某項目安全驗收評價報告模版(DOC 50頁)2

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1、XX項目安全驗收評價報告 XX項目安全驗收評價報告模版 1編制說明 1.1評價依據(jù) 1、 中華人民共和國主席令第70號《中華人民共和國安全生產(chǎn)法》 2、 勞動部令第3號《建設(shè)項目（工程）勞動安全衛(wèi)生監(jiān)察規(guī)定》 3、 勞動部勞安字[1992]1號《建設(shè)項目（工程）職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)施與技術(shù)措施驗收辦法》 4、 國家安管局安監(jiān)管技裝字[2003]37號《安全評價通則》 5、 國家安管局安監(jiān)管技裝字[2003]79號《安全驗收評價導則》 6、 天津市安管局津安監(jiān)管字[2002]84號《天津市安全評價管理辦法》 7、 SJ30002-92《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定》 8、 國家、

2、地方、行業(yè)有關(guān)勞動安全的法規(guī)、規(guī)定、規(guī)范和標準（詳見附件1） 9、 建設(shè)單位提供的《中芯國際集成電路制造（天津）有限公司項目》安全驗收的相關(guān)資料。 10、 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司委托天津泰山安全科技有限公司進行《中芯國際集成電路制造（天津）有限公司項目》安全驗收評價合同書。 1.2評價目的及評價范圍 1、 評價目的及評價內(nèi)容 1） 安全驗收評價的目的是貫徹“安全第一，預防為主”的方針，為建設(shè)項目安全驗收提供科學依據(jù)，對建設(shè)項目未達到安全目標的系統(tǒng)或單元提出安全補償及補救措施，以利于提高建設(shè)項目本質(zhì)安全程度，滿足安全生產(chǎn)要求。 2） 安全驗收評價內(nèi)容 ① 檢查建設(shè)項目

3、中安全設(shè)施是否已與主體工程同時設(shè)計、同時施工、同時交付生產(chǎn)和使用；評價建設(shè)項目及與之配套的安全設(shè)施是否符合國家有關(guān)安全生產(chǎn)的法規(guī)、規(guī)定和技術(shù)標準。 ② 從整體上評價建設(shè)項目的運行狀態(tài)和安全管理是否正常、安全、可靠。 2、 評價范圍 根據(jù)本項目安全驗收評價技術(shù)服務合同書的規(guī)定內(nèi)容，經(jīng)與建設(shè)單位商定：對中芯天津芯片生產(chǎn)廠房、化學品庫、污水處理站以及變配電站、鍋爐房、油庫、空壓站、冷凍站、水泵房的設(shè)備、設(shè)施進行勞動安全驗收評價。 由于公司對工藝及產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)保密且芯片生產(chǎn)線工藝設(shè)備自動化程度高，人、機分離，安全性能高，據(jù)同行業(yè)生產(chǎn)實踐，發(fā)生事故的可能性極小，對建設(shè)項目的總體勞動安全驗收

4、評價結(jié)果影響較小，應公司的要求，在芯片生產(chǎn)廠房勞動安全驗收評價中，在危險危害因素辨識分析的基礎(chǔ)上，僅對其危險性大的芯片生產(chǎn)的輔助設(shè)施進行勞動安全驗收評價。 3主要危險危害因素分析 1、 物質(zhì)的危險危害 芯片生產(chǎn)過程中，使用多種化學物品，廠區(qū)內(nèi)設(shè)有儲存這些化學物品的化學品庫，化學品種類達80種。按照GB13690-92《常用危險化學品的分類及標志》規(guī)定中對常用危險化學品，按其主要危險特性進行分類，該項目中使用的危險化學品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質(zhì)的主要危險危害為： 1） 有毒有害氣體（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏與空氣混合遇明

5、火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。 2） 易燃液體（如丙酮、異丙醇等）如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災爆炸。 3） 氧化劑（如過氧化氫等）如泄漏與有機物還原劑、易燃物接觸可引起火災爆炸。 4） 腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學灼傷。 這些危險有害因素的主要物質(zhì)理化特性，以及化學危險品的貯存、使用的危險性分析詳見化學品庫單元. 2、 設(shè)備設(shè)施的固有危險危害 生產(chǎn)設(shè)備多，且特種設(shè)備的種類、數(shù)量多。電氣設(shè)備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房內(nèi)用電設(shè)備及控制系統(tǒng)；特種設(shè)備有燃氣鍋爐、空壓設(shè)備

6、、冷凍設(shè)備、壓力容器及多種氣瓶和廠內(nèi)機動車輛；儲存設(shè)備有儲氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設(shè)備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險因素有： 1） 火災爆炸 油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現(xiàn)泄漏，遇明火可引發(fā)火災、爆炸危險。 鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現(xiàn)泄漏遇明火可引發(fā)火災。當天然氣與空氣混合的濃度達到爆炸極限時遇點火源可引發(fā)爆炸危險。 2） 物理爆炸 鍋爐、壓力容器（蒸發(fā)器、冷凝器、儲氣罐）設(shè)備、氣瓶等，如設(shè)備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當，可引發(fā)物理爆炸。 3） 觸電危險 變配電設(shè)備、電氣線路、用電設(shè)備如產(chǎn)品質(zhì)量不佳、絕緣性能不良或因運行不當、機械

7、損傷、維修不善導致絕緣老化破損或設(shè)計、安裝不規(guī)范，安全凈距不足，或違章操作，均可能引發(fā)觸電危險。如出現(xiàn)短路、過載、接觸不良等，也可引發(fā)電氣火災危險。 4） 靜電危害 如火災、爆炸危險環(huán)境內(nèi)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷不能及時消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災、爆炸。 5） 高空墜落危險 凡2m以上各類高空作業(yè)點位，其梯、臺、道、護欄等常規(guī)性防護措施不符合規(guī)范要求或損壞，可引發(fā)高空墜落危險。 6） 車輛傷害 廠內(nèi)各類運輸車輛如車輛本身缺陷，或制動、音響、燈光等失效，道路

8、狀況不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車輛傷害。 7） 機械傷害 空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉(zhuǎn)、傳動設(shè)備如無防護罩或損壞，可引發(fā)機械傷害。 8） 灼傷 高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。 9） 噪聲危險 空壓設(shè)備、泵類、風機等設(shè)備在運轉(zhuǎn)時可產(chǎn)生噪聲危害。 4評價方法的選取和評價單元的劃分 4.1評價方法的選取 結(jié)合本項目建設(shè)內(nèi)容及已做勞動安全預評價的實際，安全驗收評價采用以下兩種方法： 1、 安全檢查表（SCL） 依據(jù)國

9、家、行業(yè)、地方相關(guān)法規(guī)、規(guī)定及技術(shù)標準，針對本工程存在的危險、危害因素，編制安全檢查表，以查驗項目在設(shè)計、施工、交付生產(chǎn)使用時，所采取的安全防護設(shè)施及技術(shù)措施的全面性和可靠性，并據(jù)此提出改進措施及建議。 2、 專家現(xiàn)場詢問，觀察法（邀請公司專業(yè)技術(shù)人員參加、配合）。 4.2評價單元的劃分 依據(jù)已確定的評價范圍及建設(shè)內(nèi)容的實際，本項目的安全驗收評價劃分如下評價單元。 1、 總平面布置及常規(guī)安全防護設(shè)施安全評價單元 2、 生產(chǎn)工藝及危險化學品使用安全評價單元 3、 化學品庫安全評價單元 4、 超純水制備設(shè)施系統(tǒng)安全驗收評價單元 5、 鍋爐房安全驗收評價單元 6、 油罐區(qū)、冷凍機房

10、、空壓站、水泵房安全評價單元 7、 污水處理站安全評價單元 8、 供配電安全評價單元 9、 安全生產(chǎn)管理安全評價單元  5.1.2安全檢查表 依據(jù)GB50187-93 《工廠企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范》、SJ30002-92《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定》、GB4387-94《工業(yè)企業(yè)廠內(nèi)鐵路道路運輸安全規(guī)程》、GBJ16-87《建筑設(shè)計防火規(guī)范》(2001版)、GB50074-2002《石油庫設(shè)計規(guī)范》、GB2894-1996《安全標志》、GB16179-1996《安全標志使用導則》等相關(guān)法規(guī)、標準及現(xiàn)場狀況編制總平面布置及常規(guī)安全防護設(shè)施安全檢查表，檢查項目及內(nèi)容見表5.1.

11、2-1。 總平面布置安全檢查表 表5.1.2-1 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 1 廠址選擇 1.1 廠址選擇在全面考察，其自然和社會環(huán)境應優(yōu)先選在工程地質(zhì)、水文、氣象條件符合安全衛(wèi)生要求，交通便利，協(xié)作方便，環(huán)境較為清潔的地區(qū)。 SJ30002-92 2.2.2 √ 符合要求。 1.2 廠址應位于生活區(qū)最小頻率風向的上風側(cè)，避免建在已建工廠煙囪主導風向的下風側(cè)。 2.2.4 √ 1.3 廠址應具有滿足生產(chǎn)、生活及發(fā)展規(guī)劃所需要電源和給排水條件。 GB50187-93 2.0.5 √

12、 滿足要求 1.4 廠址應與交通線路、車站、港口順捷合理聯(lián)接，廠所區(qū)盡量靠近公路干道。 GB50187-93 2.0.4 √ 交通便利。 1.5 地震斷層和設(shè)防烈度低于九度地震區(qū)。 GB50187-93 2.0.11 √ 七度設(shè)防。 2 總平面布置 2.1 廠區(qū)應根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)布置。一般可分為廠前區(qū)、主要生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)、倉庫區(qū)和動力區(qū)。 SJ30002-92 2.3.2 √ 按功能分為辦公區(qū)、生產(chǎn)區(qū)、公用工程區(qū)、預留區(qū)。 2.2 由廠部辦公樓、多層廠房、廠區(qū)主入口等組成的廠前區(qū)，宜置于廠區(qū)最小頻率風向的下風側(cè)。 SJ3

13、0002-92 2.3.5 √ 2.3 布局應滿足生產(chǎn)加工過程流程。 GB50187-93 2.0.11 √ 流程順暢。 2.4 要求潔凈的生產(chǎn)設(shè)施應布置在大氣含塵濃度低、環(huán)境清潔地段。潔凈廠房的布置應符合“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”的規(guī)定。 GB50187-93 4.2.2 √ 符合要求。 2.5 變配電站宜位于負荷中心，或靠近主要用戶。不受粉塵、水霧、腐蝕性氣體影響。對于大容量的總降壓站，尚應在其周圍加設(shè)圍墻。 SJ30002-92 2.3.15 GB50187-93 3.4.4 √ 總降變設(shè)在廠區(qū)西南角。各10kW變電站靠近負荷中心。 2.6

14、空壓站應位于空氣潔凈地段，避免靠近散發(fā)爆炸性、腐蝕性和有害氣體的粉塵等場所。 GB50187-93 4.3.4 √ 2.7 鍋爐房宜布置在廠區(qū)全年最小頻率風向的上風側(cè)。 GB50187-93 4.3.7 SJ30002-92 2.3.13 √ 2.8 污水處理站應布置在廠區(qū)邊緣地帶，位于廠區(qū)全年最小頻率風向的上風側(cè)。應靠近污染源，遠離水源構(gòu)筑物及空調(diào)空氣入口，四周留有必要的衛(wèi)生防護距離。 SJ30002-92 2.3.16 GB50187-93 3.4.2 √ 2.9 火災危險性屬于甲、乙、丙類液體燃料罐區(qū)的布置，應遠離明火或散發(fā)火花地點。

15、　　與耐火等級為2、3級廠房距離分別為20m、25m，與廠內(nèi)主干道距離15m，與次干道距離10m。 GB50187-93 4.6.5 GB50074-2002 4.0.8 ∽ 油罐區(qū)距鍋爐房西側(cè)外墻15.2m，距廠內(nèi)道路6m。 2.10 化學危險品庫，應布置在廠區(qū)最小頻率風向的上風側(cè)及邊緣地區(qū)，應遠離火源，并符合國家現(xiàn)行有關(guān)防火規(guī)范的規(guī)定，防火間距不應少于30m。 SJ30002-92 2.3.12 √ 基本符合有關(guān)規(guī)定。 2.11 工廠主要建筑物宜呈南北向布置，建筑物的方位應保證室內(nèi)有良好的朝向、采光和自然通風條件。 SJ30002-92 2.3.3 GB5

16、0187-93 2.0.1 √ 條件良好。 2.12 廠區(qū)出入口數(shù)量不宜少于2個。人流出入口與貨流出入口分開設(shè)置。 GB50187-93 4.7.4 √ 三個出入口，人、物分流。 2.13 廠區(qū)應進行綠化，應在道路及圍墻沿線植樹，空地上種植灌木，喬木和草皮，廠前區(qū)布置花壇，水池以及廠標、雕型等建筑小品。 SJ30002-92 2.3.20 √ 3 廠區(qū)道路 3.1 運輸線路，滿足生產(chǎn)要求，物流順暢，線路短捷，人流、貨流組織合理。 GB50187-93 4.1.8 √ 人流、貨流組織合理。 3.2 道路與主要建筑物軸線平行或垂直，主

17、要生產(chǎn)廠、倉庫區(qū)、動力區(qū)的道路應呈環(huán)形布置。廠區(qū)盡頭端式道路應有足夠的消防車回轉(zhuǎn)場地。 SJ30002-92 2.3.17 GB50187-93 5.3.1 √ 呈環(huán)形布置。有回轉(zhuǎn)場地。 3.3 廠區(qū)主干線雙向行駛路寬≥5m，單向行駛路寬≥3.5m；并有單向行駛標記，且能形成環(huán)形通道；人行道>0.75m；沿主干線人行道1.5m。 GB50187-93 5.3.5 5.3.6 √ 廠區(qū)道路21m、15m、12m、7m。有人行道。 3.4 職工上下班時間內(nèi)，人流密集的出入口和路段，應停止行駛貨運和機動車輛。 GB4387-94 5.1.8 √ 3.5 易

18、燃易爆區(qū)、儲存庫區(qū)將道路劃分為限制車輛通行或禁止車輛通行的路段，并設(shè)標志。 GB4387-94 5.1.4 × 油罐區(qū)、化學品庫道路未劃分限行路段。無標志。 3.6 廠區(qū)道路在彎道交叉路口的橫凈距范圍內(nèi)，不得有妨礙駕駛員視線的障礙物。 GB4387-94 5.1.10 √ 3.7 廠區(qū)道路應設(shè)置交通標志。 GB4387-94 5.1.3 × 無交通標志。 3.8 路面平整、路基穩(wěn)固、邊坡整齊、排水良好。 GB4387-94 5.1.1 √ 良好。 3.9 有完好的照明設(shè)施。 GB4387-94 5.1.1 √ 完好。 4 常規(guī)安全防

19、護設(shè)施 4.1 架空平臺、走道、鋼梯應符合國家現(xiàn)行《固定式工業(yè)平臺、工業(yè)防護欄桿、鋼直梯、鋼斜梯》等標準的規(guī)定。凡采用直梯的場所，應采取防護措施，相鄰兩層的直梯宜錯開設(shè)置。 SJ30002-92 2.6.7 2.6.8 √ 廠區(qū)平臺、鋼梯基本符合要求。 4.2 廠區(qū)各種井、溝應有蓋板。 SJ30002-92 2.6.10 √ 有蓋板。 4.3 道路上部管架和棧橋等障礙物，在干道上的凈高不得小于5m。 SJ30002-92 2.3.18 √ 4.4 凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應設(shè)置安全標志。必要處尚應設(shè)置聲光、色或聲光結(jié)合的緊急警告信號

20、。 SJ30002-92 2.9.1 ∽ 安全標志不齊全，不醒目。 4.5 各種輸送氣體、液體及其它物料的管道，均應按國家及電子工業(yè)有關(guān)規(guī)定涂色。 SJ30002-92 2.9.2 × 未按規(guī)定涂色。 4.6 廠房、動力站房的安全出口及疏散通道、應設(shè)置明顯的標志。 SJ30002-92 2.9.3 ∽ 不齊全。 4.7 安全標志的涂色，應符合國家現(xiàn)行《安全標志》及《安全色》標準的規(guī)定。 SJ30002-92 2.9.4 ∽ 不規(guī)范。 5.1.3綜合評價分析 1、 危險危害辨識 1） 廠區(qū)建（構(gòu)）筑物如間距小，道路狹窄，路面不平整、不暢通，若人流

21、、物流不能有效分流，車輛無回車場地或車輛剎車、音響、燈光等出現(xiàn)問題，易引發(fā)車輛傷害事故。 2） 廠區(qū)內(nèi)丙烷站、化學品庫（室），油罐區(qū)、110KV變電站等易燃、易爆、易中毒，及要害部位無安全標志，無限行、禁行等交通標志。易造成誤入及違章等，引發(fā)中毒、燃爆、觸電等傷害。 3） 廠區(qū)內(nèi)若坑、孔、井及走臺、平臺無防護圍欄或蓋板，直梯、斜梯不符合有關(guān)規(guī)定都可引發(fā)碰、磕、摔傷和墜落傷害。 4） 廠區(qū)內(nèi)若道路無路標無交通標志，過路工業(yè)管路無限高標志，可造成各種車輛隨意超速，任其闖越工業(yè)管路架設(shè)較低區(qū)域，易造成車輛交通事故或設(shè)備損害事故。 2、 問題與建議 廠區(qū)總平面布置根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)

22、布置，能夠滿足生產(chǎn)加工過程流程要求，建（構(gòu)）筑物安全距離基本符合有關(guān)規(guī)定要求，廠區(qū)道路與主要建筑物軸線平行或垂直，主要生產(chǎn)區(qū)、庫區(qū)、動力區(qū)的道路呈環(huán)形布置，能滿足消防車暢通和回轉(zhuǎn)的要求，廠區(qū)各種井、溝有蓋板、平臺、走臺、鋼梯基本符合有關(guān)標準要求。但仍有一些問題應引起注意。需采取相應措施以消除可能導致事故發(fā)生的隱患。 1） 油罐區(qū)與鍋爐房和廠區(qū)道路的間距未達到GB50074《石油庫設(shè)計規(guī)范》的要求。應按油罐區(qū)評價單元的建議完善其防火防爆措施并控制儲油量。 2） 凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，安全出入口，應設(shè)置齊全醒目的安全警示標志。安全標志的涂色應符合國家現(xiàn)行的《安全標志》及《安全色》標準的

23、規(guī)定。 3） 廠區(qū)工業(yè)管路應按GB7231-87《工業(yè)管路的基本識別色和識別符號》規(guī)定，基本識別色應涂刷在管路全長上或在管路上涂刷寬150mm的色環(huán)或在管路上用基本識別色膠帶纏繞寬150mm的色環(huán)。 基本識別色色環(huán)應涂刷在所有管路交叉、閥門和穿孔西側(cè)等的管路上以及其他需要識別的部位。在管路上用識別符號標識管內(nèi)流體性質(zhì)、名稱和流向。 4） 廠區(qū)道路應設(shè)置顯示道路名稱、方向、車輛限速的交通標志。在易燃易爆的生產(chǎn)區(qū)域應根據(jù)需要可將部分道路劃分出限制或禁止車輛通行的路段，并設(shè)置標志。 5.1.4評價結(jié)論 廠區(qū)總平面布置綜合考慮有利生產(chǎn)，方便工作的要求，各建（構(gòu)）筑物按功能分區(qū)，生產(chǎn)工藝流程短

24、捷便利，整體布局合理、廠區(qū)道路呈環(huán)形布置，消防通道暢通、照明完好，人、物分流，并為企業(yè)發(fā)展留有余地和空間，基本符合GB50187《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范》的要求，只要按照檢查表和建議的內(nèi)容給予補充完善，可為實現(xiàn)安全生產(chǎn)創(chuàng)造更為有利的條件。 5.2生產(chǎn)工藝及危險化學品使用安全評價單元 　　　　支援車間危險化學品使用、儲存、安全措施情況如表5.2.1-3所示： 危險化學品使用、儲存及安全措施表 表5.2.1-3 序號 儲存場 所名稱 儲存危險化學品名稱 氣柜數(shù)量（個） 安全設(shè)施 1 毒性氣 體室 砷化氫混合氣（AsH3/H2） 1 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警

25、、消防水噴淋、排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜、雙套管輸送，內(nèi)套管為真空，設(shè)偵測器，介質(zhì)泄漏時，報警。 1.5%鍺烷/氫氣（GeH4/H2） 1 1%磷化氫/氮氣混合氣（PH3/N2） 1 5%磷化氫/氮氣混合氣（PH3/N2） 2 2 易燃氣體室 氨氣（NH3） 8 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測報警、消防水噴淋、排風（酸堿性排風系統(tǒng)分開）、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。 一氧化碳（CO） 3 二氯硅烷（SiH2Cl2） 1 二氟甲烷（CH2F2） 1 50ppm乙硼烷/氫氣（

26、B2H6/H2） 1 氟甲烷（CH3F） 2 100ppmB2H6/N2 1 5% B2H6/N2 2 100ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2） 2 10%氨氣/氮氣 1 C4F6 1 3 腐蝕性氣體室 Cl2 2 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋(ClF3無)、排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。 ClF3 2 HBr 2 HCl 11 SiF4 1 4 氧化氣體室 NF3 9 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、酸性排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護

27、用品專柜。 N2O 7 30%O2/He 6 5 惰性氣體室 1.2%He+N2 1 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。 C4F8 2 CHF3 1 C2F6 1 CO2 1 CF4 2 CHF3 2 SF6 2 He 1 4%H2/N2 1 6 酸室 HCl CDM 1 設(shè)排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器、PEH在線型火災聲光報警裝置，自動水噴淋裝置。 BOE CDM 1 HF CDM

28、2 NOE CDM 1 HNO3 CDM 1 H3PO4 CDM 1 H2SO4 CDM 2 HF100:1 CDM 1 7 Base Room （堿室） NH4OH 1 設(shè)排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器，PEH在線型火災聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。 H2O2 2 SD-1 1 8 溶劑室 ACT940 CDM 1 設(shè)溶劑排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器、PEH在線型火災聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。 EG-01 1 EBR10A 1 1PA-01CDM 1

29、 5.2.2危險危害辨識與分析 1、 火災、爆炸 各類易燃液體、易燃氣體在生產(chǎn)、儲存、輸送過程中，一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制造質(zhì)量差、機械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操作，造成物料泄漏，如作業(yè)現(xiàn)場通風不良，與空氣混和達到爆炸極限，遇有火源可能發(fā)生火災、爆炸； 2、 腐蝕、中毒、化學灼傷 清洗、擴散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學品生產(chǎn)、儲存、使用場所內(nèi)，盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設(shè)備、容器以及輸送管路因材質(zhì)缺陷，制造質(zhì)量差，搬運、使用過程機械損壞、傾翻，造成物料泄漏，如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會引起嚴重的化學灼傷；同

30、時各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏，人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體，均會造成人員中毒。 3、 物理爆炸 各類壓力容器（包括氣瓶）、管道，如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等，可能發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計壓力而發(fā)生爆炸，造成人員傷亡，設(shè)備損壞。 4、 高溫灼傷 高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。 5、 激光、紅外線輻射灼傷 在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。

31、 6、 高頻、噪聲傷害 在離子植入?yún)^(qū)，使用離子植入機等高頻設(shè)備；清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機、蝕刻機、微影機等產(chǎn)生噪聲的設(shè)備，如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護措施不當或損壞都會對人員造成物理因素傷害。 7、 高處墜落 當去廢溶劑儲罐等相對基準面標高超過2m設(shè)備進行檢查、操作或維修設(shè)備時，若未按標準設(shè)置鋼梯、護欄、平臺或設(shè)置不完善，作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時，稍不慎會發(fā)生高處墜落事故。 8、 觸電 各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。 9、 電氣火災 電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護器、過電壓保護等裝置或失效，線

32、路絕緣損壞、短路，以及防爆場所電氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會發(fā)生電氣火災。 10、 雷電危害 建筑物防雷設(shè)計不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求，當雷擊建筑物、電力設(shè)備、線路等時，會產(chǎn)生雷電過電壓，在雷電波及的范圍內(nèi)會導致嚴重損壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火災、爆炸，造成嚴重的生命、財產(chǎn)損失。 11、 靜電危害 如火災、爆炸危險環(huán)境內(nèi)（如：光刻、清洗區(qū)、擴散區(qū)、可燃氣體儲藏間等）設(shè)備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷，不能及時消除，隨著時間延續(xù)，靜電荷將越聚越多，靜電電壓逐漸升高，當達到

33、一定程度時，發(fā)生放電火花；或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災、爆炸。 5.2.3 安全檢查表 依據(jù)GBJ16-87《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（2001版）、GB50187《工廠企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范》、SJ30002-92《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定》、GBJ19-87《采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》（2001年版）、GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》、GB5083-99《生產(chǎn)設(shè)備安全衛(wèi)生設(shè)計總則》、GB12801-91《生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則》、GB2893-2001《安全色》、GB2894-96《安全標志》、GB15603-95

34、《常用化學危險品貯存通則》、國務院令第344號《危險化學品安全管理條例》等法規(guī)、標準、規(guī)范編制安全檢查表，查驗結(jié)果詳見表5.2.3-1。 生產(chǎn)工藝及危險化學品使用單元安全檢查表 表5.2.3-1 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 1 建筑結(jié)構(gòu)及平面布置 1.1 生產(chǎn)廠房耐火等級不應低于二級。 GBJ16-87 3.2.1 √ 均為二級。 1.2 若多層生產(chǎn)廠房耐火等級為二級，其防火分區(qū)最大允許占地面積為4000m2。（因有自動水噴淋系統(tǒng)，防火分區(qū)最大允許占地面積增加一倍） GBJ16-87 3.2.1 √

35、 占地面積4000m2。 1.3 有爆炸危險的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃氣體室、硅烷室等）宜獨立設(shè)置。 GBJ16-87 3.4.1 √ 單獨設(shè)置。 1.4 有爆炸危險的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃氣體室、硅烷室等）應設(shè)置必要的泄壓設(shè)施，泄壓設(shè)施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。 GBJ16-87 3.4.2 ∽ 硅烷室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃氣體室無泄壓。 1.5 硅烷室泄壓面積與廠房的體積比值（m2/m3）宜采用0.05～0.22，體積超過1000m3的建筑，不宜小于0.03。 GBJ16-87 3.4.3 √ 約0.3。 1.6 生產(chǎn)車間、易燃氣體室、硅烷室

36、等可能散發(fā)可燃氣體、可燃蒸氣的廠房應采用不發(fā)火地面。 GBJ16-87 3.4.6 √ 環(huán)氧地面。 1.7 有爆炸危險的該甲乙類廠房不應設(shè)置辦公室、休息室如必須貼鄰布置，應采用一、二級耐火等級建筑物并應采用耐火極限不低于3h的非燃燒體防護墻隔開并設(shè)置直通室外或疏散樓梯的安全出口。 GBJ16-87 3.4.8 √ 1.8 廠房結(jié)構(gòu)應滿足地震烈度7度設(shè)防要求，框架抗震等級二級要求。 GB50187-93 2.0.4 √ 7度設(shè)防。 1.9 芯片光刻等對潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房，宜布置在廠區(qū)最小頻率風向的下風側(cè)，并在四周留有綠化場地。 SJ30002-9

37、2 2.3.6 √ 1.10 易燃易爆工作間宜設(shè)置在單層廠房內(nèi)，或設(shè)在多層廠房的頂層端部。 SJ30002-92 3.6.12 × 除硅烷室單獨設(shè)置外，均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。 2 潔凈廠房 2.1 潔凈室應設(shè)置人員凈化、物料凈化室和設(shè)施。 GB50073-2001 4.3.1 √ 分別設(shè)置人員、物料凈化室。 2.2 潔凈室內(nèi)噪聲值不應大于70db（A）。 GB50073-2001 4.4.1 √ ≤65dB。 2.3 潔凈實驗室耐火等級不應低于二級。 GB50073-2001 5.2.1 √ 二級。 2.4 潔凈室

38、的頂棚和壁板應為不燃燒體，且不得采用有機復合材料。 GB50073-2001 5.2.4 √ 2.5 潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設(shè)置不燃燒體隔斷措施。 GB50073-2001 5.2.5 √ 用防火墻和防火門分隔。 2.6 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應向疏散方向開啟，并加閉門器。 GB50073-2001 5.2.9 √ 2.7 潔凈廠區(qū)應設(shè)置事故排風，潔凈室事故排風換氣次數(shù)應采用10～20次/h，事故排風宜由常用排風系統(tǒng)與事故排風系統(tǒng)共同保證，事故排風裝置的開關(guān)應分別設(shè)在潔凈室內(nèi)和室外便于操作的地點，事故排風應與報警裝置聯(lián)鎖。

39、 SJ30002-92 7.0.10 √ 設(shè)置排風系統(tǒng)，常開；特殊氣體室室外設(shè)手動開關(guān)，設(shè)自動聯(lián)鎖報警。 3 作業(yè)環(huán)境及工藝、設(shè)備安全裝置 3.1 作業(yè)環(huán)境 3.1.1 車間內(nèi)人工運輸通道寬度必須≥1.0m。 SJ30002-92 3.1.3 √ 2.5m 3.1.2 設(shè)備設(shè)施之間應留有相應的操作空間、檢修空間、巡回檢查及安全通道。 SJ30002-92 3.1.4 √ 3.1.3 潔凈廠房應設(shè)置供人員疏散用的應急照明，并應設(shè)置指明應急安全出口的疏散標志。在專用消防出口處應設(shè)紅色應急照明燈。 SJ30002-92 7.0.

40、14 √ 設(shè)應急照明、疏散標志。 3.1.4 易燃易爆廠房的人員疏散，通道應保持暢通，并應設(shè)置應急照明，疏散指示標志及排煙措施。 SJ30002-92 3.6.13 √ 3.1.5 鋼梯、平臺所設(shè)置的護欄的設(shè)計應符合有關(guān)標準。 GB4053.1～3-93 GB4053.4-83 第2.5.2條 × 廢液收集罐處平臺護欄不符要求。 3.2 電子、化學工藝安全 3.2.1 高能離子注入機應設(shè)在人流最少的區(qū)域內(nèi)，并應有符合國家標準要求的接地及相應的電磁波、X射線防護措施。 SJ30002-92 3.2.3 √ 設(shè)置于人流最少的東側(cè)，采取隔離

41、防護措施。 3.2.2 聯(lián)動生產(chǎn)線應有緊急制動裝置或聯(lián)鎖裝置，危險部位應設(shè)置醒目的警告標志；散發(fā)毒氣的工序應設(shè)置排風；帶電作業(yè)的工序需裝設(shè)自動保護裝置。 SJ30002-92 3.2.5 √ 設(shè)置緊急制動，設(shè)置警告標志及排風系統(tǒng)，帶電作業(yè)設(shè)置接地故障、短路故障保護裝置。 3.2.3 使用酸、堿或有機溶劑進行清洗的設(shè)備，必須裝設(shè)局部排風系統(tǒng)，使用有毒溶劑進行清洗的設(shè)備應采取密閉措施；凡使用電氣的化學清洗設(shè)備，應有良好的接地。 SJ30002-92 3.3.1 √ 均設(shè)置。 3.2.4 生產(chǎn)車間內(nèi)應設(shè)置緊急沖淋裝置及洗眼器。 SJ30002-92 3.3.6 √

42、 設(shè)置洗眼、淋浴器。 3.2.5 對于存在激光輻射設(shè)備，應采取屏蔽等防護措施。 SJ30002-92 9.1 √ 屏蔽光源保護措施。 3.3 防火、防爆、防中毒 3.3.1 輸送易燃易爆介質(zhì)的管道、管件、閥門、泵的連接處必須嚴密，管道系統(tǒng)應采取接地措施。 SJ30002-92 3.6.8 √ 管道系統(tǒng)通過管架接地。 3.3.2 易燃工作間的設(shè)備、電氣線路，開關(guān)、燈具等，均應采用相應等級的防爆型產(chǎn)品。 SJ30002-92 3.6.11 √ 3.3.3 電氣設(shè)備金屬外殼應與PE線可靠連接。 GB50169-92 2.1.11 √

43、 3.3.4 氫氣、CO和天然氣管道不能通過煙道、通風管、配電室和易燃易爆物倉庫。 GB50028-93 7.2.10 √ 3.3.5 管道應標志介質(zhì)及流向。 SJ30002-92 2.9.2 √ 3.3.6 對有害氣體、易燃氣體的作業(yè)區(qū)，應采取切實有效的防護措施，提高自動化，采取密閉、隔離生產(chǎn)。 SJ30002-92 2.4.5 √ 隔離操作、密閉生產(chǎn)。 3.3.7 車間空氣中有害物質(zhì)的濃度，必須符合《工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標準》的規(guī)定。 SJ30002-92 2.1.5 ∽ 已做監(jiān)測，數(shù)據(jù)暫不能提供。 3.3.8 輸送有毒、有害、易燃、易爆

44、及有腐蝕性氣體或液體的管道、管件、閥門，其材質(zhì)、連接方法，必須具有密封、耐壓、防腐蝕、防靜電等相應措施。 SJ30002-92 2.4.11 √ 雙套管輸送，防腐內(nèi)涂層。 3.3.9 危險相同的生產(chǎn)，宜集中或相鄰布置 SJ30002-92 2.5.3 √ 3.3.10 對于產(chǎn)生有害、有毒物質(zhì)的廠房，廠房內(nèi)部應采取便于清掃、刷洗以及防止毒物附著和積蓄的措施。 SJ30002-92 2.6.5 √ 防泄漏收集采用二次容器，1.1倍容積。 3.3.11 車間內(nèi)各種明溝，應加設(shè)蓋板。 SJ30002-92 2.6.10 √ 3.3.12 生產(chǎn)過程中工

45、作服易污染、沾染，易經(jīng)皮膚吸收的劇毒物質(zhì)，潔凈度要求嚴格的廠房和車間應設(shè)置洗衣房。 SJ30002-92 2.7.2 √ 設(shè)洗衣房。 3.3.13 凡使用酸、堿或有機溶劑進行化學清洗的設(shè)備，必須裝設(shè)局部排風聯(lián)鎖。 SJ30002-92 6.3.12 √ 3.3.14 有下列情況之一時，排風不應合為一個系統(tǒng)： 混合后能引起燃燒或爆炸時； （1）混合后能引起燃燒、爆炸時； （2）易燃易爆工作間排風與一般工作間排風。 SJ30002-92 3.6.9 √ 均設(shè)置獨立排風。 3.3.15 氫氣、煤氣管道，在末端、最高點等處應

46、設(shè)置放散管，放散管應高出屋頂；放散管上應設(shè)阻火器。 SJ30002-92 4.1.6 √ 3.3.16 潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃氣體的風管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風管應采用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風管或不銹鋼風管。 SJ30002-92 7.0.18 √ 雙層不銹鋼、酸堿風管采用ATC玻璃鋼涂層。 4 危險化學品的使用、輸送與管理 4.1 危險化學品應按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分間儲存、輸送。性質(zhì)相抵觸的化學危險品，嚴禁混放在一起。 SJ30002-92 3.8.3 √ 分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃氣體室等。支援車間分

47、功能區(qū)。 4.2 輸送危險化學品的設(shè)備、附屬儀表、器材等，應根據(jù)危險介質(zhì)，采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。輸送腐蝕性較強的液體管道，不應敷設(shè)在其它管道的上方，并不宜連接埋地敷設(shè)。 SJ30002-92 3.8.7 √ 雙層套管內(nèi)設(shè)泄漏檢測。 4.3 儲存有較強腐蝕性液體的設(shè)備應設(shè)置必要的防溢出、防滲漏緊急處理設(shè)施。其基礎(chǔ)及周圍地面應采取防腐蝕處理。 SJ30002-92 3.8.8 √ 全封閉輸送機組，多種報警聯(lián)鎖裝置；周圍設(shè)置圍堰。 4.4 對于輸送具有較強腐蝕性液體的化學藥劑泵、在其填料函或機械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處，應設(shè)置適當?shù)陌踩雷o。 SJ3000

48、2-92 3.8.9 √ 全封閉PLC程控泵組無泄漏。泵為全封閉型 4.5 輸送有毒介質(zhì)的設(shè)備、管道放空時，應加以收集或處理，不得任意排放。 SJ30002-92 3.8.10 √ 收集并加以洗滌。 4.6 易燃、易爆的車間，應采用易于清洗、撞擊或磨擦時不產(chǎn)生火花的地面。 SJ30002-92 3.8.11 √ 硅烷室、易燃室符合要求。 4.7 有爆炸危險的房間（如硅烷室、易燃氣體室、生產(chǎn)車間等），應設(shè)置泄壓措施，安全出口不應少于2個。其中一個直接對外，不超過100m2的房間可設(shè)一個出口。 GBJ16-87 3.5.1 ∽ 硅烷室設(shè)泄壓其余無，安全出口

49、均不少于2個。 4.8 危險化學品使用場所應設(shè)置通訊、報警裝置，并保證在任何情況下均處于正常使用狀態(tài)。 危險化學品安全管理條例 第18條 √ 設(shè)置應急通訊、自動、手動報警裝置。 4.9 應在危險化學品作業(yè)場所設(shè)置急救設(shè)施，并提供應急處理的方法。 工作場所安全使用化學品規(guī)定 第17條 √ 設(shè)置應急用品柜，提供處理方法。 4.10 使用單位應對盛裝、貯存危險化學品的設(shè)備，采用顏色、標牌、標簽等形式，標明其危險性。 工作場所安全使用化學品規(guī)定 第19條 √ 儲存柜上均有標識。 4.11 丙酮、雙氧水等氧化劑不得在操作崗位附近混合貯存，氧化劑應單獨存放。 GB

50、15603-1995 6.7 √ 單獨存放。 4.12 廢棄、過期的化學危險品及使用過的包裝容器必須妥善保管，不得隨意拋棄，依據(jù)危險廢棄物的處置標準進行處置。 關(guān)于加強化學危險物品管理的通知 √ 4.13 使用危險化學品，在天津市有關(guān)主管部門辦理了登記手續(xù)，并取得使用許可證。 市安監(jiān)局、市經(jīng)委相關(guān)文件要求 ∽ 正申辦。 4.14 有關(guān)領(lǐng)導和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識、專業(yè)技術(shù)的培訓，經(jīng)考核合格，方可上崗作業(yè)。 《危險化學品安全管理條例》 第四條 ∽ 已組織，尚未培訓。 5 有毒氣體控制裝置 5.1 砷烷、氯氣、氨等有毒

51、、易燃、易爆氣體的鋼瓶柜，離子刻蝕設(shè)備、離子注入機等使用有害氣體的作業(yè)點，應設(shè)事故排風裝置。 SJ30002-92 6.3.16 6.3.23 √ 5.2 使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作間，宜設(shè)報警裝置及事故排風。報警裝置宜與生產(chǎn)設(shè)備、操作閥聯(lián)鎖，不工作，亦應定時進行排風。 SJ30002-92 6.2.9 √ 設(shè)置報警聯(lián)鎖裝置及事故排風。 6 電氣 6.1 電氣裝置采用接地故障保護時，應做總等電位聯(lián)接。 SJ30002-92 12.2.4 √ 等電位連接。 6.2 檢測和控制儀表的電源和氣源，停電或停氣可能使生產(chǎn)、動力設(shè)備造成重大事故時，

52、必須有備用電、氣源。備用時應根據(jù)工藝、動力要求確定，一般不小于15-30分鐘。 SJ30002-92 12.2.8 √ 設(shè)發(fā)電機3臺，壓縮空氣備用氣源≥30min。 6.3 停電或停氣時，調(diào)節(jié)閥的閥位應處于安全位置。 SJ30002-92 12.2.9 √ 6.4 消防設(shè)施、防煙排煙系統(tǒng)、電動防火門窗、火災應急照明、消防用電設(shè)備，應采用單獨的供電回路，并當發(fā)生火災切斷生產(chǎn)、生活用電時，應仍保證消防用電。其配電設(shè)備應有明顯標志。 SJ30002-92 12.2.10 √ 單獨設(shè)置供電回路，UPS、EPS、SP電源， 6.5 在有爆炸危險環(huán)境內(nèi)，敷設(shè)電氣線路的

53、溝道、電纜或鋼管，在穿越不同區(qū)域之間隔墻或樓板處的孔洞，應采用非燃性材料嚴密堵塞。 SJ30002-92 12.2.16 √ 防火水泥堵塞。 6.6 電氣設(shè)備線路必須安全可靠,照明應采用有防護罩的燈具。 SJ30002-92 3.2.7 √ 線路穿管敷設(shè)，燈具有防護罩。 6.7 在火災、爆炸危險環(huán)境內(nèi)，可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、管道應采取靜電接地措施。 SJ30002-92 12.5.4 √ 設(shè)備、管道均采取靜電接地措施。 6.8 在重點防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處，應設(shè)計人體導除靜電裝置；并配備個人防靜電防護用品。 HG20571-95 3.2.10 √

54、 設(shè)消除靜電離子發(fā)生器。 7 消防、報警設(shè)施 7.1 建筑滅火器的配置應按《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。 GBJ16-87 8.7.7 √ 7.2 潔凈室及技術(shù)夾層應設(shè)置自動滅火系統(tǒng)。 SJ30002-92 7.0.11 √ 7.3 生產(chǎn)廠房應設(shè)置火災自動報警檢測系統(tǒng)。 SJ30002-92 7.0.15 GB12801-91 6.3.1 √ 7.4 儲存、使用易燃易爆物質(zhì)的生產(chǎn)區(qū)、硅烷室、易燃氣體室等應設(shè)置可燃氣體監(jiān)測報警裝置、事故排風及防爆設(shè)施。 GBJ16-87 10.3.2 SJ30002-92 3.

55、6.2 √ 設(shè)作業(yè)環(huán)境監(jiān)測報警系統(tǒng)。 7.5 潔凈廠房、有毒、易燃氣瓶間等可能散發(fā)可燃、可爆和有毒、有害氣體的場所應設(shè)置各種可燃、有毒、有害氣體檢漏報警裝置。 SJ30002-92 12.6.3 √ 設(shè)置不同類型報警裝置。 8 氣瓶安全使用 8.1 使用氣瓶應： 采購和使用有制造許可證的企業(yè)的合格產(chǎn)品，不使用超期未檢的氣瓶。 必須到已辦理充裝注冊的單位或經(jīng)銷注冊的單位購氣。 氣瓶使用前應進行安全狀況檢查，對盛裝氣體進行確認。 氣瓶放置地點不得靠近熱源和明火，應保證氣瓶干燥。 氣瓶立放時，應采取防止傾倒的措施； 夏季應防止爆曬； 嚴禁敲擊、碰撞；

56、 嚴禁在氣瓶上進行電焊引??； 瓶內(nèi)氣體不得用盡，必須留有剩余壓力或重量，氫氣瓶剩余壓力應不小于0.05Mpa。 氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程 第79條 √ 各項措施齊備，剩余壓力小于0.05Mpa自動切換。 8.2 磷烷、砷烷等有毒、易燃、易爆氣體鋼瓶，必須放置在設(shè)有排風防護裝置的金屬柜內(nèi)。不工作時，應有自動定時排風系統(tǒng)。 SJ30002-92 6.2.8 √ 長期通風。 9 安全標志 9.1 凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應設(shè)置安全標志，必要處尚應設(shè)置聲、光、色或聲、光結(jié)合的緊急警告信號。 SJ30002-92 2.9.1 √ 機臺、氣柜等均設(shè)置安全標

57、志。 9.2 廠房、動力站房的安全出口及疏散通道，應設(shè)置明顯的標志。 SJ30002-92 2.9.3 √ 9.3 安全標志的涂色，應符合國家現(xiàn)行《安全標志》及《安全色》標準的規(guī)定。 GB2893-82 GB2894-1996 √ 9.4 工業(yè)管路基本識別色應符合： 綠色：水 鋁色：蒸氣 棕色：易燃液體 黃褐色：氣態(tài)或液態(tài)氣體（空氣、氧氣除外） 紫色：酸或堿 淺藍色：空氣或氧氣 黑色：其它液體。 GB7231-87 ∽ 未完全執(zhí)行本國標。 5.2.4危險源綜合分析與評價 1、 單元的主要危險因素 SMIC中芯國際集成電路制造有限公司

58、集成電路生產(chǎn)工藝復雜，同時使用多種易燃、易爆、有毒化學試劑和易燃、有毒氣體，按照GBJ16-87“生產(chǎn)的火災危險性分類”為甲類，因此火災、爆炸、中毒是本單元的主要危險因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。 2、 已采取的主要安全技術(shù)、管理措施 針對上述危險有害因素，為了確保生產(chǎn)工藝及支援車間的安全運行，企業(yè)已采取的安全技術(shù)措施主要有： 1） 潔凈廠房、各類溶劑室、氣體室等建筑結(jié)構(gòu)、耐火等級符合國家相關(guān)規(guī)范要求； 2） 潔凈室在產(chǎn)生有害氣體工作區(qū)設(shè)置局部排風，同時設(shè)置火災自動報警裝置、火災排煙系統(tǒng)及應急照明； 3） 將腐蝕性、易燃、有毒、惰性氣體分別設(shè)置在獨立的房間

59、內(nèi)，硅烷單獨設(shè)置在獨立的建筑物內(nèi)； 4） 所有易燃、有毒、腐蝕性氣體盛裝鋼瓶均安裝在特制的氣柜內(nèi)，氣柜帶有閥門盒和閥門屏，氣柜內(nèi)配備自動的氮氣凈化系統(tǒng)。 5） 有害氣體在氣柜、閥門盒、工藝設(shè)備和有毒氣體排放口設(shè)監(jiān)測點，所有探頭具有高敏度報警功能； 6） 酸、堿、有機溶劑采用高純氮氣充填容器，利用雙層管道輸送至使用點，在雙層管道內(nèi)設(shè)監(jiān)測報警探頭，所有化學品盛裝容器、使用點均設(shè)置局部排風系統(tǒng)； 7） 在危險化學品生產(chǎn)、儲存場所設(shè)置洗眼器及安全淋浴裝置； 8） 本單元消防、報警、聯(lián)鎖裝置的設(shè)置基本符合國家標準要求。 3、 問題與建議 為了保證系統(tǒng)能夠安全運行，廠方采取了一些安全措施，基

60、本能夠?qū)崿F(xiàn)安全生產(chǎn)。通過對作業(yè)現(xiàn)場安全現(xiàn)狀考察與分析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問題，具體問題和建議如下： 1) 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易燃氣體室未設(shè)置泄壓設(shè)施，并且未按SJ30002-92標準設(shè)置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類防火、防爆、排風系統(tǒng)等安全裝置、設(shè)施的齊備、完好及有效性。 2) 廢液收集罐上的平臺護欄需按標準要求修復； 3) 應按GB7231-87相關(guān)要求對工業(yè)管路涂敷基本識別色。 5.2.5驗收評價結(jié)論 SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝單元主要危險因素是各類可燃氣體、易燃液體以及有毒物料泄漏引發(fā)火災、爆炸、中毒。潔凈生產(chǎn)車間、支援車間設(shè)計

61、、施工以及各類危險化學品安全使用、儲存情況基本符合標準、規(guī)范和安全生產(chǎn)要求；項目本質(zhì)安全程度較高，各項安全裝置基本齊全、有效。只要在生產(chǎn)過程中嚴格執(zhí)行各項安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程，可以實現(xiàn)安全生產(chǎn)。 5.3化學品庫安全評價單元 化學品庫安全檢查表 表5.3.3-1 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 1 基本要求 1.1 化學危險品及貯存數(shù)量，必須經(jīng)公安部門批準。未經(jīng)批準，不得隨意設(shè)置化學危險品貯存?zhèn)}庫。 GB15603-1995 4.2 √ 1.2 危險化學品使用、儲存企業(yè)，應當分別向省、自治區(qū)、直轄市

62、人民政府經(jīng)濟貿(mào)易管理部門和設(shè)區(qū)的市級人民政府負責危險化學品安全監(jiān)督管理綜合工作的部門辦理登記注冊手續(xù)。 國務院令第344號9條 ∽ 此項工作正在辦理過程中。 1.3 貯存化學危險品的倉庫，必須配備有專業(yè)知識的技術(shù)人員。其庫房及場所應設(shè)專人管理，管理人員必須配備可靠的個人安全防護用品。 GB15603-1995 4.4 √ 倉庫配備有專業(yè)技術(shù)人員，專門庫管人員配備有安全防護用品。 1.4 貯存化學危險品的建筑物，區(qū)域內(nèi)嚴禁吸煙和使用明火。 GB15603-1995 4.9 √ 全廠禁煙，區(qū)域內(nèi)不準使用明火。 1.5 貯存的化學危險品應有明顯的標志，同一區(qū)域貯存兩

63、種或兩種以上不同級別的危險品時，應按最高等級危險物品的性能標志。 GB15603-1995 4.6 √ 各儲存室門上標有所存放物品的火災等級、毒性等級，反應活性等級及所屬物質(zhì)分類（或禁忌物品種類）的醒目標志。 2 建筑物及設(shè)施 2.1 化學危險品庫房的建筑耐火等級應為二級，單層，建筑面積不大于750m2。 GBJ16-87 4.2.1 √ 該倉庫的建筑面積777m2，稍大于規(guī)范要求面積，視為合格。 2.2 化學危險品庫建筑耐火等級不應低于二級，防火間距不應少于30m，消防通道必須保證暢通。 SJ30002-92 3.8.2 √ 以T建筑物為中心，

64、建筑物與庫區(qū)外的建筑物間距符合要求，消防通道暢通。 2.3 貯存化學危險品的建筑物，不得有地下室或其它地下建筑。 GB15603-1995 5.1 √ 沒有 2.4 庫房或每個防火隔間的安全出口數(shù)目不宜少于2個。 GBJ16-87 4.2.7 √ 庫房對外有2個出入口，每個儲存間除有一個與主走廊相通的門外，都有一個直接通向建筑物外的緊急疏散門。 2.5 化學危險品庫建筑設(shè)計，應符合安全、防火規(guī)定。應采取隔熱、通風、防止陽光直射措施，保證庫內(nèi)空氣流通、干燥涼爽，應避免可燃氣體積聚，并根據(jù)物品的種類、性質(zhì)，采取相應的防爆、泄壓、防火、滅火、防雷、報警、調(diào)溫、防潮、消除靜

65、電、防護圍堤等安全措施。 SJ30002-92 3.8.4 √ 該條要求本庫都有相應的安全設(shè)施給予保證，如不間斷排風、報井、水噴淋滅火、防雷、消除靜電、腐蝕液體流散收集溝等，在下面分條檢查。 2.6 貯存易燃、易爆化學危險品的建筑，必須安裝避雷設(shè)施。 GB15603-1995 5.3.3 √ 倉庫屋頂設(shè)有避雷設(shè)施并與接地體相連。 2.7 化學危險品庫房，必須安裝通風設(shè)備。 GB15603-1995 5.4.1 √ 庫房有單獨的通風系統(tǒng)，其設(shè)施安裝于主走廊的夾層內(nèi)。 2.8 化學危險品庫房，通排風系統(tǒng)應設(shè)有導除靜電的接地裝置。 GB15603-1995 5

66、.4.2 √ 金屬板制成的通風管道與接地網(wǎng)有電氣連接。 2.9 化學危險品庫的通風管應采用非燃燒材料制作。 GB15603-1995 5.4.3 √ 通風管由不燃的金屬薄板制做。 2.10 庫房內(nèi)敷設(shè)的配電線路，需穿金屬管或用非燃硬塑料管保護。 公安部6號令第40條 √ 2.11 庫區(qū)的每個庫房應當在庫房外單獨安裝開關(guān)箱。 公安部6號令第41條 √ 庫房內(nèi)照明開關(guān)、用電設(shè)備控制都在庫外的電氣間。 2.12 爆炸性氣體環(huán)境電氣設(shè)備的選擇應根據(jù)危險區(qū)域的分區(qū)，選取電氣設(shè)備種類、結(jié)構(gòu)、級別和組別。 GB50058-92 2.5.2 √ 庫房內(nèi)使用的照明設(shè)施、氣體監(jiān)測、火焰監(jiān)測等均為防爆型。 2.13 庫房內(nèi)應急照明、有毒氣體監(jiān)測器、火焰監(jiān)測、報警裝置的供電電源為一級電源。 √ 該庫安全要求。 2.14 儲存具有較強腐蝕性液體的房間，其基礎(chǔ)及周圍地面，應采取防腐蝕處理。 SJ30002-92 3.8.8 √ 具有腐蝕性液體的貯存室地面為防腐地面，且有液體流灑、泄漏收集溝。 2.15 儲存氧化劑、易燃易爆物質(zhì)的庫房，應