《北京電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)室是中國(guó)科學(xué)院開放實(shí)驗(yàn)室-物理研究所網(wǎng)上辦公》由會(huì)員分享，可在線閱讀，更多相關(guān)《北京電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)室是中國(guó)科學(xué)院開放實(shí)驗(yàn)室-物理研究所網(wǎng)上辦公（4頁(yè)珍藏版）》請(qǐng)?jiān)谘b配圖網(wǎng)上搜索。
1、課題編號(hào)
中國(guó)科學(xué)院物理研究所微加工實(shí)驗(yàn)室
開放課題申請(qǐng)書
課題名稱：
課題負(fù)責(zé)人姓名 職稱 專業(yè)
課題聯(lián)系人姓名
工作單位 電話
通訊地址 傳真
研究起止時(shí)間 20 年 月 至
申請(qǐng)使用的設(shè)備（見填表說(shuō)明） MA6 （紫外光刻）、EBL （電子束光刻）、FIB （聚焦離子束）、
LDR （激光直寫）、RIE （反應(yīng)離子刻蝕）、ICP （電感耦合等離子體反應(yīng)離子刻蝕） 、WIREBOND
（引線儀）、DEKTAK （臺(tái)階儀）、AFM （原子力顯微鏡）、ALD （原子層沉積系統(tǒng)）、TE （熱蒸 發(fā)）、EBD （電子束蒸發(fā)沉積）
申請(qǐng)日期
中國(guó)科學(xué)院物理研究所微
2、加工實(shí)驗(yàn)室
20 年 月
填表說(shuō)明： （有關(guān)微加工實(shí)驗(yàn)室的信息可瀏覽微加工實(shí)驗(yàn)室網(wǎng)站：
)
1 ． 中國(guó)科學(xué)院物理所微加工實(shí)驗(yàn)室在包含萬(wàn)級(jí)、 千級(jí)和百級(jí)的近 300 平米超凈實(shí)驗(yàn)室內(nèi)主要裝
備了：紫外曝光分辨率優(yōu)于 0.5微米的MA放空接觸式雙面掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)（簡(jiǎn)稱 MA6;電子束
曝光分辨率優(yōu)于 20納米、 對(duì)準(zhǔn)和拼接精度可達(dá) 20 納米的 RAITH 150 電子束直寫系統(tǒng) （簡(jiǎn)稱 EBL） ；
離子束分辨率優(yōu)于 10 納米、可輔助沉積或刻蝕的 FEI DB235 聚焦粒子束系統(tǒng)（簡(jiǎn)稱 FIB ） ；以
及與微加工相關(guān)的一系列儀器和裝置，如：反應(yīng)離子刻蝕機(jī)（簡(jiǎn)稱 PLASM
3、A） 、涂膠系統(tǒng)、熱板
及顯影系統(tǒng)、超聲壓焊系統(tǒng)（簡(jiǎn)稱 WIREBOND表面形貌儀（簡(jiǎn)稱 DEKTAK等，還包括各種光
刻膠，顯影液，酸堿液，和多種特殊氣體等。其輔助設(shè)備還有：雙探針 SEM可實(shí)現(xiàn)納米尺度的
原位電學(xué)性質(zhì)測(cè)量，三靶磁控濺射系統(tǒng)可生長(zhǎng)單質(zhì)和化合物薄膜，熱燈絲化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)， 材料敏感特性測(cè)試系統(tǒng)和各種電輸運(yùn)特性測(cè)試系統(tǒng)。 20 年 月 日將受理所內(nèi)各課題組的研究人員利用上述微加工實(shí)驗(yàn)室設(shè)備開展研究工 作的開放課題。如要申請(qǐng)開放課題，請(qǐng)?zhí)顚懼袊?guó)科學(xué)院物理研究所微加工實(shí)驗(yàn)室開放課題申請(qǐng) 書。經(jīng)學(xué)委會(huì)討論后，如果同意在本室列項(xiàng)，將發(fā)給您開放課題申請(qǐng)批準(zhǔn)通知。開放課題享受 優(yōu)惠的
4、機(jī)時(shí)費(fèi)和微加工實(shí)驗(yàn)室人力配置。
2．付費(fèi)方式
按實(shí)際機(jī)時(shí)收費(fèi)
3．本申請(qǐng)書所列項(xiàng)目，請(qǐng)實(shí)事求是、認(rèn)真填寫，表述明確嚴(yán)謹(jǐn)；
4．申請(qǐng)課題由本實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會(huì)討論通過(guò)，未批準(zhǔn)者，恕不退還有關(guān)材料。
5 ． 申請(qǐng)課題原則上由課題組派一名物理所正式工作人員或研究生來(lái)微加工實(shí)驗(yàn)室工作或作為課
題聯(lián)系人，如有變動(dòng)，請(qǐng)通知實(shí)驗(yàn)室改動(dòng)聯(lián)系人。
6．請(qǐng)選派有一定研究能力及操作能力的人員來(lái)室工作，經(jīng)本室培訓(xùn)合格后方可獨(dú)立上機(jī)操作。
7 ． 雙方共同享受課題研究成果， 發(fā)表文章請(qǐng)署名中國(guó)科學(xué)院物理所微加工實(shí)驗(yàn)室相關(guān)人員和課
題組成員所屬單位。
8．請(qǐng)遵守本室各項(xiàng)規(guī)定，若有違反，將停止執(zhí)行課題，之
5、前費(fèi)用按成本價(jià)計(jì)算。
9．課題的研究期限一般不超過(guò)一年，到期自動(dòng)取消，特殊情況可申請(qǐng)延期。
10 ．申請(qǐng)書請(qǐng)于 20 年 月 日前寄電子版至：微加工實(shí)驗(yàn)室 金愛子
EMAIL ： azjin@ ，聯(lián)系電話： 82648198，聯(lián)系地址： C208E－ 2
1.研究的目的、意義
2.研究?jī)?nèi)容、預(yù)期成果
3.工作基礎(chǔ)（包括材料制備及測(cè)試條件是否具備）
4.有無(wú)特殊要求（如要求微加工實(shí)驗(yàn)室協(xié)助材料制備、測(cè)試、制光刻版及人員配備等）
學(xué)術(shù)委員會(huì)意見:
主任簽字
2008年 月 日
北京電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)室是中國(guó)科學(xué)院開放實(shí)驗(yàn)室-物理研究所網(wǎng)上辦公
