺(tái)的開發(fā)提出了挑戰(zhàn) 1 2 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀 1 2 1 國(guó)外研究現(xiàn)狀 日本日立 Hitachi 公司研制的 XY 定位平臺(tái) 此平臺(tái)具有微動(dòng)臺(tái)和粗動(dòng)臺(tái)雙層結(jié)構(gòu) 粗動(dòng)臺(tái)可作 160 rad 的旋轉(zhuǎn) Heui Jae Pahk 等設(shè)計(jì)的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用雙層驅(qū)動(dòng)技術(shù) 粗動(dòng)臺(tái)采用滾珠絲杠驅(qū)動(dòng) 微動(dòng)臺(tái)采用壓電元件驅(qū)動(dòng) 在 200mm 的運(yùn)動(dòng)行程內(nèi) 實(shí)現(xiàn) 10nm 的定位精度 3 x 方向的定位精度為 20nm Y 方向的定位精度為 15 6nm 6 8 1 2 2 國(guó)內(nèi)研究現(xiàn)狀 我國(guó)對(duì)精密定位平臺(tái)的研究與發(fā)達(dá)國(guó)家相比還有很大差距 比如清華大學(xué)在步進(jìn) 掃描光刻機(jī)硅片臺(tái)掩膜臺(tái)系統(tǒng)上取得了重要的研究成果 使其運(yùn)動(dòng)定位精度可達(dá) 12nm 9 比如哈爾濱工大節(jié)德剛設(shè)計(jì)的高速高精度 XY 定位平臺(tái) 最大運(yùn)動(dòng)加速度可 達(dá) 50 100m s 2 10 比如天津大學(xué)設(shè)計(jì)的兩自由度高速高加速定位平臺(tái) 該平臺(tái)運(yùn)動(dòng) 最大加速度 50m s 2 11 以設(shè)計(jì)宏微兩級(jí)驅(qū)動(dòng)和直線旋轉(zhuǎn)混合驅(qū)動(dòng) 并以氣浮 磁浮 技術(shù)試驗(yàn)運(yùn)動(dòng)性能極限 已經(jīng)成為業(yè)界研究的新熱點(diǎn) 14 15 1 3 本課題研究的內(nèi)容 本設(shè)計(jì)首先對(duì)平行光管實(shí)驗(yàn)平臺(tái)作簡(jiǎn)單介紹 并對(duì)其進(jìn)行詳細(xì)地運(yùn)動(dòng)分析 并用 VI UG 對(duì)測(cè)量平臺(tái)進(jìn)行總體結(jié)構(gòu)建模 同時(shí)本設(shè)計(jì)將利用所學(xué)理論基礎(chǔ)知識(shí)對(duì)平行光管測(cè) 量平臺(tái)的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)地運(yùn)動(dòng)分析 并對(duì)關(guān)鍵零部件進(jìn)行設(shè)計(jì)計(jì)算 畫出零部 件的 CAD 工程圖紙 掌握機(jī)械設(shè)計(jì)的一般步驟 將所學(xué)知識(shí)運(yùn)用到生產(chǎn)實(shí)際中 具體 研究過程如下 1 平行光管實(shí)驗(yàn)平臺(tái)功能與結(jié)構(gòu)分析 通過對(duì)平行光管實(shí)驗(yàn)平臺(tái)進(jìn)行功能與結(jié)構(gòu)分析 根據(jù)平臺(tái)設(shè)計(jì)具體的技術(shù)要求來 確定本設(shè)計(jì)研究的具體內(nèi)容 2 UG 三維 CAD 軟件的學(xué)習(xí)和應(yīng)用 UG 是美國(guó) UGS Unigraphics Solutions 公司的主導(dǎo)產(chǎn)品 是集 CAD CAE CAM 于 一體的三維參數(shù)化軟件 本文將利用 UG 軟件對(duì)平行光管測(cè)量平臺(tái)進(jìn)行總體結(jié)構(gòu)參數(shù) 化建模 形象直觀地表達(dá)自己的設(shè)計(jì)思想和設(shè)計(jì)內(nèi)容 3 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的介紹和運(yùn)動(dòng)分析 蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)一般用來傳遞兩交錯(cuò)軸之間的運(yùn)動(dòng)和動(dòng)力 此次設(shè)計(jì)采用蝸輪蝸桿 機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)平行光管測(cè)量平臺(tái)的水平擺動(dòng)和俯仰擺動(dòng) 對(duì)其運(yùn)動(dòng)過程進(jìn)行詳細(xì)地分析 與計(jì)算 4 蝸輪蝸桿擺動(dòng)機(jī)構(gòu)的零件參數(shù)選擇和關(guān)鍵件的強(qiáng)度校核 本文通過查閱 機(jī)械設(shè)計(jì)手冊(cè) 等參考資料對(duì)蝸輪蝸桿擺動(dòng)機(jī)構(gòu)的零部件進(jìn)行選 型和設(shè)計(jì) 并對(duì)關(guān)鍵零部件進(jìn)行強(qiáng)度校核 VII 2 平行光管及其測(cè)量平臺(tái)的介紹 本章主要介紹平行光管的結(jié)構(gòu)與功能 并對(duì)本設(shè)計(jì)中平行光管測(cè)量平臺(tái)的結(jié)構(gòu)特 點(diǎn)和工作條件作簡(jiǎn)單介紹 2 1 平行光管的結(jié)構(gòu) 平行光管是用來產(chǎn)生平行光束的一種光學(xué)儀器 1 平行光管主要規(guī)格 物鏡焦距 550 毫米 f 2 物鏡口徑 55 毫米 D 3 高斯目鏡 焦距 為 44 毫米 放大倍數(shù)為 5 7 f 2 分劃板 型平行光管有 種分劃板 如圖 1 3 所示 505 十字分劃板 鑒別率板 星點(diǎn)板 玻羅板 3 用平行光管測(cè)量焦距 因?yàn)?2 FXCMK j 所以 1 1 yf 1432物 鏡 分 化 板 2毛 玻 璃 光 源 十 字 分 劃 板 a號(hào) 鑒 別 率 板2 b 玻 羅 板 e 號(hào) 鑒 別 率 板 c星 點(diǎn) 板 d圖 2 1 直筒式光源示意圖 圖 2 2 平行光管 5 種分劃板 VIII 式中 為被測(cè)透鏡焦距 為平行光管焦距實(shí)測(cè)值 為玻羅板上所選用線距實(shí)f f y 測(cè)值 為測(cè)微目鏡上玻羅板低頻線的距離 即測(cè)量值 YBA y YAB 本設(shè)計(jì)給定平行光管長(zhǎng) 1500mm 最大口徑 150mm 重量 10 5KG 其三維模型如 下圖 2 5 所示 圖 2 3 平行光管三維模型 2 2 平行光管測(cè)量平臺(tái)的介紹 平行光管測(cè)量平臺(tái)有四個(gè)自由度 分別為前后平動(dòng) 上下平動(dòng) 水平擺動(dòng) 俯仰 擺動(dòng) 其中上下平動(dòng)可實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)和微調(diào) 運(yùn)動(dòng)臺(tái)的結(jié)構(gòu)主要有底座 四塊運(yùn)動(dòng)板 四個(gè)手輪 兩個(gè)導(dǎo)柱 兩個(gè)導(dǎo)套 轉(zhuǎn)軸 轉(zhuǎn)臺(tái) 燕尾導(dǎo)軌以及配重平衡塊組成 技術(shù)參數(shù)如下 平行光管長(zhǎng) 1500mm 最大口徑 150mm 重量 10 5KG IX 圖 2 4 平行光管示意圖 運(yùn)動(dòng)范圍 平行光管上下平動(dòng)行程為 1500mm 2500mm 其中微調(diào)范圍為 50mm 偏差 10 m 圖 2 5 平行光管上下平動(dòng)行程示意圖 平行光管前后平動(dòng)行程為 100mm 偏差 10 m X 圖 2 6 平行光管前后平動(dòng)行程示意圖 平行光管水平擺動(dòng)角度為 3 到 5 圖 2 7 平行光管水平擺動(dòng)角度示意圖 平行光管俯仰擺動(dòng) 3 到 5 XI 圖 2 8 平行光管俯仰擺動(dòng)角度示意圖 平行光管要實(shí)現(xiàn)的運(yùn)動(dòng)過程 1 上下平動(dòng) 上下平動(dòng)分為快速和微調(diào)運(yùn)動(dòng) 快速運(yùn)動(dòng)的實(shí)現(xiàn)是通過推或拉手柄 借助配重平 衡塊施加一定的力 使平行光管支撐平臺(tái)沿支架導(dǎo)軌快速上下移動(dòng) 到達(dá)預(yù)定位置后 通過旋緊螺栓使其固定不動(dòng) 若再次移動(dòng)需重新松開旋緊螺栓方可移動(dòng) 微調(diào)運(yùn)動(dòng)通 過轉(zhuǎn)動(dòng)手柄 手柄通過絲杠螺母副帶動(dòng)平行光板托板上固定的導(dǎo)柱沿著導(dǎo)套做上下微 調(diào)運(yùn)動(dòng) 2 前后平動(dòng) 轉(zhuǎn)動(dòng)手輪通過絲杠螺母副使測(cè)量平臺(tái)沿底座 V 型和矩形導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)橫向移動(dòng) 螺母 固定在移動(dòng)平臺(tái)上 一端采用 V 型槽導(dǎo)軌 防止平臺(tái)起伏 3 水平擺動(dòng) 轉(zhuǎn)動(dòng)手柄 通過蝸輪蝸桿轉(zhuǎn)臺(tái)帶動(dòng)測(cè)量平臺(tái)水平轉(zhuǎn)動(dòng) 在轉(zhuǎn)動(dòng)的另一端通過矩形 槽和固定軸來實(shí)現(xiàn)擺動(dòng)角度的控制 4 俯仰擺動(dòng) 轉(zhuǎn)動(dòng)手柄 通過蝸輪蝸桿轉(zhuǎn)臺(tái)帶動(dòng)測(cè)量平臺(tái)俯仰擺動(dòng) 俯仰擺動(dòng)的角度控制是通 XII 過兩條固定在平臺(tái)上的鐵片和固定轉(zhuǎn)臺(tái)之間距離來控制的 XIII 3 UG軟件功能簡(jiǎn)介及測(cè)量平臺(tái)結(jié)構(gòu)建模 UG 是美國(guó) UGS Unigraphics Solutions 公司的主導(dǎo)產(chǎn)品 是集 CAD CAE CAM 于 一體的三維參數(shù)化軟件 3 1 測(cè)量平臺(tái)總體運(yùn)動(dòng)分析與結(jié)構(gòu)建模 平行光管測(cè)量平臺(tái)總體結(jié)構(gòu)三維建模最終結(jié)果如下圖 3 1 所示 配重平衡塊 4 配重塊導(dǎo)桿 3 配重塊支撐臺(tái) 1 擰緊螺母 2 配重側(cè)板 5 配重上板 4 滾輪支撐架 6 滾輪 7 平行光管支 撐臺(tái) 9 微調(diào)導(dǎo)柱 8 微調(diào)導(dǎo)套 10導(dǎo)套支撐臺(tái) 11 螺母固定板 13 微調(diào)螺母 12 微調(diào)絲杠 14 推拉手柄 15 立柱支架 17 緊固槽鋼 18 旋緊螺栓 16 XIV 圖 3 1 平行光管測(cè)量平臺(tái)總體結(jié)構(gòu)三維模型 1 上下平動(dòng) 上下平動(dòng)分為快速運(yùn)動(dòng)和微調(diào)運(yùn)動(dòng) 快速運(yùn)動(dòng)的實(shí)現(xiàn)是通過推或拉推拉手柄 15 在左邊配重平衡塊 4 的配合下 帶動(dòng) 整個(gè)微調(diào)裝置沿著立柱支架 17 的導(dǎo)軌上下快速平動(dòng) 到達(dá)預(yù)定位置后 通過旋緊旋緊 螺栓 16 使其固定不動(dòng) 保持現(xiàn)有的位置狀態(tài) 若再次移動(dòng)需重新松開旋緊螺栓 16 方 可移動(dòng) 2 前后平動(dòng) 夾緊塊 分度連接盤 俯仰擺動(dòng)角度控 制鐵片 俯仰擺動(dòng)機(jī)構(gòu)箱體 固定架 水平擺動(dòng)角度控制鐵 片 止動(dòng)銷 水平轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)箱體 支撐固定臺(tái) 底座箱體 XV 圖 3 2 前后平動(dòng)示意圖 測(cè)量平臺(tái)的前后平動(dòng)也是通過絲杠螺母副來實(shí)現(xiàn)的 通過手柄帶動(dòng)絲杠 1 轉(zhuǎn)動(dòng) 絲杠 1 通過固定在平臺(tái)上的螺母 6 從而帶動(dòng)平臺(tái)沿著矩型導(dǎo)軌 5 和 V 型導(dǎo)軌 2 實(shí)現(xiàn)前 后平動(dòng) 3 水平擺動(dòng) 轉(zhuǎn)動(dòng)手柄 手柄固定在蝸桿上 通過轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)測(cè)量平臺(tái)水平轉(zhuǎn)動(dòng) 在另一端 通過矩形塊和固定軸實(shí)現(xiàn)擺動(dòng)角度的控制 如圖 3 3 所示 支撐移動(dòng)平臺(tái) 3 V 型導(dǎo)軌 2 矩型導(dǎo)軌 5 絲杠 1 絲杠支撐塊 4 螺母 6 XVI 圖 3 3 水平擺動(dòng)角度的控制裝置圖 4 俯仰擺動(dòng) 轉(zhuǎn)動(dòng)手柄 手柄固定在蝸桿上 通過蝸輪蝸桿轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)測(cè)量平臺(tái)俯仰擺動(dòng) 俯仰擺動(dòng)的角度控制是通過兩條固定在轉(zhuǎn)臺(tái)上的鐵片和固定轉(zhuǎn)臺(tái)之間距離來控制的具 體結(jié)構(gòu)如圖 4 4 所示 XVII 圖 3 4 俯仰擺動(dòng)角度的控制裝置圖 XVIII 4 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的介紹和運(yùn)動(dòng)分析 4 1 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 圖 4 1 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)示意圖 蝸桿傳動(dòng)是在空間交錯(cuò)的兩軸間傳遞運(yùn)動(dòng)和動(dòng)力的一種傳動(dòng) 兩軸線間的夾角可 為任意值 常用的為 90 蝸桿傳動(dòng)具有傳動(dòng)比大 結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn) 所以它廣泛應(yīng)用 在機(jī)床 汽車 儀器 起重運(yùn)輸機(jī)械 冶金機(jī)械以及其它機(jī)械制造部門中 蝸桿傳動(dòng)中蝸桿為主動(dòng)件 其由蝸輪和蝸桿組成 其中常用的有阿基米德圓柱蝸 桿傳動(dòng)和圓弧齒圓柱蝸桿傳動(dòng) 4 2 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)特點(diǎn) 蝸輪蝸桿傳動(dòng)有以下特點(diǎn) 1 可以得到很大的傳動(dòng)比 2 承載能力高于交錯(cuò)軸斜齒輪機(jī)構(gòu) 3 傳動(dòng)比較平穩(wěn) 噪音比較小 4 具有很好的自鎖性能 5 效率比較低 磨損比較嚴(yán)重 6 蝸桿的軸向力較大 7 一般用于間歇工作場(chǎng)合 4 3 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)類型 根據(jù)螺桿形狀的不同 可以分為圓柱面蝸桿傳動(dòng)環(huán)面蝸桿傳動(dòng) 和錐面蝸桿傳動(dòng) XIX 4 4 蝸輪蝸桿轉(zhuǎn)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)分析 由于蝸桿傳動(dòng)比較平穩(wěn) 振動(dòng)較小 沖擊和噪聲也較小 可以單級(jí)傳動(dòng)并獲得教大的 傳動(dòng)比 有利于平臺(tái)分度的實(shí)現(xiàn) 所以選用蝸輪蝸桿傳動(dòng) a b c 圖 4 2 蝸桿的傳動(dòng)類型 XX 5 蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的參數(shù)和尺寸計(jì)算 5 1 蝸輪蝸桿傳動(dòng)的主要參數(shù)及選擇 1 模數(shù) m 和壓力角 因?yàn)槲仐U傳動(dòng)在主平面內(nèi)相當(dāng)于漸開線齒輪與齒條的嚙合 故蝸桿的軸向齒距 應(yīng)等于蝸輪的端面齒距 蝸桿 蝸輪以主平面內(nèi)的參數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)值 蝸桿的軸向1xp2tp 壓力角 ax1 應(yīng)等于蝸輪的端面壓力角 且均為標(biāo)準(zhǔn)值 2ta 蝸桿傳動(dòng)正確嚙合的條件為 mtx 21 5 1 0ta 根據(jù)測(cè)量平臺(tái)的實(shí)際尺寸大小要求 本設(shè)計(jì)中選取蝸桿的模數(shù) m 8 2 蝸桿頭數(shù) 和蝸輪齒數(shù) 1z2z 蝸桿的頭數(shù)一般取 1 2 4 6 傳動(dòng)比大或傳遞轉(zhuǎn)矩大 取小值 要求自鎖1z 時(shí)取 1 傳動(dòng)功率較大 傳動(dòng)效率較高 傳動(dòng)速度大 取大值 但蝸桿頭數(shù)過多 1z 1 加工精度難于保證 綜上所述 本設(shè)計(jì)中取 1 1z 在動(dòng)力傳動(dòng)中 為了增加同時(shí)嚙合齒的對(duì)數(shù) 一般取 29 83 過少將產(chǎn)生2z2z 根切 過大 將導(dǎo)致模數(shù) 過小以使齒根彎曲疲勞強(qiáng)度不足 當(dāng)模數(shù)一定時(shí) 蝸輪2zm 直徑 過大 蝸桿長(zhǎng)度增加 剛度減小 d 可根據(jù)傳動(dòng)比 按表 5 1 選取 1z2i 表 5 1 和 的推薦值1z2 傳動(dòng) 比 i 5 8 7 16 15 32 30 83 蝸桿 6 4 2 1 XXI 頭數(shù) 1z 蝸輪 齒數(shù) 2z 29 48 29 64 30 64 30 83 蝸桿傳動(dòng)設(shè)計(jì)中 傳動(dòng)比公稱值按以下數(shù)值來選取 5 7 5 10 12 5 15 20 25 30 40 50 60 70 80 其中 10 20 40 80 為 基本傳動(dòng)比 應(yīng)優(yōu)先選用 本設(shè)計(jì)中取蝸輪的齒數(shù) z2 30 3 蝸桿的分度圓直徑 d1 和導(dǎo)程角 如圖 5 2 所示 可得 5 2 11tan dmzpdxz 式中 p x1 為蝸桿軸向齒距 mm d 1 為蝸桿分度圓直徑 mm 當(dāng)蝸桿導(dǎo)程角選擇大時(shí) 傳動(dòng)效率比較高 效率高的傳動(dòng)通常取 150 300 所以 我們采用多頭蝸桿 當(dāng)要求具有自鎖性能的傳動(dòng) 通常采用 的蝸桿傳動(dòng) 此3 時(shí)蝸桿的頭數(shù)為 1 由式 5 2 得 5 3 mqzd tan11 式中 若 m 值一定 q 值增大 則蝸桿直徑 d1 增大 蝸桿的剛度提高 ta1zq 圖 5 2 分度圓柱展開圖 XXII 小模數(shù)蝸桿通常具有較大的 q 值 才能使蝸桿有足夠的剛度 表 5 2 蝸桿基本參數(shù) 90 摘自 GB10085 1988 模 數(shù) m m m 分度 圓直徑 d1 mm 蝸桿頭數(shù) 1z直徑系數(shù) q m2d1 mm 3 模 數(shù) m m m 分度圓 直徑 d1 mm 蝸桿頭數(shù) 1z直徑系 數(shù) q m2d1 mm 3 1 18 1 自鎖 18 000 18 80 1 2 4 12 698 3175 20 1 16 000 31 25 6 3 112 1 自鎖 17 778 44451 25 22 4 1 自鎖 17 920 35 63 1 2 4 7 875 403 2 20 1 2 4 12 500 51 2 80 1 2 4 6 10 000 53761 6 28 1 17 500 71 68 100 1 2 4 12 500 640 0 18 1 2 4 9 000 72 8 140 1 自鎖 17 500 8960 22 4 1 2 4 11 200 89 6 71 1 2 4 7 100 7100 28 1 2 4 14 000 112 90 1 2 4 6 9 000 9000 2 35 5 1 自鎖 17 750 142 112 1 2 4 11 200 11200 22 4 1 2 4 8 9 60 140 10 160 1 自鎖 16 000 16000 28 1 2 4 6 11 200 175 90 1 2 4 7 200 14062 35 5 1 2 4 14 200 221 9 112 1 2 4 8 960 175 00 2 5 45 1 自鎖 18 000 281 140 1 2 4 11 200 21875 28 1 2 4 8 889 278 12 5 200 1 自鎖 16 000 31250 35 5 1 2 4 6 11 27 352 112 1 2 4 7 000 28672 45 1 2 4 14 286 447 5 140 1 2 4 8 750 35840 3 15 56 1 自鎖 17 778 556 180 1 2 4 11 250 46080 31 5 1 2 4 7 8 75 504 16 250 1 自鎖 15 625 64000 40 1 2 4 6 10 000 640 140 1 2 4 7 000 56000 50 1 2 4 12 500 800 160 1 2 4 8 000 64000 4 71 1 自鎖 17 750 1136 224 1 2 4 11 200 89600 40 1 2 4 8 000 1000 20 315 1 自鎖 15 750 126000 50 1 2 4 6 10 000 1250 180 1 2 4 7 200 1125005 63 1 2 4 12 600 1575 25 200 1 2 4 8 000 125000 XXIII 90 1 自鎖 18 000 2250 280 1 2 4 11 200 175000 50 1 2 4 7 936 19856 3 63 1 2 4 6 10 000 250 0 400 1 自鎖 16 000 250000 注 表中模數(shù)和分度圓直徑僅列出了第一系列的較常用數(shù)據(jù) 括號(hào)內(nèi)的數(shù)字盡可能不用 由以上所述可得 本設(shè)計(jì)中選取蝸桿頭數(shù) z1 1 分度圓直徑 d1 80mm 直徑系數(shù) q 12 6 4 傳動(dòng)比 和中心距ia 蝸桿傳動(dòng)中的傳動(dòng)比 等于蝸桿與蝸輪轉(zhuǎn)速的比值 當(dāng)蝸桿回轉(zhuǎn)一周時(shí) 蝸輪轉(zhuǎn)過i 個(gè)齒 或 周 因此傳動(dòng)比為 1z21z 5 4 3012 ni 式中 n 1 n 2 分別為蝸桿和蝸輪的轉(zhuǎn)速 r min 在蝸桿傳動(dòng)中 當(dāng)蝸桿節(jié)圓和蝸輪分度圓重合 蝸桿軸線與蝸輪軸線之間的距離 為中心距 計(jì)算公式為 5 5 164280 212 da 5 蝸桿傳動(dòng)的幾何尺寸 表 5 3 阿基米德蝸桿傳動(dòng)的尺寸計(jì)算 計(jì) 算 公 式名 稱 蝸 桿 蝸 輪 齒頂高和齒根高 mha 21 mhff2 11 分度圓直徑 qdzd 齒頂圓直徑 1 a 2 a 齒根圓直徑 4 f 4 2 f 頂隙 C 0 蝸桿軸向齒距 蝸輪 端面齒距 mptx 21 蝸桿分度圓導(dǎo)程角 蝸輪分度圓螺旋角 arctn qz 中心距 2z 蝸桿寬度 蝸桿螺紋部分 長(zhǎng)度 b1 蝸輪咽喉母圓半徑 2gr 1 2 時(shí) 1z b a1g22dr XXIV 11 0 06 m2z 3 4 時(shí) 1 12 5 0 09 b2z m 蝸輪外圓直徑 1 1mdac22 2 3 zc5 4 6 1dac 2 蝸輪寬度 1 2 0 751z2b a 4 6 0 67 1d 蝸桿軸面壓力角 a 蝸輪齒寬角 2001x a 900 1000 蝸輪齒頂圓弧半徑 2ar 蝸輪齒根圓弧半徑 f mdra 21 f 0 蝸輪輪緣寬度 2b 1 2 1z 2b 0 75 ad 4 12 0 67 a 蝸輪輪齒包角 12rcsinb 一般動(dòng)力傳動(dòng) 700 900 高速動(dòng)力傳動(dòng) 900 1300 分度傳動(dòng) 450 600 5 2 蝸輪蝸桿傳動(dòng)中失效形式和設(shè)計(jì)準(zhǔn)則 蝸桿傳動(dòng)中蝸桿的螺旋面和齒面之間有比較大的相對(duì)滑動(dòng) 滑動(dòng)速度 vs 沿蝸桿螺 旋線的切線方向 如圖 5 3 所示 v 1 為蝸桿的圓周速度 v 2 為蝸輪的圓周速度 作速 度三角形得 XXV 5 6 cos106cos121 ndvvs 式中 蝸桿直徑 蝸桿轉(zhuǎn)速 1dm1nmir 滑動(dòng)速度 vs 對(duì)蝸桿傳動(dòng)有很大的影響 當(dāng)潤(rùn)滑條件比較差時(shí) 滑動(dòng)速度大 會(huì)加 快磨損 使摩擦發(fā)熱嚴(yán)重而發(fā)生膠合 潤(rùn)滑條件好時(shí) 增大 vs 有利于油膜形成 摩擦 系數(shù) fv反而下降 磨損情況得以改善 從而提高嚙合效率和抗膠合能力 其概略值如 圖 5 4 所示 蝸桿 傳動(dòng) 的失 效形 式和 齒輪 傳動(dòng) 類似 但其有相對(duì)滑動(dòng)速度較大 發(fā)熱量較大從而使效率低 傳動(dòng)更容易發(fā)生磨損和膠 合 5 3 蝸輪蝸桿傳動(dòng)的材料和結(jié)構(gòu) 1 蝸桿 蝸輪的材料選擇 對(duì)于蝸桿傳動(dòng)的失效形式 設(shè)計(jì)所選中的材料不僅要有足夠的強(qiáng)度 還要有良好 的減摩性 耐磨性和抗膠合能力 所以蝸桿傳動(dòng)中一般采用青銅齒圈與淬硬的鋼制蝸 桿相匹配 蝸桿一般用碳鋼或合金鋼制造 蝸桿常用材料見表 5 4 蝸輪材料可參考相對(duì)滑動(dòng)速度 vs 來選擇 常用的材料為鑄錫青銅或鑄鋁鐵青銅 灰鑄鐵等 常用材料見表 5 5 圖 5 3 蝸桿傳動(dòng)滑動(dòng)速度圖 5 4 滑動(dòng)速度 vs 的概略值 XXVI 表 5 4 蝸桿常用材料及應(yīng)用 材料牌號(hào) 熱 處 理 硬 度 表面粗糙度 um 應(yīng) 用 45 鋼 42SiMn 40Cr 4 2CrMo 38SiMnM o 40CrNi 表面淬火 45 55HRC 1 6 0 8 中速 中載 一般傳動(dòng) 20Cr 15CrM n 20CrMnTi 20CrMn 滲碳淬火 56 62HRC 1 6 0 8 高速 重載 重要傳動(dòng) 45 鋼 調(diào)質(zhì)或正火 220 270HB S 6 3 低速 輕 中載 不重要傳 動(dòng) XXVII 表 5 5 蝸輪常用材料及應(yīng)用 材料 牌號(hào) 適用的滑 動(dòng)速度 m s 特性 應(yīng) 用 ZCuSn10P1 25 連續(xù)工作的高速 重載的重要傳動(dòng) 鑄錫青銅 ZCuSn5Pb5Zn5 12 耐磨性 跑合性 抗膠合能力 可加工 性能均較好 但強(qiáng)度 低 成本高 速度較高的輕 中 重載傳動(dòng) 速度較低的重載 傳動(dòng) 鑄鋁鐵青 銅 ZCuA110Fe3 10 黃銅 ZCuZn38Mn2Pb2 10 耐沖擊 強(qiáng)度較高 可加工性能好 抗膠 合能力較差 價(jià)格較 低 速度較低 載荷 穩(wěn)定的輕 中載傳 動(dòng) 灰鑄鐵 HT150 HT200 HT250 2 鑄造性能 可加工 性能好 價(jià)格低 抗 點(diǎn)蝕和抗膠合能力強(qiáng) 抗彎強(qiáng)度低 沖擊韌 度低 低速 不重要的 開式傳動(dòng) 蝸輪尺 寸較大的傳動(dòng) 手 動(dòng)傳動(dòng) 所以選用鑄鋁鐵青銅 ZCuA110Fe3 為蝸輪材料 選擇 45 鋼為蝸桿材料 2 蝸桿 蝸輪的結(jié)構(gòu) 蝸桿通常和軸做成一體 稱之為蝸桿軸 如圖 5 5 所示 按照蝸桿螺旋部分加工 方法的不同 可以分為車制蝸桿和銑削蝸桿 因?yàn)檐囍莆仐U有退刀槽 所以剛性比較差 圖 a 當(dāng)銑削蝸桿無退刀槽時(shí) d 大于 df 圖 b 剛性較好 a b 圖 5 5 蝸桿軸結(jié)構(gòu) XXVIII 蝸輪結(jié)構(gòu)分為整體式和組合式 如圖 5 6 所示 鑄鐵蝸輪和直徑小于 100mm 的青銅蝸輪可以做成整體式 如圖 5 6C 所示 組合形式有以下三種 1 齒圈壓配式 如圖 5 6a 所示 齒圈采用青銅材料 兩者使用過盈配合 并沿著配合面安裝 4 到 6 個(gè)緊定螺釘 此結(jié)構(gòu)通常用于中等尺寸且工作溫度變化小的 場(chǎng)合 2 螺栓連接式 如圖 5 6b 所示 齒圈和輪芯一般采用普通螺栓或者鉸制孔螺 栓連接 通常用于尺寸較大的場(chǎng)合 3 組合澆注式 如圖 5 6d 所示 在鑄鐵輪芯上制出榫槽 澆注上青銅輪緣 然后切齒 這種結(jié)構(gòu)適用于中等尺寸 批量生產(chǎn)的蝸輪 圖 5 6 蝸輪的結(jié)構(gòu)形式 本設(shè)計(jì)中的蝸輪結(jié)構(gòu)選擇螺栓連接式結(jié)構(gòu) 3 蝸桿傳動(dòng)的精度等級(jí) 表 5 6 蝸桿傳動(dòng)精度等級(jí)的選擇 精度等級(jí) 蝸輪圓周速 度 m s 蝸桿齒面的 表面粗糙度 Ra 值 m 蝸輪齒面的 表面粗糙度 Ra 值 m 使用范圍 6 5 0 4 0 8 中等精密機(jī)床 的分度機(jī)構(gòu) 7 7 5 0 8 0 8 中速動(dòng)力傳動(dòng) 8 3 1 6 1 6 速度較低或短 XXIX 5 4 蝸輪蝸桿傳動(dòng)的強(qiáng)度計(jì)算 1 蝸輪旋轉(zhuǎn)方向的判定 蝸輪旋轉(zhuǎn)方向 按照蝸桿螺旋線旋向和旋轉(zhuǎn)方向 應(yīng)用于左右手定則判定 如果蝸桿為右旋時(shí) 順著右手四個(gè)手指方向并沿著蝸桿轉(zhuǎn)向握起來 大拇指所指 的方向相反為蝸輪上嚙合點(diǎn)的線速度方向 則蝸輪逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng) 如圖 5 7a 所示 當(dāng)蝸 桿為左旋時(shí) 同理則用左手按相同方法判定 如圖 5 7b 所示 圖 5 7 蝸輪旋轉(zhuǎn)方向的判斷 2 輪齒上的作用力 由于蝸桿傳動(dòng)受力分析與斜齒圓柱齒輪的受力分析相似 如圖 5 8 所示 如果不 計(jì)齒面間的摩擦力 當(dāng)蝸輪作用于蝸桿齒面上的法向力 Fn 再節(jié)點(diǎn) C 處可以分解為三 個(gè)相互垂直的分力 圓周力 Ft1 軸向力 Fx1 徑向力 Fr1 由圖上可知 蝸輪上的圓 周力等于蝸桿上的軸向力 蝸輪上的徑向力等于蝸桿上的徑向力 蝸輪上的軸向力等 于蝸桿上的圓周力 這些對(duì)應(yīng)力的大小相等方向相反 各力的大小可按下式計(jì)算 N 5 7 121dTFxt 期工作的傳動(dòng) 9 15 3 2 3 2 不重要的低速 傳動(dòng)或手動(dòng)傳動(dòng) XXX N 5 8 21dTFtx N 5 9 atrrn N mm 5 10 iT12 式中 T 1 T 2 分別為作用在蝸桿和蝸輪上的轉(zhuǎn)矩 分別為蝸桿和蝸輪的分度1d2 圓直徑 m m 為蝸桿傳動(dòng)的總效率 可參考相關(guān)資料確定 3 蝸輪齒面接觸疲勞強(qiáng)度計(jì)算 鋼制蝸桿與青銅蝸輪的強(qiáng)度校核公式 5 11 HHzdmKTdT 21215050 設(shè)計(jì)公式為 5 12 12dm 2250 HzKT 式中 T 2 為蝸輪軸的轉(zhuǎn)矩 Nmm 當(dāng)載荷相對(duì)滑動(dòng)速度較小時(shí) 取較小值 反 圖 5 8 蝸桿傳動(dòng)受力分析 XXXI 之取較大值 嚴(yán)重沖擊時(shí)取 K 1 5 H 蝸輪材料的許用接觸應(yīng)力 MPa 當(dāng)蝸 輪材料為錫青銅 b25 107 時(shí)應(yīng)取 N 25 107 時(shí)應(yīng)取 51 5106 表 5 6 錫青銅蝸輪的基本許用接觸應(yīng)力 0H N 107 MPa 蝸桿齒面硬度 蝸 輪材料 鑄造方法 適用的滑動(dòng)速 度 vS m s 3 50HB 45 HRC ZCuSn10P1 砂 型金屬型 12 25 180200 200220 ZCuSn5Pb5Zn 5 砂 型 金屬型 10 12 110 135 125 150 表 5 7 鑄鋁青銅及鑄鐵蝸輪的許用接觸應(yīng)力 H MPa 滑動(dòng)速度 vS m s 蝸輪材料 蝸桿材料 0 5 1 2 3 4 6 8 ZCuAl10Fe3 淬火鋼 250 230 210 180 160 120 90 ZCuZn38Mn2 Pb2 淬火鋼 2 15 2 00 1 80 1 50 1 35 9 5 7 5 HT150 HT2 00 滲碳鋼 130 115 90 HT150 調(diào)質(zhì)鋼 110 90 70 4 蝸輪輪齒的齒根彎曲疲勞強(qiáng)度計(jì)算 齒根彎曲強(qiáng)度的校核公式 9 221cos FFYmdKT 12 設(shè)計(jì)公式為 9 12 2cos Fz 13 式中 0F 為蝸輪材料的基本許用彎曲應(yīng)力 如表 5 9 所示 Y N 為壽命系數(shù) N 60n2Lh 當(dāng) N 25 107 時(shí) 取 N 25 107 9610YN 當(dāng) N 45HRC材 料 鑄造 方法 b s單向 受載 雙向 受載 單向 受載 雙向 受載 ZCuSn10P b1 砂 模 金 屬 模 20 0 25 0 140 150 51 58 32 40 64 73 40 50 ZCuSn5Pb 5Zn5 砂 模 金 屬 模 18 0 20 0 90 90 37 39 29 32 46 49 36 40 ZCuAi10F e3 金 屬 模 50 0 200 90 80 113 100 HT150 砂 模 150 38 24 48 30 HT200 砂 模 200 48 30 60 38 5 5 蝸桿傳動(dòng)的效率 潤(rùn)滑和熱平衡計(jì)算 1 蝸桿傳動(dòng)的效率 閉式蝸桿傳動(dòng)的總效率 由嚙合效率 攪油效率 和軸承效率 三部分組成即 12 3 5 15 321 當(dāng)蝸桿為主動(dòng)件時(shí) 嚙合效率為 tan 1v XXXIII 通常 攪油效率 0 95 0 99 滾動(dòng)軸承效率 0 99 滑動(dòng)軸承效率2 3 0 98 0 99 綜合考慮 取 0 95 0 97 故有 3 32 5 16 tan 97 0 5 V 如表 5 10 所示 在初步計(jì)算時(shí) 蝸桿傳動(dòng)效率可以近似取下列數(shù)值 閉式傳動(dòng) 1 2 4 61z 0 7 0 75 0 75 0 82 0 82 0 92 0 86 0 95 開式傳動(dòng) 1 2 0 60 0 70 z 表 5 10 當(dāng)量摩擦系數(shù) 和當(dāng)量摩擦角vfv 蝸輪材料 錫青銅 鋁青銅 灰鑄鐵 蝸桿齒面 硬度 45HRC 45HRC 45HRC 45HR C 45HRC 滑動(dòng)速度 m s Sv vfv fvfvvfvfv 0 01 0 110 6 17 0 120 6 51 0 180 10 12 0 018 10 12 0 190 10 45 0 05 0 090 5 09 0 100 5 43 0 140 7 58 0 140 7 58 0 160 9 05 0 10 0 080 4 34 0 090 5 09 0 130 7 24 0 130 7 24 0 140 7 58 0 25 0 065 3 43 0 075 4 17 0 100 5 43 0 100 5 43 0 120 6 51 0 50 0 055 3 09 0 065 3 43 0 090 5 09 0 090 5 09 0 100 5 43 1 00 0 045 2 35 0 055 3 09 0 070 4 00 0 070 4 00 0 090 5 09 1 50 0 040 2 17 0 050 2 52 0 065 3 43 0 065 3 43 0 080 4 34 2 00 0 035 2 00 0 045 2 35 0 055 3 09 0 055 3 09 0 070 4 00 2 50 0 030 1 43 0 040 2 17 0 050 2 52 3 00 0 028 1 36 0 035 2 00 0 045 2 35 4 00 0 024 1 22 0 031 1 47 0 040 2 17 5 00 0 022 1 16 0 029 1 40 0 035 2 00 8 00 0 018 1 02 0 026 1 29 0 030 1 43 10 0 0 016 0 55 0 024 1 22 XXXIV 15 0 0 014 0 48 0 020 1 09 24 0 0 013 0 45 注 對(duì)于硬度 45HRC 的蝸桿 值系指 5m s 時(shí)常用上置式 圖 5 9c 油 面允許達(dá)到蝸輪半徑 1 3 處 表 9 11 蝸桿傳動(dòng)的潤(rùn)滑油粘度及潤(rùn)滑方法 滑動(dòng)速度 vS m s 1 2 5 5 10 1 0 15 1 5 25 2 5 工 作 條 件 重載 重載 中載 運(yùn)動(dòng)粘度 40 mm2 s 1 000 6 80 32 0 22 0 15 0 10 0 68 噴油潤(rùn)滑 油壓 MPa 潤(rùn) 滑 方 法 浸 油 浸 油 或 噴油 0 0 7 0 2 0 3 3 蝸桿傳動(dòng)的熱平衡計(jì)算 在單位時(shí)間內(nèi) 蝸桿傳動(dòng)由于摩擦發(fā)熱 因功率損耗而產(chǎn)生的熱量為 W 1 01 PQ 式中 P 1 蝸桿傳動(dòng)的輸入功率 KW 蝸桿傳動(dòng)的效率 自然冷卻時(shí)單位時(shí)間內(nèi)經(jīng)箱體外壁散逸到周圍空氣中的熱量為 W 012tAKS 式中 K S 為傳熱系數(shù) W m 2 箱體通風(fēng)良好時(shí) 可取 Ks 14 17 5W m 2 通風(fēng)不良時(shí) 取 Ks 14 17 5W m2 A 為散熱面積 m 2 凸緣和散熱片的面積按其表面積的 50 計(jì)算 為箱體內(nèi)的油溫 1t XXXV 為周圍空氣的溫度 通常取 20 0t 0t 根據(jù)熱平衡條件 Q1 Q2 于是可得滿足熱平衡條件時(shí)潤(rùn)滑油的溫度為 5 17 0110tAKPts 1 一般取許用油溫 t 1 750 80 最高不超過 90 總結(jié)與展望 本文主要對(duì)平行光管測(cè)量平臺(tái)進(jìn)行了詳細(xì)地運(yùn)動(dòng)分析 并對(duì)平臺(tái)的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行 了詳細(xì)地設(shè)計(jì)計(jì)算 對(duì)機(jī)械零件設(shè)計(jì)的一般過程有了深刻的了解 同時(shí)讓我對(duì)蝸輪蝸 桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行了深入的了解和學(xué)習(xí) 通過此次畢業(yè)設(shè)計(jì) 我了解了很多測(cè)量平臺(tái)的知識(shí) 使我了解了當(dāng)前國(guó)內(nèi)外在該 方面的先進(jìn)技術(shù) 這次設(shè)計(jì)是對(duì)大學(xué)四年所學(xué)的知識(shí)一個(gè)綜合考察 也使我在機(jī)械設(shè) XXXVI 計(jì)方面有了更大的進(jìn)步 這段時(shí)間 我通過網(wǎng)上查找資料 翻閱有關(guān)專業(yè)書籍 使我 學(xué)到很多測(cè)量平臺(tái)的有關(guān)的知識(shí) 還熟悉了擺動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的過程和步驟 并且鞏固了 機(jī)械設(shè)計(jì)方面的知識(shí) 在本次設(shè)計(jì)中 更多的是對(duì)機(jī)械 CAD 軟件的使用 這使我能更加熟練的運(yùn)用 CAD 畫圖 而且還熟練掌握了一些常用軟件的應(yīng)用 比如 UG OFFICE 等 此次畢設(shè)是一個(gè)實(shí)際應(yīng)用型課題 我國(guó)的機(jī)械產(chǎn)業(yè)還沒有達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平 這 些年來 國(guó)家對(duì)機(jī)械制造業(yè)更加大力的發(fā)展和推動(dòng) 對(duì)于其相關(guān)產(chǎn)業(yè)也有大幅度的推 進(jìn) XXXVII 參 考 文 獻(xiàn) 1 節(jié)德剛 宏 微驅(qū)動(dòng)高速高精度定位系統(tǒng)的研究 D 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2006 2 丁漢 朱利民 林忠欽 面向芯片封裝的高加速度運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的精確定位和操作 J 自然科學(xué)進(jìn)展 2003 06 10 16 3 王華 張憲民 低成本柔順板式精密定位平臺(tái)的理論與試驗(yàn) J 機(jī)械工程學(xué) 報(bào) 2008 10 177 181 4 孫麟治 李鳴鳴 程維明 精密定位技術(shù)研究 J 光學(xué)精密工程 2005 S1 69 75 5 SangJoo Kwon Wan Kyun Chung Youngil Youm On the coarse fine dual stage manipulators with robust perturbation compensator Robotics and Automation 2001 Proceedings 2001 ICRA IEEE International Conference on vol 1 no pp 121 126 vol 1 2001 6 Matthew Williams Dan Cornford Lucy Bastin Automatic processing quality assurance and serving of real time weather data Computers and Geosciences 2011 Vol 37 No 3 353 358 7 Paresh Shah and Jian S Dai Orientation capability representation and application to manipulator analysis and synthesis ROBOTICA 2002 Vol 20 No 5 529 535 8 Chandramouli Anandaraman ArunVikram Madurai Sankar Ramaraj Natarajan Evolutionary approaches for scheduling a flexible manufacturing system with automated guided vehicles and robots International Journal of Industrial Engineering Computations 2011 3 4 9 周海波 磁懸浮直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與控制研究 D 中南大學(xué) 2010 XXXVIII 10 朱煜 尹文生 段廣洪 光刻機(jī)超精密工件臺(tái)研究 J 電子工業(yè)專用設(shè)備 2004 02 25 27 44 11 李欣欣 宏 微兩級(jí)驅(qū)動(dòng)的大行程高精度二維定位平臺(tái)基礎(chǔ)技術(shù)研究 D 浙 江大學(xué) 2008 12 郭翠娟 超高加速度精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)研制 D 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2011 13 高加速精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)建模及控制關(guān)鍵技術(shù)研究 D 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2013 14 陸愛明 面向高端制造裝備的高速精密定位平臺(tái)控制技術(shù)研究 D 合肥工 業(yè)大學(xué) 2013 15 面向芯片封裝的高速精密定位平臺(tái)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì) D 天津大學(xué) 2006 XXXIX 致 謝 光陰似箭 日月如梭 大學(xué)生活眨眼間就過去了 看著自己走過的路 心中倍感 充實(shí) 當(dāng)我做完此次畢業(yè)設(shè)計(jì)時(shí) 感慨良多 首先感謝培養(yǎng)教育我的中北大學(xué) 它濃厚的學(xué)術(shù)氛圍 舒適的學(xué)習(xí)環(huán)境讓我終生 難忘 感謝我的畢業(yè)設(shè)計(jì)指導(dǎo)教師王彪老師 他在忙碌的科研工作中擠出時(shí)間來審查 修改我的論文 他循循善誘的教導(dǎo)和不拘一格的思路給予我無盡的啟迪 在課題研究 的整個(gè)過程中 王彪老師一直都給予了悉心的指導(dǎo)與幫助 感謝我的同窗好友 他們和我共同度過四年美好美好的大學(xué)時(shí)光 正是他們的幫 助和支持 我才能克服一個(gè)一個(gè)的困難和疑惑 直至本次設(shè)計(jì)的順利完成 感謝生我養(yǎng)我的父母 他們給予了我最無私的愛 為我的成長(zhǎng)付出了許多許多 焉得諼草 言樹之背 養(yǎng)育之恩 無以回報(bào) 惟愿他們健康長(zhǎng)壽